Анализаторы газов атмосферного давления UGA100, UGA200, UGA300

  • Диапазон масс: до 100 а.е.м., до 200 а.е.м., до 300 а.е.м. в зависимости от модификации
  • Тип фильтра масс: квадрупольный
  • Детектор: Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM
  • Разрешение: лучше 0,5 а.е.м. 10% по высоте пика
  • Чувствительность: <1ppm

Универсальные газоанализаторы серии UGA и ULT являются высококлассными настольными масс-спектрометрами, работающими при давлениях от атмосферного и выше. Приборы являются идеальными для онлайн мониторинга и анализа газовых смесей. Измеряете ли вы следовые концентрации примесей, растворителей, углеводородов, хладагентов или агрессивных газов, ваш универсальный газоанализатор UGA поможет в решении ваших задач.

Приборы серии UGA идеальны для работы с агрессивными газами

  • Приборы серии UGA-Hydrogen идеальны для работы с высокими концентрациями H2
  • Приборы серии ULT представляют собой бюджетное решение

Области применения UGA включают в себя мониторинг отходящих газов полупроводниковых производств, анализ газов перчаточных ящиков, работу с топливными ячейками, обнаружение фреона, мониторинг загрязнений, изучение ферментации и общие исследования в вакууме.

Данные анализаторы просты в использовании и обслуживании. Конструкция платформы допускает работу прибора как в горизонтальном, так и в вертикальном положениях, при этом сохраняется доступ к управлению прибором с передней панели и доступ к интерфейсам для ПК на задней панели. Серия приборов ULT (модели ULT100, ULT200 и ULT300) представляет из себя упрощенный вариант для менее требовательного использования.

Принцип действия

Газоанализаторы UGA состоят из двух главных подсистем. Первая – система пробоподготовки, другая — анализатор — используется для анализа легких газов. В качестве анализатора применяется квадрупольный масс-спектрометрический детектор RGA.

Проба газа при атмосферном давлении поступает через впускной клапан в UGA, затем проходит по капилляру, что понижает давление в 30 раз. Малая часть пробы с помощью турбомолекулярного насоса проходит по микроканалу диаметром 0,040 мм. На этом этапе давление снижается до 10-6 мм рт. ст. Основная часть газа (99,9 %) через байпасный клапан поступает на вход другого мембранного насоса. Таким образом исключается возможность истечения легких газов через ТМ насос и внесения дополнительной погрешности при определении легких газов (водород, гелий). Кроме того при анализе коррозионных газов такое истечение может существенно сократить срок службы нити накала ионизатора.

Технические характеристики

Диапазон масс

до 100 а.е.м. (UGA100)

до 200 а.е.м. (UGA200)

до 300 а.е.м. (UGA300)

Тип фильтра масс

квадрупольный

Детектор

Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM

Разрешение

лучше 0,5 а.е.м. 10% по высоте пика

Чувствительность

<1ppm

Опции

Внутренние опции

Опция 1

16-кан.многопортовый вход, 760 торр, включая PEEK капилляры (3 шт)

Опция 2

Порт вентиляции ТМН

Опция 3

Модификация ТМН для работы с высокими концентрациями Н2

Опция H

Высокотемпературный ввод (до 220 °C)

Модификация Описание
UGA100 Универсальный газоанализатор до 100 а.е.м.
UGA200 Универсальный газоанализатор до 200 а.е.м.
UGA300 Универсальный газоанализатор до 300 а.е.м.
ULT100 Экономичный универсальный газоанализатор до 100 а.е.м.
ULT200 Экономичный универсальный газоанализатор до 200 а.е.м.
ULT300 Экономичный универсальный газоанализатор до 300 а.е.м.
UGA100, UGA200, UGA300: Техническое описание Скачать