41748-09: VLSI NLS6-0.1 Мера периода линейная - Производители, поставщики и поверители

Мера периода линейная VLSI NLS6-0.1

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 41748-09
Производитель / заявитель: Фирма "VLSI Standards, Inc.", США
Скачать
41748-09: Описание типа СИ Скачать 98.9 КБ
Нет данных о поставщике
Мера периода линейная VLSI NLS6-0.1 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для передачи размера единицы длины в диапазоне 100 мкм...1 нм и поверки (калибровки) измерительных электронных микроскопов, предназначенных для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин). Область применения: оснащение научно-исследовательских и производственных лабораторий по выпуску и контролю за геометрическими параметрами электронных интегральных микросхем для калибровки и поверки указанного оборудования.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 41748-09
Наименование Мера периода линейная
Модель VLSI NLS6-0.1
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2009
Страна-производитель  США 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 36756
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 10 от 05.11.09 п.21
Производитель / Заявитель

Фирма "VLSI Standards, Inc.", США

 США 

USA, 3087 North First Street, San Jose, CA 95134-2006 тел. +408 428-1800 факс+408 428-9555

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП ВНИИМС
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

41748-09: Описание типа СИ Скачать 98.9 КБ

Описание типа

Назначение

Мера периода линейная VLSI NLS6-0.1 (далее - мера) относится к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне ЮОмкм + 1 нм и поверки (калибровки) измерительных электронных микроскопов, предназначенных для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин).

Область применения: оснащение научно-исследовательских и производственных лабораторий по выпуску и контролю за геометрическими параметрами электронных интегральных микросхем для калибровки и поверки указанного оборудования.

Описание

Мера представляет собой совокупность протяженных шаговых структур на поверхности кремниевой подложки с внешним диаметральным размером 150 мм и размером рабочей области - 1,2x1 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с трапецеидальной геометрической формой элемента рельефа.

Технические характеристики

Наименование

Значение

Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм

0,0998

Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм

0,001

Условия эксплуатации:

Класс чистоты по ГОСТ 17216-2001

10

Масса меры должна быть не более, кг

0,01

Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм

150x0,7

Размер рабочей области меры, мм

1,2x1

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта и на футляре.

Комплектность

В комплект поставки входит:

• Мера VLSI NLS6-0.1                         1шт.

• Специальный футляр                         1 шт.

Поверка

Поверка меры периода линейной VLSI NLS6-0.1 проводится в соответствии с методикой поверки, разработанной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» и утвержденной в августе 2009 года.

Основным средством поверки является:

- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой СмартСПМ - 1000 (ТУ 1706001-98300415-08).

Межповерочный интервал - 2 года.

Заключение

Тип меры периода линейной VLSI NLS6-0.1 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
41749-09
NanoSEM-3D Микроскоп сканирующий электронный
Фирма "Applied Materials, Inc.", США
Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных...
Default ALL-Pribors Device Photo
4175-74
ТП1133В Газоанализаторы автоматические
Завод газоанализаторов ПО "Выруприбор", Эстония, г.Выру
Default ALL-Pribors Device Photo
4175-80
ТП1133В, ТП1133-1 Газоанализаторы автоматические
Завод газоанализаторов ПО "Выруприбор", Эстония, г.Выру
Default ALL-Pribors Device Photo
41750-09
ТСП 001 Термометры сопротивления платиновые
ООО "Владимирский завод "Эталон", г.Владимир
Для измерения температуры в открытых и закрытых системах теплоснабжения и теплоэнергетике.
Default ALL-Pribors Device Photo
41751-09
Ultrapure-100 Счетчик частиц
Фирма "Hach Ultra Analytics", США
Для измерений счетной концентрации взвешенных в жидкости частиц. Применяется для контроля высокочистых образцов жидкостей, тестирования фильтров воды.