Анализаторы остаточных газов RGA100, RGA200, RGA300
- Диапазоны анализируемых масс: до 100, 200 или 300 а.е.м.
- Разрешающая способность менее 1 а.е.м.
- Уникальный дизайн нити накала (ThO2/Ir) с высоким сроком службы
- Диапазон измерения парциального давления от 10-5 до 5×10-11 Торр (или до 5×10-14 Торр с электронным умножителем, опция 1)
- Удобное ПО RGA Windows
- Доступные интерфейсы: RS-232 и Ethernet (опция)
Анализаторы серии RGA компании Stanford Research Systems используется для быстрой идентификации различных газов, присутствующих в вакуумной системе, определении концентраций и абсолютные парциальные давления компонентов газовой смеси.
Анализаторы остаточных газов представляют собой компактные масс-спектрометр, которые можно подсоединить непосредственно к вакуумной камере. Принцип работы одинаков у всех анализаторов остаточных газов: небольшая доля молекул газа ионизируется, получившиеся положительные ионы разделяются по массам и измеряются. Таким образом можно быстро идентифицировать состав газовой смеси присутствующий в вакуумной камере а после соответствующей калибровки, можно вычислить абсолютные концентрации или абсолютные парциальные давления компонентов газовой смеси.
Технические характеристики
|
Диапазон измеряемых масс |
1-100 а.е.м. (RGA100) 1-200 а.е.м. (RGA200) 1- 300 а.е.м. (RGA300) |
|
Детектор |
цилиндр Фарадея (FC) и сменный электронный умножитель (ЕМ) Опция 01 |
|
Рабочее давление |
ниже 10-4 Торр |
|
Минимальное определяемое |
5*10-11Торр (цилиндр Фарадея) 5*10-14Торр (электронный умножитель) |
|
Стабильность измерения масс |
±0,1 а.е.м. после 30 мин работы |
|
Разрешение |
Лучше, чем 0,5 а.е.м. на пике 10% по всему |
|
Анализатор |
|
|
Температура отжига |
300ºС (без электронной части) |
|
Ионный источник |
открытый |
|
Парциальная чувствительность ионного источника, не хуже |
2х10-4 А/Торр (цилиндр Фарадея) для азота |
|
Энергия электронов |
70 эВ |
|
Ток эмиссии |
1 мА (автоматически регулируемый) |
|
Катоды |
двойные иридиевые (заменяемые) |
|
Длина зонда, мм |
171 |
|
Блок управления |
|
|
Габаритные размеры, мм |
ШВД (79х104х231) без встроенного блока питания |
|
Диапазон рабочих температур, ºС |
20-70 |
|
Программное обеспечение |
Windows совместимое |
|
Электропитание |
24В 2,5А по разъему DB9 Опционально встроенный в блок управления блок питания 220В 50Гц (опция 01) |
|
Установочный размер фланца |
2.75”CF (CF40) при стандартной глубине ионизатора 2” (5см) 4,5”CF(CF63) при заглублении ионизатора на 170мм |
|
Вес, кг |
2,23 кг |
Габаритные размеры
Режимы
Опции
опция 01 - электронный умножитель
опция 02 - встроенный модуль питания от сети переменного тока
опция 03 - выход счетчика ионов (требует опцию 01)
O100HJR - колпачок нагрева до 200 °C
O100MAX - максимальный нипель введения с фланцем диаметром 114 мм
O100REA - Ethernet адаптер
O100EM - запасной электронный умножитель
O100RF - запасная нить накала
O100R1 - запасной набор ионизации (включает нить накала)