Газоанализаторы микроконцентраций кислорода фотолюминесцентные ГКЛ-01

Назначение

Газоанализатор микроконцентраций кислорода фотолюминесцентный ГКЛ-01 (далее - газоанализатор) предназначен для измерения содержания кислорода в смеси с азотом, аргоном, гелием, водородом, и в смесях с другими газами, не реагирующими с кислородом, между собой и с материалом люминесцентного сенсорного элемента.

Область применения - технологический контроль содержания кислорода в газах особой чистоты, используемых в промышленности, в т.ч. на предприятиях по выпуску полупроводниковых структур различной степени сложности, в установках для получения газообразного азота и других чистых газов, изготовители ГСО-ПГС.

Описание

Газоанализатор является стационарным автоматическим прибором непрерывного действия.

Принцип действия газоанализатора основан на тушении кислородом фотолюминесценции триплетного состояния молекул органических красителей, адсорбированных в жестких средах, представляющих собой мелкодисперсные порошки крупнопористого силикагеля.

Конструктивно газоанализатор выполнен в металлическом корпусе, на лицевой панели которого расположены цифровой дисплей и органы управления. Газоанализатор содержит следующие устройства: фотоумножитель, геттерный очиститель, блок контроллера, измерительную ячейку с импульсным управлением световыми потоками. В измерительную ячейку установлен фотолюминесцентный чувствительный элемент.

Способ отбора проб - принудительный, за счет избыточного давления в точке отбора пробы или от внешнего побудителя расхода.

Преобразователь имеет выходные сигналы:

- показания встроенного цифрового дисплея;

- унифицированный аналоговый сигнал постоянного тока (4 + 20) мА;

Газоанализатор обеспечивает связь с другими устройствами по интерфейсу RS-485 (по протоколу MODBUS RTU) и интерфейсу RS-232.

На дисплее газоанализатора отображается значение объемной доли кислорода в анализируемой газовой смеси в млн'1.

Г азоанализатор имеет класс защиты от поражения электрическим током 01 по ГОСТ 12.2.007.0-75.

К орпус преобразователя имеет степень защиты от внешних воздействий IP64 по ГОСТ 14254-96.

Вид климатического исполнения - УХЛ 4.2 по ГОСТ 15150.

Технические характеристики

1 Диапазоны измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой основной погрешности газоанализатора приведены в таблице 1.

Таблица 1

2 Номинальная статическая функция преобразования имеет вид: Кых — 1н ± к'Свх ■>                                                 (1)

где 1вых - выходной ток, мА;

1Н - нижняя граница выходного токового сигнала, 1Н = 4 мА;

к - коэффициент преобразования,

к = 1,6 мА/млн'1 - в диапазоне от 0 до 10 млн'1, к = 0,16 мА/млн'1 - в диапазоне от 0 до 100 млн'1.

3 Пределы допускаемой дополнительной погрешности от изменения температуры окружающей среды и анализируемой газовой смеси в пределах рабочих условий эксплуатации составляют в долях от пределов допускаемой основной погрешности                                                                                          0,1.

4 Предел допускаемой вариации выходного сигнала в долях от предела допускаемой основной абсолютной погрешности

5 Пределы допускаемого изменения показаний за 8 ч непрерывной работы в долях от пределов допускаемой основной абсолютной погрешности,

6 Разность между результатом измерений содержания кислорода, считанным с дисплея газоанализатора и рассчитанным по выходному токовому сигналу, не более 0,2 в долях от пределов допускаемой основной погрешности.

7 Предел допускаемого времени установления выходного сигнала Тод, мин,

8 Время выхода газоанализатора на рабочий режим, не более               1 ч 30 мин.

9 Питание газоанализатора осуществляется напряжением 220^зз В переменного тока частотой (50±1) Гц.

10 Электрическая мощность, потребляемая газоанализатором, В А, не более,

11 Габаритные размеры газоанализатора, мм, не более

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и методом штемпелевания на табличку на корпусе преобразователя.

Комплектность

Комплектность поставки преобразователей указана в таблице 1.

Таблица 1

Поверка

Поверка осуществляется в соответствии с документом "Газоанализатор микроконцентраций кислорода фотолюминесцентный ГКЛ-01. Методика поверки. МП 242-0781-2008", утвержденным ГЦИ СИ "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева " в декабре 2008 г.

Основные средства поверки: генератор газовых смесей ГГС-03-03 (Госреестр СИ per. № 19351-00); эталон сравнения Ог/Не с содержанием кислорода 1000 млн’1 (Хд.2.706.136-ЭТ174, 3

границы относительной погрешности ± 0,5 % (Р=0,99)), эталон сравнения - чистый газ гелий (Хд2.706.137ЭТ6, степень чистоты 99,99995 %).

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

1) ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия.

2) ГОСТ 12997-84 Изделия ГСП. Общие технические условия.

3) ГОСТ 8.578-2008 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах.

4) Технические условия ШДЕК.413324.001ТУ.

Заключение

Тип газоанализаторов микроконцентраций кислорода фотолюминесцентных ГКЛ-01 утверждён с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.

Сертификат соответствия № РОСС RU.ME48.B02556 от 28.01.2009 г., выдан ОС приборостроительной продукции ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева».