Анализатор логический Agilent 93000
| Номер в ГРСИ РФ: | 33075-06 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Agilent Technologies Inc.", США |
Анализатор логический Agilent 93000 (далее - анализатор) предназначен для измерений параметров сигналов при функциональном и параметрическом контроле микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой последовательности функционального контроля до 100 МГц и применяется для выходного контроля параметров и правильности функционирования микросхем при их разработке и производстве в ОАО «НИИМЭ и з-д Микрон», г. Москва.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 33075-06 |
| Наименование | Анализатор логический |
| Модель | Agilent 93000 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 35.01 |
| Год регистрации | 2006 |
| Страна-производитель | Германия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ "Воентест" |
| Адрес центра | 141006, г.Мытищи Московской обл., 32 ГНИИИ МО РФ или в/ч 55215 |
| Руководитель центра | Храменков Виктор Николаевич |
| Телефон | (8*095) 586-23-88 |
| Факс | 583-99-48 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 25757В |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 13д от 16.11.06 п.39 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Agilent Technologies Deutschland GmbH SOC BU Order FulFillment", Германия
Германия
Herrenberger Strasse 130 D-71034 Boeblingen
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 33075-06: Описание типа СИ | Скачать | 261.1 КБ | |
| 33075-06: Методика поверки | Скачать | 8.7 MБ |
Описание типа
Назначение
Анализатор логический Agilent 93000 (далее - анализатор) предназначен для измерений параметров сигналов при функциональном и параметрическом контроле микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой последовательности функционального контроля до 100 МГц и применяется для выходного контроля параметров и правильности функционирования микросхем при их разработке и производстве в ОАО «НИИМЭ и з-д Микрон», г. Москва.
Описание
Принцип действия анализатора основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую анализатором. Анализатор представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого функционально входят цифровые и аналоговые каналы, измерители параметров, источники силы и напряжения постоянного тока, а также коммутационные устройства и управляющие ПЭВМ.
Конструктивно анализатор выполнен в виде измерительного блока, манипулятора, системы охлаждения, управляющей ПЭВМ.
Технические характеристики
При проведении функционального контроля (ФК) анализатор обеспечивает формирование тестовой последовательности длиной до 56 Мбайт наборов векторов с числом каналов до 512.
Анализатор обеспечивает формирование входных воздействий и контроль ожидаемого состояния на выводах микросхем на каждом канале с поканально - независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производится в каждом такте контроля поканально - независимо.
Анализатор обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала функционального контроля с параметрами в соответствии с таблицей 1.
Таблица 1
|
Параметр |
Значение |
|
Цифровые каналы | |
|
Диапазоны воспроизводимых (измеряемых) напряжений, В |
минус 2-^7 (минус 2^-6) |
|
Разрешение, мВ |
2,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения / измерений напряжений, мВ |
±(10/100) |
|
Параметр |
Значение |
|
Диапазон воспроизводимой (измеряемой) силы тока, мА |
0-35 |
|
Разрешение по току, мкА |
12,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) силы тока, мкА |
±425 |
|
Диапазон установки частоты следования импульсов, МГц |
до 100 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты, % |
±0,01 |
|
Неравномерность вершины импульса, %, не более |
8 |
|
Выбросы на вершине и в паузе, %, не более |
10 |
|
Скорость нарастания импульсов, В/нс, не менее |
1,2 |
|
Аналоговые каналы | |
|
Генератор сигналов произвольной формы высокоскоростной | |
|
Максимальная частота синусоидального сигнала, МГц |
32 |
|
Диапазон амплитуд выходного сигнала на нагрузке 50 Ом, В |
±2,5 |
|
Выходное сопротивление, Ом |
50 |
|
Диапазон постоянного напряжения смещения в выходном сигнале на нагрузке 50 Ом, В |
±2,5 |
|
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока на нагрузке > 10 кОм, где UB - воспроизводимое напряжения, В |
± (0,003-ив + 20 мВ) |
|
АЦП высокого разрешения | |
|
Частота дискретизации сигнала, измерений/с |
от 8000 до 2048000 |
|
Разрешение, бит |
16 |
|
Диапазоны входных сигналов, В |
± 0,2; ± 0,75; ± 1,5; ±3; ±6 |
|
Полоса пропускания при ± 6 В, МГц |
3 |
|
Диапазон установки напряжения смещения, В |
± 5 |
|
Входное сопротивление, Ом |
50;1000000. |
|
Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом |
100; 1000000. |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов: ±0,2 В ± 0,75 В ± 1,5 В ±зв ±6 в, где ии3м - измеряемое напряжение, В |
± (0,00Гиизм + 5,2 мВ) ± (0,001-иИзм +5,75 мВ) ± (0,001 -UH3M + 6,5 мВ) ± (0,001-иизм + 8 мВ) ±(0,001-иизм + 11 мВ) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ±0,2 В ± 0,75 В ± 1,5 В ±3 В ±6В |
± (0,0015-иизм± 5,2 мВ) ± (0,0015-ии3м + 5,75 мВ) ± (0,0015'Пизм + 6,5 мВ) ± (0,0015 -иИзм ± 8 мВ) ±(0,0015-и„зм+ И мВ) |
|
АЦП высокого быстродействия | |
|
Частота дискретизации сигнала, измерений/с |
от 1000000 до 41000000 |
|
Разрешение, бит |
12 |
|
Диапазоны входных сигналов, В |
± 0,25; ± 0,5; ± 1,0; ± 2,0 |
|
Полоса пропускания при ± 0,5 В, МГц |
100 |
|
Диапазон установки напряжения смещения, В |
± 4 |
|
Входное сопротивление, Ом |
37,5; 50; 10000 |
|
Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом |
100; 10000. |
|
Параметр |
Значение |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов: ± 0,25 В ±0,5 В ± 1 В ±2В |
± (0,003-иизм + 6,5 мВ) ± (0,003-иизм + 8 мВ) ± (0,003-иизм ± 11 мВ) ±(0,003-иизм± 17 мВ) |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ± 0,25 В ±0,5 В ± 1 В ±2В |
± (0,003-иизм + 7,5 мВ) ± (0,003-иизм ± 10 мВ) ± (0,003-иизм + 15 мВ) ± (0,003-ии3м + 25 мВ) |
Анализаторы обеспечивают воспроизведение и измерение напряжений и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 2.
