Анализаторы газов атмосферного давления UGA100, UGA200, UGA300
- Диапазон масс: до 100 а.е.м., до 200 а.е.м., до 300 а.е.м. в зависимости от модификации
- Тип фильтра масс: квадрупольный
- Детектор: Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM
- Разрешение: лучше 0,5 а.е.м. 10% по высоте пика
- Чувствительность: <1ppm
Универсальные газоанализаторы серии UGA и ULT являются высококлассными настольными масс-спектрометрами, работающими при давлениях от атмосферного и выше. Приборы являются идеальными для онлайн мониторинга и анализа газовых смесей. Измеряете ли вы следовые концентрации примесей, растворителей, углеводородов, хладагентов или агрессивных газов, ваш универсальный газоанализатор UGA поможет в решении ваших задач.
Приборы серии UGA идеальны для работы с агрессивными газами
- Приборы серии UGA-Hydrogen идеальны для работы с высокими концентрациями H2
- Приборы серии ULT представляют собой бюджетное решение
Области применения UGA включают в себя мониторинг отходящих газов полупроводниковых производств, анализ газов перчаточных ящиков, работу с топливными ячейками, обнаружение фреона, мониторинг загрязнений, изучение ферментации и общие исследования в вакууме.
Данные анализаторы просты в использовании и обслуживании. Конструкция платформы допускает работу прибора как в горизонтальном, так и в вертикальном положениях, при этом сохраняется доступ к управлению прибором с передней панели и доступ к интерфейсам для ПК на задней панели. Серия приборов ULT (модели ULT100, ULT200 и ULT300) представляет из себя упрощенный вариант для менее требовательного использования.
Принцип действия
Газоанализаторы UGA состоят из двух главных подсистем. Первая – система пробоподготовки, другая — анализатор — используется для анализа легких газов. В качестве анализатора применяется квадрупольный масс-спектрометрический детектор RGA.
Проба газа при атмосферном давлении поступает через впускной клапан в UGA, затем проходит по капилляру, что понижает давление в 30 раз. Малая часть пробы с помощью турбомолекулярного насоса проходит по микроканалу диаметром 0,040 мм. На этом этапе давление снижается до 10-6 мм рт. ст. Основная часть газа (99,9 %) через байпасный клапан поступает на вход другого мембранного насоса. Таким образом исключается возможность истечения легких газов через ТМ насос и внесения дополнительной погрешности при определении легких газов (водород, гелий). Кроме того при анализе коррозионных газов такое истечение может существенно сократить срок службы нити накала ионизатора.
Технические характеристики
|
Диапазон масс |
до 100 а.е.м. (UGA100) до 200 а.е.м. (UGA200) до 300 а.е.м. (UGA300) |
|
Тип фильтра масс |
квадрупольный |
|
Детектор |
Чашка Фарадея FC и Электронный умножитель EM |
|
Разрешение |
лучше 0,5 а.е.м. 10% по высоте пика |
|
Чувствительность |
<1ppm |
Опции
|
Внутренние опции |
|
|
Опция 1 |
16-кан.многопортовый вход, 760 торр, включая PEEK капилляры (3 шт) |
|
Опция 2 |
Порт вентиляции ТМН |
|
Опция 3 |
Модификация ТМН для работы с высокими концентрациями Н2 |
|
Опция H |
Высокотемпературный ввод (до 220 °C) |