Профилометр оптический TALYSURF CCI 6000
Номер в ГРСИ РФ: | 44893-10 |
---|---|
Категория: | Профилометры |
Производитель / заявитель: | Фирма "Taylor Hobson Ltd.", Великобритания |
44893-10: Описание типа СИ | Скачать | 163 КБ |
Для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения 0,3...100 % бесконтактным методом. Применяется в ФГУП "ВНИИМС".
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 44893-10 |
Наименование | Профилометр оптический |
Модель | TALYSURF CCI 6000 |
Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
Класс СИ | 27.01 |
Год регистрации | 2010 |
Страна-производитель | Великобритания |
Центр сертификации СИ | |
Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
Телефон | (8*095) 437-55-77 |
Факс | 437-56-66 |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | . . |
Номер сертификата | 40476 |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.270 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Taylor Hobson Ltd.", Великобритания
Великобритания
PO Box 36, 2 New Star Road, Leicester, LE4 9JQ, England, тел.+44(0) 116 276 3771 факс +44(0) 116 276 3058
Поверка
Методика поверки / информация о поверке | МП ВНИИМС |
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 9 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 9 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
44893-10: Описание типа СИ | Скачать | 163 КБ |
Описание типа
Назначение
Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» (далее прибор) предназначен для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения от 0,3 до 100 % бесконтактным методом.
Применяется в ФГУП «ВНИИМС».
Описание
Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» относится к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции света.
Оптический профилометр состоит из отдельно стоящего блока осветителя, от которого свет направляется по световоду к измерительной головке, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система ( набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав прибора входит компьютер со специализированными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом и два монитора. Две специализированные программы служат для управления механическими частями прибора, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, строить трехмерные изображения рельефа поверхности, выделять отдельные профили поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости.
Измерения осуществляются с использованием патентованного метода когерентной корреляционной интерферометрии.
Метод основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.
Технические характеристики
___ ____ _____ _____ ____ ____ _____ ____ Таблица 1
Диапазон измерений (по оси Z), мкм |
0,0001 - 400 |
Разрешение (по оси Z), А |
0,1 |
Повторяемость (по оси Z) RMS, А |
■ 0,03 |
Линейность (по оси Z), % |
0,03 |
Оптическое разрешение (по осям: X,Y), мкм |
0,4 - 0,6 |
Измеряемая площадка (по осям: X,Y), мм |
0,6x0,6-7x7 |
Коэффициент отражения, % |
0,3-100 |
Максимальный размер детали, мм |
300 х 300 х 100 |
Максимальный вес детали, кг |
10 |
Время измерения, с |
10-20 |
Рабочие условия применения:
-температура окружающей среды, °C 15-30
- изменение температуры окружающей среды в процессе работы не более, °C 0,1
- относительная влажность, не более, % 80
- частота возмущающих вибраций не более 10 Гц при амплитуде колебаний не более 1 мкм
Метрологические характеристики прибора
Таблица 2
Измеряемый параметр |
Диапазон измерений, мкм |
Случайная составляющая погрешности прибора |
Систематическая составляющая погрешности прибора |
Rz, Rmax |
0,0001 - 400 |
0,3% + 0,1 нм |
3% |
Знак утверждения типа
Знак Утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус прибора.
Комплектность
В комплект поставки входит:
1. Профилометр «СС16000»;
2. Запасные части и принадлежности;
3. Методика поверки.
Поверка
Поверка профилометра оптического «TALYSURF CCI 6000» производится в соответствии с документом по поверке «Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000». Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае 2010 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296 - 78
Межповерочный интервал 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 8.296 - 78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025-1600 мкм»
Техническая документация фирмы-производителя.
Заключение
Тип профилометра оптического «TALYSURF CCI 6000» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.