Измерители удельного сопротивления кремния Рометр
| Номер в ГРСИ РФ: | 35567-17 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ООО НПФ "Электрон", г.Красноярск |
Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» (далее по тексту - прибор) предназначенный для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 35567-17 |
| Наименование | Измерители удельного сопротивления кремния |
| Модель | Рометр |
| Страна-производитель | РОССИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 13.02.2022 |
Производитель / Заявитель
ООО НПФ "Электрон", г.Красноярск
РОССИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 05.05.2024 |
Поверители
Скачать
| 35567-17: Описание типа СИ | Скачать | 199.3 КБ | |
| 35567-17: Методика поверки 18-18/015 МП | Скачать | 4.7 MБ |
Описание типа
Назначение
Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» (далее по тексту - прибор) предназначенный для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.
Описание
Принцип действия прибора основан на пропускании через исследуемый образец кремния постоянного тока известной величины и измерений возникающей разности потенциалов. Постоянный ток пропускают через образец между внешними зондами четырехзондовой головки и измеряют возникающую разность потенциалов между внутренними. Удельное электрическое сопротивление (УЭС) вычисляется из значений заданного тока и измеренной разности потенциалов с применением поправочных коэффициентов на температуру образца, диаметр и толщину пластины.
Прибор состоит из следующих основных функциональных элементов: четырехзондовой головки с линейным расположением зондов; двух источников питания (один для измерительной схемы, другой для питания шаговых двигателей), микроконтроллера; аналогоцифрового преобразователя (АЦП); аналоговых эквивалентов (АЭ); калиброванного источника тока; измерительного усилителя; датчика температуры; подвижного измерительного столика; неподвижного основания прибора; шаговых двигателей; схемы управления шаговыми двигателями; датчика углового вращения измерительного столика; датчика рабочего положения четырехзондовой головки.
Общий вид измерителя удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид прибора
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Место нанесения знака поверки
Место пломбировки пломбой или
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Программное обеспечение предназначено для управления прибором; обработки информации, полученной от измерительных устройств в процессе проведения измерений. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
ПО «РОМЕТР» |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v12.c.xxx * |
*- где v12.. - версия ПО; с - серийный номер СИ; ххх - версия сборки ПО.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Диапазон измерения удельного электрического сопротивления, Ом*см |
от 0,001 до 10000 |
|
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения, %, не более: | |
|
- для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,001 до 0,01 Ом*см - для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,011 до 10000Омхсм - для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,001 до 0,01 Ом - для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,1 до 10000 Ом |
±3 |
|
±2 | |
|
±1,5 | |
|
±0,7 | |
Продолжение таблицы 2
|
Пределы допускаемой дополнительной погрешности от изменения температуры окружающей среды в диапазоне рабочих температур не превышает половины соответствующей основной относительной погрешности | |
|
Отклонение расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от паспортных значений не более, мм |
±0,01 |
|
Нормальные условия измерений - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, % - атмосферное давление, кПа |
от +21 до +25 30-80 от 84 до 106 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
220±22 50±1 |
|
Потребляемая мощность при питании от сети переменного тока, ВХА, не более |
70 |
|
Сопротивление изоляции между входом сетевого разъема и заземляющим проводником в нормальных климатических условиях, МОм, не менее |
20 |
|
Г абаритные размеры прибора, мм, не более - высота - ширина - длина |
560 320 410 |
|
Масса прибора, кг, не более |
25 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха при +25°С, % - атмосферное давление, кПа |
от +18 до +28 80 от 84 до 106 |
|
Средний срок службы, лет |
5 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
2000 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации ИПЛГ.411721.001 РЭ типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество, шт. |
|
Измеритель удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» |
ИПЛГ.411721.001 |
1 |
|
Комплект принадлежностей: | ||
|
Паспорт |
ИПЛГ.411721.001ПС |
1 |
|
Кабель связи между прибором и компьютером |
ИПЛГ.434612.003 |
1 |
|
Программное обеспечение для ПК на CD-R диске |
ИПЛГ.00007 - 01 12 01 |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
ИПЛГ.411721.001 РЭ |
1 |
|
Ящик укладочный |
ИПЛГ.305632.025 |
1 |
|
Программная документация. Описание программы |
ИПЛГ.00007 - 01 13 01 |
1 |
|
Наименование |
Обозначение |
Количество, шт. |
|
Образец монокристаллического кремния с удельным сопротивлением в диапазоне от 0,001 до 10000 Ом*см |
1 | |
|
Методика поверки |
18-18/015 МП |
1 |
Поверка
осуществляется по документу 18-18/015 МП «Измеритель удельного сопротивления
«РОМЕТР». Методика поверки», утвержденному ФБУ «Красноярский ЦСМ» 20.10.2016 г.
Основные средства поверки:
- катушка электрического сопротивления Р310, значения сопротивление 0,001; 0,01Ом, класс точности 0,01; (регистрационный № 1162-58)
- магазин сопротивлений Р 327, диапазон сопротивлений 0,1- 111111 Ом, класс точности 0,01; (регистрационный № 3297-72)
- инструментальный микроскоп ИМЦЛ 100*50, А, диапазон измеряемых длин 0 - 100 мм2, 0 - 50 мм, погрешность ±0,003 мм (регистрационный №12129-03).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих метрологические характеристики поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наноситься на боковую сторону крышки измерительного блока.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний;
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
Технические условия ИПЛГ.411721.001 ТУ.
Смотрите также
