35567-17: Рометр Измерители удельного сопротивления кремния - Производители, поставщики и поверители

Измерители удельного сопротивления кремния Рометр

Номер в ГРСИ РФ: 35567-17
Производитель / заявитель: ООО НПФ "Электрон", г.Красноярск
Скачать
35567-17: Описание типа СИ Скачать 199.3 КБ
35567-17: Методика поверки 18-18/015 МП Скачать 4.7 MБ
Нет данных о поставщике
Измерители удельного сопротивления кремния Рометр поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» (далее по тексту - прибор) предназначенный для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 35567-17
Наименование Измерители удельного сопротивления кремния
Модель Рометр
Страна-производитель РОССИЯ
Срок свидетельства (Или заводской номер) 13.02.2022
Производитель / Заявитель

ООО НПФ "Электрон", г.Красноярск

РОССИЯ

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 2
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 2 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

35567-17: Описание типа СИ Скачать 199.3 КБ
35567-17: Методика поверки 18-18/015 МП Скачать 4.7 MБ

Описание типа

Назначение

Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» (далее по тексту - прибор) предназначенный для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режиме с управлением от персонального компьютера.

Описание

Принцип действия прибора основан на пропускании через исследуемый образец кремния постоянного тока известной величины и измерений возникающей разности потенциалов. Постоянный ток пропускают через образец между внешними зондами четырехзондовой головки и измеряют возникающую разность потенциалов между внутренними. Удельное электрическое сопротивление (УЭС) вычисляется из значений заданного тока и измеренной разности потенциалов с применением поправочных коэффициентов на температуру образца, диаметр и толщину пластины.

Прибор состоит из следующих основных функциональных элементов: четырехзондовой головки с линейным расположением зондов; двух источников питания (один для измерительной схемы, другой для питания шаговых двигателей), микроконтроллера; аналогоцифрового преобразователя (АЦП); аналоговых эквивалентов (АЭ); калиброванного источника тока; измерительного усилителя; датчика температуры; подвижного измерительного столика; неподвижного основания прибора; шаговых двигателей; схемы управления шаговыми двигателями; датчика углового вращения измерительного столика; датчика рабочего положения четырехзондовой головки.

Общий вид измерителя удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» представлен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид прибора

Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.

Место нанесения знака поверки

Место пломбировки пломбой или

Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки

Программное обеспечение

Программное обеспечение предназначено для управления прибором; обработки информации, полученной от измерительных устройств в процессе проведения измерений. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

ПО «РОМЕТР»

Номер версии (идентификационный номер) ПО

v12.c.xxx *

*- где v12.. - версия ПО; с - серийный номер СИ; ххх - версия сборки ПО.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Диапазон измерения удельного электрического сопротивления, Ом*см

от 0,001 до 10000

Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения, %, не более:

- для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,001 до 0,01 Ом*см

- для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,011 до 10000Омхсм

- для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,001 до 0,01 Ом

- для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,1 до 10000 Ом

±3

±2

±1,5

±0,7

Продолжение таблицы 2

Пределы допускаемой дополнительной погрешности от изменения температуры окружающей среды в диапазоне рабочих температур не превышает половины соответствующей основной относительной погрешности

Отклонение расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от паспортных значений не более, мм

±0,01

Нормальные условия измерений

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность, %

- атмосферное давление, кПа

от +21 до +25 30-80 от 84 до 106

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц

220±22

50±1

Потребляемая мощность при питании от сети переменного тока, ВХА, не более

70

Сопротивление изоляции между входом сетевого разъема и заземляющим проводником в нормальных климатических условиях, МОм, не менее

20

Г абаритные размеры прибора, мм, не более - высота

- ширина

- длина

560

320

410

Масса прибора, кг, не более

25

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха при +25°С, %

- атмосферное давление, кПа

от +18 до +28

80 от 84 до 106

Средний срок службы, лет

5

Средняя наработка на отказ, ч

2000

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации ИПЛГ.411721.001 РЭ типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество, шт.

Измеритель удельного сопротивления кремния «РОМЕТР»

ИПЛГ.411721.001

1

Комплект принадлежностей:

Паспорт

ИПЛГ.411721.001ПС

1

Кабель связи между прибором и компьютером

ИПЛГ.434612.003

1

Программное обеспечение для ПК на CD-R диске

ИПЛГ.00007 - 01 12 01

1

Руководство по эксплуатации

ИПЛГ.411721.001 РЭ

1

Ящик укладочный

ИПЛГ.305632.025

1

Программная документация. Описание программы

ИПЛГ.00007 - 01 13 01

1

Наименование

Обозначение

Количество, шт.

Образец монокристаллического кремния с удельным сопротивлением в диапазоне от 0,001 до 10000 Ом*см

1

Методика поверки

18-18/015 МП

1

Поверка

осуществляется по документу 18-18/015 МП «Измеритель удельного сопротивления

«РОМЕТР». Методика поверки», утвержденному ФБУ «Красноярский ЦСМ» 20.10.2016 г.

Основные средства поверки:

- катушка электрического сопротивления Р310, значения сопротивление 0,001; 0,01Ом, класс точности 0,01; (регистрационный № 1162-58)

- магазин сопротивлений Р 327, диапазон сопротивлений 0,1- 111111 Ом, класс точности 0,01; (регистрационный № 3297-72)

- инструментальный микроскоп ИМЦЛ 100*50, А, диапазон измеряемых длин 0 - 100 мм2, 0 - 50 мм, погрешность ±0,003 мм (регистрационный №12129-03).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих метрологические характеристики поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наноситься на боковую сторону крышки измерительного блока.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний;

ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.

Технические условия ИПЛГ.411721.001 ТУ.

Смотрите также

35780-16
ФСТ-03В Газоанализаторы
НП ОДО "Фармэк", Беларусь, г.Минск
Газоанализаторы ФСТ-03В предназначены для непрерывного автоматического измерения массовой концентрации угарного газа (монооксид углерода), аммиака и (или) объемной доли кислорода, метана или пропана, а также довзрывных концентраций горючих газов и па...
36104-16
SIDOR Газоанализаторы
Фирма "SICK AG", Германия
Г азоанализаторы SIDOR предназначены для автоматического непрерывного измерения объемной доли (массовой концентрации) оксида углерода (СО), диоксида углерода (СО2), оксида азота (NO), закиси азота (N2O), диоксида серы (SO2), метана (CH4) и кислорода...
Преобразователи измерительные активной мощности трехфазного тока Е848М (далее по тексту - ИП) предназначены для линейного преобразования активной мощности переменного тока частотой 50 Гц в унифицированный выходной сигнал постоянного тока.
36602-17
GageMax Машины координатные измерительные
Фирма "Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH", Германия
Машины координатные измерительные GageMax (далее - КИМ) предназначены для измерений геометрических размеров и формы деталей, для контроля деталей в условиях серийного производства в цеховых условиях.
36697-17
СЭТ-4ТМ.03М, СЭТ-4ТМ.02М Счетчики электрической энергии многофункциональные
АО "Нижегородское НПО им.М.В.Фрунзе", г.Нижний Новгород
Счетчики электрической энергии многофункциональные СЭТ-4ТМ.03М, СЭТ-4ТМ.02М предназначены для измерения и многотарифного учета активной и реактивной энергии в двух направлениях (в том числе и с учетом потерь), ведения массивов профиля мощности нагруз...