Мера периода линейная VLSI NLS6-0.1
| Номер в ГРСИ РФ: | 41748-09 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "VLSI Standards, Inc.", США |
|
41748-09: Описание типа
2009-41748-09.pdf
|
Скачать | 98.2 КБ |
Для передачи размера единицы длины в диапазоне 100 мкм...1 нм и поверки (калибровки) измерительных электронных микроскопов, предназначенных для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин). Область применения: оснащение научно-исследовательских и производственных лабораторий по выпуску и контролю за геометрическими параметрами электронных интегральных микросхем для калибровки и поверки указанного оборудования.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 41748-09 | ||||||
| Наименование | Мера периода линейная | ||||||
| Модель | VLSI NLS6-0.1 | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 3148bf55-21a7-6eab-005a-456b429a1e81 | ||||||
| Испытания |
|
||||||
| Год регистрации | 2009 | ||||||
| Общие данные | |
|---|---|
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2009 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 36756 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 10 от 05.11.09 п.21 |
Производитель / Заявитель
Фирма "VLSI Standards, Inc.", СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
США
USA, 3087 North First Street, San Jose, CA 95134-2006 тел. +408 428-1800 факс+408 428-9555
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
2 года
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Актуальность информации | 14.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
41748-09: Описание типа
2009-41748-09.pdf
|
Скачать | 98.2 КБ |
Описание типа
Назначение
Мера периода линейная VLSI NLS6-0.1 (далее - мера) относится к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне ЮОмкм + 1 нм и поверки (калибровки) измерительных электронных микроскопов, предназначенных для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин).
Область применения: оснащение научно-исследовательских и производственных лабораторий по выпуску и контролю за геометрическими параметрами электронных интегральных микросхем для калибровки и поверки указанного оборудования.
Описание
Мера представляет собой совокупность протяженных шаговых структур на поверхности кремниевой подложки с внешним диаметральным размером 150 мм и размером рабочей области - 1,2x1 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с трапецеидальной геометрической формой элемента рельефа.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
0,0998 |
|
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм |
0,001 |
|
Условия эксплуатации: Класс чистоты по ГОСТ 17216-2001 |
10 |
|
Масса меры должна быть не более, кг |
0,01 |
|
Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм |
150x0,7 |
|
Размер рабочей области меры, мм |
1,2x1 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта и на футляре.
Комплектность
В комплект поставки входит:
• Мера VLSI NLS6-0.1 1шт.
• Специальный футляр 1 шт.
Поверка
Поверка меры периода линейной VLSI NLS6-0.1 проводится в соответствии с методикой поверки, разработанной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» и утвержденной в августе 2009 года.
Основным средством поверки является:
- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой СмартСПМ - 1000 (ТУ 1706001-98300415-08).
Межповерочный интервал - 2 года.
Заключение
Тип меры периода линейной VLSI NLS6-0.1 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
Смотрите также
