Газоанализаторы стационарные GD-77
| Номер в ГРСИ РФ: | 42572-10 |
|---|---|
| Категория: | Газоанализаторы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Riken Keiki Co., Ltd.", Япония |
| 42572-10: Описание типа СИ | Скачать | 147.1 КБ |
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 42572-10 |
| Наименование | Газоанализаторы стационарные |
| Модель | GD-77 |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 01.08.2015 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Riken Keiki Co., Ltd.", Япония
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 9 |
| Найдено поверителей | 7 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 9 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 42572-10: Описание типа СИ | Скачать | 147.1 КБ |
Описание типа
Назначение
Газоанализаторы стационарные серии GD-77 (далее - газоанализаторы) предназначены для автоматического непрерывного измерения токсичных газов, газов сопутствующих производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, а также водорода и кислорода в воздухе рабочей зоны и сигнализации при превышении установленных порогов.
Приборы предназначены для использования в электронной промышленности.
Описание
Газоанализаторы стационарные серии имеют следующие модификации GD-77: GD-K77D предназначенные для измерения содержания токсичных газов, газов сопутствующих производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, а также водорода; GD-F77A предназначенные для измерения содержания кислорода. Газоанализаторы комплектуются блоком индикации и сигнализации RM-580. Пороги срабатывания сигнализации настраиваются по требованию заказчика при помощи меню.
В газоанализаторах GD-K77D используются электрохимические сенсоры, газоанализаторы GD-F77A измеряют содержание кислорода гальваническим методом. Приборы имеют встроенные микропроцессоры, цифровой дисплей. Выходной сигнал сенсоров 4-20 мА. Далее сигнал поступает на блоки индикации/сигнализации или программно-логические контроллеры, осуществляющие контроль и управление технологическим процессом производства.
Технические характеристики
Основные метрологические характеристики газоанализаторов приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Модификация газоанализатора |
Определяемый компонент |
Диапазон измерения, объемная доля |
Пределы допускаемых значений основной приведенной по грешности, % |
Пределы допускаемых значений основной абсолютной по грешности,% |
|
GD-K77D |
НС1 |
(0-15) млн'1 |
±20 | |
|
NH3 |
(0-75) млн'1 |
±20 | ||
|
AsH3 |
(0-0,2) млн'1 |
± 15 | ||
|
Cl2 |
(0-1,5) млн'1 |
±20 | ||
|
РН3 |
(0-1) млн'1 |
± 15 | ||
|
н2 |
(0-2000) млн'1 |
± 10 | ||
|
NO ; |
(0-100) млн'1 |
± 10 | ||
|
no2 |
(0-15) млн'1 |
±20 | ||
|
so2 |
(0-30) млн'1 |
±20 | ||
|
f2 |
(0-3) млн'1 (0-5) млн'1 |
±20 ±20 | ||
|
HF |
(0-9) млн 1 |
±20 | ||
|
o3 |
(0 - 1) млн'1 |
±25 | ||
|
GD-F77A' |
o2 |
(0-25) % |
±0,7 |
Дополнительная погрешность от изменения температуры окружающей среды на каждые 10°С в долях предела допускаемой погрешности не превышает 0,3 предела допускаемой основной погрешности.
Основные технические характеристики газоанализаторов приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Модификация газоанализаторов |
Способ отбора пробы |
Время установления показаний, Тео с, не более |
Габаритные размеры, мм, не более |
Масса, кг, не более |
Условия эксплуатации (температура/ относительная влажность) |
|
GD-K77D |
встроенный насос |
60 |
70x170x153 |
2,0 |
0...+40 °C 30...85 % |
|
GD-F77A |
диффузионный |
60 |
70x170x153 |
2,0 |
0...+40 °C 30...85 % |
Напряжение питания
24 В;
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на лицевую панель прибора методом штемпелевания и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Приложение к свидетельству Лист 3
№об утверждении типа Листов 3
средств измерений
Комплектность
В комплект поставки газоанализаторов входят:
Газоанализатор серии GD-77 1шт.
Руководство по эксплуатации 1 шт.
Инструкция. Газоанализаторы серии GD-77.
Методика поверки 1 шт.
Поверка
Поверка газоанализаторов стационарных серии GD-77 осуществляется в соответствии с документом "Инструкция. Газоанализаторы стационарные серии GD-77. Методика поверки", разработанной и утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2010 ГОДУ-
Поверка проводится с использованием ГСО-ПГС NO, Нг, Ог в баллонах под давлением. выпускаемых по ТУ 6-16-2956-92, установки газосмесительной динамической «Микрогаз-Ф» по ТУ 4215-004-07518800-02, установки высшей точности на фосфин УВТ-Ф № 60-А-89, установки высшей точности на арсин УВТ-Ф № 59-А-89, генератор озона типа ГС 7601 и генератор смесей F2 / air.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 13320-81 "Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия".
ГОСТ 8.578-08 «Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах»
Техническая документация фирмы "Riken Keiki Со., Ltd.", Япония
Заключение
Тип газоанализаторов стационарных серии GD-77 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
Другие Газоанализаторы
