Газоанализаторы THERMOX мод. CG1000

Назначение

Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 предназначены для непрерывного измерения объемной доли кислорода в анализируемой газовой смеси.

Описание

Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 (далее - газоанализаторы) представляют собой переносные одноканальные автоматические измерительные приборы непрерывного действия.

Газоанализаторы выпускаются в двух исполнениях: CG1000 (базовое) и CG1000-RTP (для применения в процессах Rapid Thermal Processing (RTP) в производстве полупроводниковых чипов и микросхем). Газоанализатор исполнения CG1000-RTP имеет встроенную систему пробоот-бора, разработанную с учетом требований процессов RTP.

В основу принципа действия газоанализаторов положен электрохимический метод с использованием циркониевого чувствительного элемента.

Газоанализатор имеет в своем составе микропроцессор, который управляет всеми режимами работы и преобразует выходной сигнал чувствительного элемента в показания в единицах измерений.

Результаты измерений, а также сообщения о параметрах функционирования внутренних блоков газоанализатора (расход анализируемой газовой смеси, температура в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжение на чувствительном элементе), о наличии неисправностей и о срабатывании пороговых устройств отображаются на многофункциональном жидкокристаллическом дисплее.

На лицевой панели расположена клавиатура для управления работой прибора.

Способ отбора пробы - принудительный, с помощью встроенного побудителя расхода (поставляется по дополнительному заказу), с помощью внешнего побудителя расхода или за счет избыточного давления в точке отбора пробы. Электронный первичный преобразователь расхода позволяет контролировать расход анализируемой смеси.

Газоанализатор имеет цифровой канал передачи данных RS-485 и два унифицированных токовых выхода, предназначенных для дистанционной передачи информации о результатах объемной доли кислорода в анализируемой смеси, температуре в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжения на чувствительном элементе (по выбору потребителя).

Газоанализатор обеспечивает выдачу выходного унифицированного аналогового сигнала (020) мА или (4-20) мА.

Газоанализатор имеет две цепи сигнализации, каждая из которых может быть запрограммирована на срабатывание при достижении порогового значения содержания кислорода или расхода анализируемой смеси.

Газоанализатор выполнен в общепромышленном исполнении и предназначен для эксплуатации в невзрывоопасных зонах помещений и наружных установок в защитном шкафу.

По защищенности от проникновения внешних твердых предметов и воды газоанализаторы соответствуют степени защиты по ГОСТ 14254-96 не ниже IP30.

Внешний вид газоанализаторов приведен на рисунках 1 и 2.

Рисунок 1 - Газоанализатор THERMOX модели CG1000 (базовое исполнение)

Рисунок 2 - Г азоанализатор THERMOX модели CG1000-RTP

Программное обеспечение

Газоанализаторы имеют встроенное программное обеспечение, разработанное изготовителем специально для решения задач измерения объемной доли кислорода.

Встроенное программное обеспечение обеспечивает следующие основные функции:

- обработку и передачу измерительной информации от первичного измерительного преобразователя (электрохимического сенсора);

- отображение результатов измерений на дисплее (при наличии);

- формирование выходного аналогового сигнала;

- формирование релейного выходного сигнала (в зависимости от модели);

- самодиагностику аппаратной части газоанализатора;

- настройку нулевых показаний и чувствительности.

ПО газоанализатора реализует следующие расчетные алгоритмы:

1) вычисление значений объемной доли кислорода по данным от первичного измерительного преобразователя;

2) вычисление значений выходного аналогового сигнала (в зависимости от модели);

3) формирование релейного выходного сигнала (в зависимости от модели);

4) непрерывную самодиагностику аппаратной части газоанализатора.

Встроенное программное обеспечение газоанализаторов идентифицируется путем отображения номера версии на дисплее при включении электрического питания.

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.

Таблица 1

Влияние встроенного программного обеспечения учтено при нормировании метрологических характеристик газоанализаторов.

Газоанализаторы имеют защиту встроенного программного обеспечения от преднамеренных или непреднамеренных изменений. Уровень защиты соответствует уровню "А" по МИ 3286-2010

Технические характеристики

1) Диапазоны показаний и измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой основной погрешности газоанализатора приведены в таблице 2.

Таблица 2

2) Пределы допускаемой вариации выходного сигнала газоанализатора, в долях от пределов допускаемой основной погрешности                                    0,5

3) Номинальное время установления показаний Т0,9ном (при расходе анализируемой газовой смеси 150 см3/мин), с

4) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализато

ра от изменения температуры окружающей среды на каждые 10 oC в диапа

зоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой ос

новной погрешности

5) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализато

ра от изменения атмосферного давления на каждые 3,3 кПа в диапазоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной

погрешности

6) Предел времени работы газоанализатора без корректировки показаний, суток, не более:

- в диапазоне измерений объемной доли кислорода от 0 до 50 млн-1

- в    диапазонах    измерений    объемной    доли    кислорода

св. 50 до 5000 млн-1, св. 0,5 до 2,5 % и св. 2,5 до 100 %

7) Время прогрева, не более, мин

8) Габаритные размеры, не более, мм:

высота

ширина

длина

9) Масса, не более, кг

10) Напряжение питания переменного тока частотой 50 Гц или 60 Гц, В             220+ 22

- 33

11) Потребляемая мощность, не более, ВА:

без встроенного насоса

с встроенным насосом

12) Срок службы газоанализатора, не менее, лет

Условия эксплуатации

- диапазон температуры окружающей среды, 0С:

- диапазон температуры окружающей среды, 0С:

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации и на газоанализатор в виде голографической наклейки.

Комплектность

Комплект поставки газоанализатора приведен в таблице 3.

Таблица 3

Поверка

осуществляется по документу МП-242-0633-2008 "Газоанализаторы THERMOX модели CG1000. Методика поверки", разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева" "14" января 2008 г., с изменением № 1 от 16.07.2013 г.

Основные средства поверки:

- стандартные образцы состава газовые смеси кислород - азот (ГСО 5845-91, 9121-2008, 9122-2008, 3713-87, 3715-87, 3716-87, 3721-87, 3722-87, 3732-87) в баллонах под давлением, выпускаемые по ТУ 6-16-2956-92;

- генератор кислорода ГК-500 по ИБЯЛ.418319.033 ТУ, диапазон воспроизводимых значений объемной доли кислорода от 0,1 до 500 млн-1, пределы допускаемой относительной погрешности (10 ^ 2) %.

Сведения о методах измерений

Методика измерений приведена в документе «Газоанализаторы THERMOX модели CG1000. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

1 ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия.

2 ГОСТ 12.1.005-88 ССБТ. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны.

3 ГОСТ 8.578-2008 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах.

4 Техническая документация фирмы «AMETEK Process Instruments», США.

Рекомендации к применению

при осуществлении производственного контроля за соблюдением установленных законодательством Российской Федерации требований промышленной безопасности к эксплуатации опасного производственного объекта.

при выполнении работ по обеспечению безопасных условий и охраны труда.