Таблица 2.
|
Параметр |
Диапазоны |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспро-изведения/измерения |
|
Воспроизведение (измерение) напряжений измерителями параметров, где U - воспроизводимое (измеряемое) напряжение, В; I - измеряемая (воспроизводимая) сила тока, А |
(минус 2 + 7) В |
5 мВ |
± (0,005-U±20 мВ ±0,5-1) |
|
Воспроизведение (измерение) напряжений высокоточными измерителями параметров |
(минус 5 8) В |
0,25 мВ |
± (2 мВ ± 0,5-1) |
|
Воспроизведение / измерение силы постоянного тока измерителями параметров, где 1в - воспроизводимая сила тока, А; 1изм - измеряемая сила тока, А |
± 40 мА ± 1 мА ± 100 мкА ± 10 мкА |
20 мкА 0,5 мкА 50 нА 5 нА |
± (0,005-1в± 200 мкА)/ ± (0,005-1изм+ 50 мкА) ± (0,005-1в± 5 мкА)/ ± (0,005-1изм ± 1,25 мкА) ± (0,005-1в± 500 нА)/ ± (0,005-1„зм+ 125 нА) ±(0,005-1в± 100 нА)/ ± (0,005-1изм+ ЮО нА) |
|
Воспроизведение (измерение) силы постоянного тока высокоточными измерителями параметров |
± 200 мА ± 5 мА ± 200 мкА ± 5 мкА |
6 мкА 0,25 мкА 6 нА 0,25 нА |
±(0,001-1 ±200 мкА) ±(0,001-1 ± 10 мкА) ±(0,001-1 ±200 нА) ±(0,001-1 ± 10 нА) |
|
Воспроизведение напряжений постоянного тока источниками питания |
± 7 В (при силе тока от минус 4 до 8 А) ± 8 В (при силе тока ±4 А) |
1 мВ |
±(0,001-Ub±5mB) |
|
Параметр |
Диапазоны |
Разрешение |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведе-ния/измерения |
|
Измерение силы постоянного тока источниками питания |
±8 А ±0,3 А ± 10 мА ±100 мкА |
1 мА 30 мкА 1 мкА 10 нА |
± (0,00Г1изм ± 20 мА) ± (0,001 1Изм + 300 мкА) ± (0,00Г1Изм +Ю мкА) ± (0,0011Изм + 100 нА) |
|
Воспроизведение силы постоянного тока источниками питания |
от минус 4 до 8 А |
1 мА |
± (0,005-1в + 20 мА) |
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1)Гц, В...........(380 ± 10 %).
Потребляемая мощность, кВА, не более.............................................................................40,4.
Средний срок службы, лет, не менее...................................................................................... 10.
Рабочие условия эксплуатации: температура окружающего воздуха, °C....................................................... от 18 до 22.
относительная влажность воздуха при температуре 20 °C, %.............................до 60.
Габаритные размеры и масса составных частей приведены в таблице 3.
Таблица 3.
|
Наименование составной части |
Габаритные размеры, мм (длина х ширина х высота) не более |
Масса, кг, не более |
|
Измерительный блок: - стойка с электроникой - измерительный головной блок |
1650x600x910 590 х 960 х 760 |
240 480 |
|
Манипулятор |
1650x450x910 |
1287 |
|
Система охлаждения |
950 х 520 х 865 |
190 |
|
Управляющая ПЭВМ: - рабочая станция - монитор |
140x550x550 500 х 700 х 800 |
14 12 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Комплектность
В комплект поставки входят: анализатор логический Agilent 93000, комплект эксплуатационной документации, методика поверки.
Поверка
Поверка анализаторов проводится в соответствии с документом “Анализатор логический Agilent 93000. Методика поверки”, утвержденным начальником ГЦИ СИ «Воентест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2006 г. и входящим в комплект поставки.
Средства поверки: мультиметр 34401 А, диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± 0,008 %, диапазон измерений силы постоянного тока от 10 нА до ЗА, пределы допускаемой погрешности ±0,12 %.; осциллограф цифровой Agilent 54642D, полоса пропускания 0-500 МГц, количество каналов 2, развертка по напряжению от 2 мВ/дел до 5 В/дел.; меры электрического сопротивления образцовые РЗОЗО, Р3031, номинальные значения сопротивлений 100 кОм, 1 кОм, 100 Ом, 10 Ом, 1 мОм, кл. т. 0,02; калибратор программируемый П320, диапазон воспроизводимых напряжений от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± (0,001 + 0,01) %.
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип анализатора логического Agilent 93000 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
Смотрите также
