Газоанализаторы на основе закрытого источника ионов CIS100, CIS200, CIS300
- Доступны системы на 100, 200 и 300 а.е.м.
- Порог чувствительности 1 ppm
- Максимальное рабочее давление 10 мТорр
- Предел детектирования 1х10-12 Торр
- Управляющее ПО реального времени RGA для Windows
- Возможность работы с несколькими измерительными головками
- Режимы работы анализатора остаточных газов и газоанализатора на основе закрытого источника ионов
Система CIS удовлетворяет требованию большинства пользователей благодаря превосходному пределу чувствительности в 1 ppm, отбору проб при давлениях на уровне мТорр, а также удобному для пользователя управляющего ПО для Windows. Управление и мониторинг процесса онлайн, верификация процесса очистки газа в месте использования, анализ остаточных газов в условиях высокого вакуума, а также проверка производственного оборудования на предмет утечки газов являются далеко не единственными областями использования, где газоанализаторы CIS незаменимы.
Технические характеристики
|
Диапазон масс |
100а.е.м. 200а.е.м. 300а.е.м. |
|
Тип фильтра масс |
квадрупольный |
|
Детектор |
Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM |
|
Разрешение |
лучше 0,5а.е.м. 10% по высоте пика |
|
Рабочая температура |
70С макс |
Ионизатор
|
тип |
Закрытый источник ионов, цилиндрический |
|
Нить накала |
Вольфрамовая и ThO2/Ir |
|
Энергия электронов eV |
25-105В программируемая |
|
Энергия ионов eV |
4-8В программируемая |
|
Напряжение фокуса |
0-150В программируемая |
|
Ток электронной эмиссии |
0-1мА программируемый |
Габаритные размеры
