Газоанализаторы на основе закрытого источника ионов CIS100, CIS200, CIS300

  • Доступны системы на 100, 200 и 300 а.е.м.
  • Порог чувствительности 1 ppm
  • Максимальное рабочее давление 10 мТорр
  • Предел детектирования 1х10-12 Торр
  • Управляющее ПО реального времени RGA для Windows
  • Возможность работы с несколькими измерительными головками
  • Режимы работы анализатора остаточных газов и газоанализатора на основе закрытого источника ионов

Система CIS удовлетворяет требованию большинства пользователей благодаря превосходному пределу чувствительности в 1 ppm, отбору проб при давлениях на уровне мТорр, а также удобному для пользователя управляющего ПО для Windows. Управление и мониторинг процесса онлайн, верификация процесса очистки газа в месте использования, анализ остаточных газов в условиях высокого вакуума, а также проверка производственного оборудования на предмет утечки газов являются далеко не единственными областями использования, где газоанализаторы CIS незаменимы.

Технические характеристики

Диапазон масс

100а.е.м. 200а.е.м. 300а.е.м.

Тип фильтра масс

квадрупольный

Детектор

Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM

Разрешение

лучше 0,5а.е.м. 10% по высоте пика

Рабочая температура

70С макс

Ионизатор

тип

Закрытый источник ионов, цилиндрический

Нить накала

Вольфрамовая и ThO2/Ir

Энергия электронов eV

25-105В программируемая

Энергия ионов eV

4-8В программируемая

Напряжение фокуса

0-150В программируемая

Ток электронной эмиссии

0-1мА программируемый

Габаритные размеры

 

Модификация Описание
CIS100 Газоанализаторы на 100 а.е.м.
CIS200 Газоанализаторы на 200 а.е.м
CIS300 Газоанализаторы на 300 а.е.м
CIS100, CIS200, CIS300: Техническое описание Скачать