Меры периода линейные TDG01
| Номер в ГРСИ РФ: | 41676-09 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва |
| 41676-09: Описание типа СИ | Скачать | 112.8 КБ |
Относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4) м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, сканирующих близкопольныхоптических микроскопов и других средств измерений малой длины. Область применения: оснащение органов метрологических служб, оснащение лабораторий и испытательных центров, оснащение научных и учебных лабораторий, применяющих указанное оборудование для калибровки.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 41676-09 |
| Наименование | Меры периода линейные |
| Модель | TDG01 |
| Технические условия на выпуск | ТУ 3932-010-40349675-2009 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | Россия |
| Примечание | 12.11.2014 продлен срок свидетельства |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 12.11.2019 |
| Номер сертификата | 36631 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 1802 п. 05 от 12.11.201409д от 08.10.09 п.117 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва
Россия
124482, Зеленоград, кор.100, тел. +7(499) 735-03-05 Факс +7(499) 735-64-10. (124460, Зеленоград, кор.167), E-mail: spm@ntmdt.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | 3932-010-40349675-2009 РЭ, Раздел 4 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 15 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 15 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 41676-09: Описание типа СИ | Скачать | 112.8 КБ |
Описание типа
Назначение
Меры периода линейные TDG01 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Меры представляет собой совокупность совокупность протяженных шаговых структур на поверхности халькогенидного стекла с внешним диаметральным размером 12,5 мм и диаметральным размером рабочей области - 9 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с синусоидальной (в разрезе) геометрической формой элемента рельефа.
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода линейно-угловой TDG01.
Технические характеристики
Таблица 1
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
0,278 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,001 |
|
Плотность периодической структуры меры, периодов/мм |
3600 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности при формировании периодической структуры не более, % |
± 0,03 |
|
Максимальная высота профиля меры не более, нм |
60 |
|
Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, % - атмосферное давление, Па б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па - температура держателя образца, оС |
20 ± 3 65 ± 15 (100 ±4)403 от 1 •Ю-4 до 270 20 ± 3 |
|
Масса меры не более, г |
10 |
|
Габаритные размеры меры (диаметр х толщина), мм |
12,5x2,5 |
|
Размеры рабочей области меры (диаметр), мм |
9,0 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Комплектность
- 1шт.;
- 1 шт.;
- 1шт.
Мера TDG01
Специальный футляр
Руководство по эксплуатации (паспорт)
Поверка
осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-010-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Сведения о методах измерений
Меры периода линейно-угловые TDG01. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Технические условия 3932-010-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-010-40349675-2009 РЭ.
Рекомендации к применению
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
Смотрите также
