Измеритель количества частиц на поверхностях QIII мод. DE 3496 SPD
Номер в ГРСИ РФ: | 30108-05 |
---|---|
Производитель / заявитель: | Фирма "Dryden", США |
Описание
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 30108-05 |
Наименование | Измеритель количества частиц на поверхностях |
Модель | QIII мод. DE 3496 SPD |
Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
Класс СИ | 31.01 |
Год регистрации | 2005 |
Страна-производитель | США |
Центр сертификации СИ | |
Наименование центра | ГЦИ СИ "Воентест" |
Адрес центра | 141006, г.Мытищи Московской обл., 32 ГНИИИ МО РФ или в/ч 55215 |
Руководитель центра | Храменков Виктор Николаевич |
Телефон | (8*095) 586-23-88 |
Факс | 583-99-48 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | . . |
Номер сертификата | 22084В |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
Дата протокола | 14 от 13.10.05 п.04 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Dryden", США
США
Поверка
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
30108-05: Описание типа СИ | Скачать | 2.2 MБ | |
30108-05: Методика поверки | Скачать | 1.7 MБ |
Описание типа
Назначение
Измеритель количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD (далее -измеритель) предназначен для измерения счетной концентрации количества твердых частиц на поверхностях.
Применяется для контроля запыленности поверхностей в чистых зонах и помещениях на объектах сферы обороны и безопасности при производстве продукции микроэлектроники в составе изделия 1X1 НИИСИ РАН.
Описание
Измеритель - переносной прибор, в состав которого входят воздушно-вакуумный насос, выносное устройство пробоотбора, электронный блок и измерительная камера с твердотельным лазером в качестве источника света и световым датчиком.
Принцип действия измерителя основан на фотоэлектрическом методе регистрации аэрозольных частиц. Потоком воздуха под действием насоса, установленного в приборе и соединенного шлангом с устройством пробоотбора, твердые частицы сдуваются с контролируемой поверхности и доставляются в измерительную камеру. Пролетая через освещенный рабочий измерительный объем твердые частицы рассеивают свет. Рассеянный свет фокусируется на фотодиоде, где преобразуется в электрические импульсы с амплитудой, пропорциональной размеру частицы. Электрические импульсы считываются и анализируются с помощью микропроцессорного устройства. Результаты измерений отображаются в виде цифровой информации на жидкокристаллическом дисплее, а также могут архивироваться, просматриваться на ПЭВМ через последовательный интерфейс RS-232 и выводиться на принтер. Измеритель имеет пять каналов измерений в зависимости от размера регистрируемых частиц. Измерения проводятся одновременно по всем каналам. Прибор работает в ручном режиме.
Технические характеристики
Диаметры частиц, регистрируемых в каналах, мкм; в канале 1 в канале 2 в канале 3 в канале 4 в канале 5 Диапазон измерений счетной концентрации частиц, частиц/дм3 Пределы допускаемой относительной погрешности измерения счетной концентрации частиц, % Расход воздуха, дм3/мин Время отбора пробы, с Рабочие условия применения: |
0,3 и выше; 0,5 и выше; 1,0 и выше; 5,0 и выше; 10,0 и выше. 1 ... 2- 103. ± 15. от 25,3 до 31,3. 1, 3, 6. |
диапазон температур окружающего воздуха, °C относительная влажность окружающего воздуха без конденсата, % атмосферное давление, кПа Напряжение питания сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В Потребляемая мощность, ВА, не более Габаритные размеры, мм,: |
от 15 ... до 35; 20 ... 95; 84 ... 106,7. 220 ± 22. 120. |
длина ширина высота Масса, кг |
395; 191; 319. 14,0. |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа средства измерений наносится на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя компьютерным методом.
Комплектность
№ пп. |
Наименование |
Кол-во |
1. |
Измеритель количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD |
1 шт. |
2. |
Выносное устройство пробоотбора |
1 шт. |
3. |
Кабель сетевой |
1 шт. |
4. |
Техническая документация фирмы-изготовителя |
1 экз. |
5. |
Методика поверки |
1 экз. |
Поверка
Поверка проводится в соответствии с документом «Измеритель количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ «Воентест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2005 г. и входящим в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: рабочий эталон счетной концентрации аэрозольных частиц № 001-05-07 (ФГУП «ВНИИФТРИ»); монодисперсный латекс М ОМИКС (ГСО 6015-91...6038-91).
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип измерителя количества частиц на поверхностях QIII модели DE 3496 SPD утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.