Анализаторы остаточных газов RGA100, RGA200, RGA300

  • Диапазоны анализируемых масс: до 100, 200 или 300 а.е.м.
  • Разрешающая способность менее 1 а.е.м.
  • Уникальный дизайн нити накала (ThO2/Ir) с высоким сроком службы
  • Диапазон измерения парциального давления от 10-5 до 5×10-11 Торр (или до 5×10-14 Торр с электронным умножителем, опция 1)
  • Удобное ПО RGA Windows
  • Доступные интерфейсы: RS-232 и Ethernet (опция)

Анализаторы серии RGA компании Stanford Research Systems используется для быстрой идентификации различных газов, присутствующих в вакуумной системе, определении концентраций и абсолютные парциальные давления компонентов газовой смеси. 

Анализаторы остаточных газов представляют собой компактные масс-спектрометр, которые можно подсоединить непосредственно к вакуумной камере. Принцип работы одинаков у всех анализаторов остаточных газов: небольшая доля молекул газа ионизируется, получившиеся положительные ионы разделяются по массам и измеряются. Таким образом можно быстро идентифицировать состав газовой смеси присутствующий в вакуумной камере а после соответствующей калибровки, можно вычислить абсолютные концентрации или абсолютные парциальные давления компонентов газовой смеси. 

Технические характеристики

Диапазон измеряемых масс

1-100 а.е.м. (RGA100)

1-200 а.е.м. (RGA200)

1- 300 а.е.м. (RGA300)

Детектор

цилиндр Фарадея (FC) и сменный электронный умножитель (ЕМ) Опция 01

Рабочее давление

ниже 10-4 Торр

Минимальное определяемое
парциальное давление

5*10-11Торр (цилиндр Фарадея)

5*10-14Торр (электронный умножитель)

Стабильность измерения масс

±0,1 а.е.м. после 30 мин работы

Разрешение

Лучше, чем 0,5 а.е.м. на пике 10% по всему
диапазону измеряемых масс

Анализатор

Температура отжига

300ºС (без электронной части)

Ионный источник

открытый

Парциальная чувствительность ионного источника, не хуже

2х10-4 А/Торр

(цилиндр Фарадея) для азота

Энергия электронов

70 эВ

Ток эмиссии

1 мА (автоматически регулируемый)

Катоды

двойные иридиевые (заменяемые)

Длина зонда, мм

171

Блок управления

Габаритные размеры, мм

ШВД (79х104х231) без встроенного блока питания

Диапазон рабочих температур, ºС

20-70

Программное обеспечение

Windows совместимое

Электропитание

24В 2,5А по разъему DB9

Опционально встроенный в блок управления блок питания 220В 50Гц (опция 01)

Установочный размер фланца

2.75”CF (CF40) при стандартной глубине ионизатора 2” (5см)

4,5”CF(CF63) при заглублении ионизатора на 170мм

Вес, кг

2,23 кг

Габаритные размеры

 

Режимы

Опции

опция 01 - электронный умножитель

опция 02 - встроенный модуль питания от сети переменного тока

опция 03 - выход счетчика ионов (требует опцию 01)

O100HJR - колпачок нагрева до 200 °C

O100MAX - максимальный нипель введения с фланцем диаметром 114 мм

O100REA - Ethernet адаптер

O100EM - запасной электронный умножитель

O100RF - запасная нить накала

O100R1 - запасной набор ионизации (включает нить накала)

Модификация Описание
RGA100 Анализатор остаточных газов до 100 а.е.м. (with RS-232 cable & software)
RGA200 Анализатор остаточных газов до 200 а.е.м. (with RS-232 cable & software)
RGA300 Анализатор остаточных газов до 300 а.е.м. (with RS-232 cable & software)
RGA100, RGA200, RGA300: Техническое описание Скачать