Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3
| Номер в ГРСИ РФ: | 41678-09 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва |
| 41678-09: Описание типа СИ | Скачать | 113.8 КБ |
Относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4) м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, атомно-силовых микроскопов, профилометров и других средств измерений малой длины. Область применения: оснащение органов метрологических служб, оснащение лабораторий и испытательных центров, оснащение научных и учебных лабораторий, применяющих указанное оборудование для калибровки.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 41678-09 |
| Наименование | Меры периода и высоты линейные |
| Модель | TGZ1, TGZ2, TGZ3 |
| Технические условия на выпуск | ТУ 3932-013-40349675-2009 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | Россия |
| Примечание | 12.11.2014 продлен срок свидетельства |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 12.11.2019 |
| Номер сертификата | 36633 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 1802 п. 03 от 12.11.201409д от 08.10.09 п.119 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва, Зеленоград
Россия
124482, Зеленоград, кор.100, тел. +7(499) 735-03-05 Факс +7(499) 735-64-10. (124460, Зеленоград, кор.167), E-mail: spm@ntmdt.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | 3932-013-40349675-2009 РЭ, Раздел 4 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 115 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 115 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 41678-09: Описание типа СИ | Скачать | 113.8 КБ |
Описание типа
Назначение
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGZ1, TGZ2, TGZ3.
Технические характеристики
Таблица 1
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение периода структуры меры, мкм |
3,00 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
± 0,01 |
|
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, нм Мера TGZ1 |
20 110 |
|
Мера TGZ2 Мера TGZ3 |
520 |
|
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм Мера TGZ1 |
± 2 |
|
Мера TGZ2 |
± 10 |
|
Мера TGZ3 |
± 20 |
|
Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С |
20 ± 3 |
|
- относительная влажность, % |
65 ± 15 |
|
- атмосферное давление, Па |
(100 ±4)403 |
|
б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па |
от 140-4 до 270 |
|
- температура держателя образца, оС |
20 ± 3 |
|
Масса меры не более, г |
5 |
|
Габаритные размеры меры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
|
Размеры рабочей области меры, мм |
3,0х3,0 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Комплектность
Мера TGZ - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Сведения о методах измерений
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Технические условия 3932-013-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-013-40349675-2009 РЭ.
Рекомендации к применению
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
Смотрите также
