Профилометр оптический TALYSURF CCI 6000

Назначение

Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» (далее прибор) предназначен для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения от 0,3 до 100 % бесконтактным методом.

Применяется в ФГУП «ВНИИМС».

Описание

Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» относится к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции света.

Оптический профилометр состоит из отдельно стоящего блока осветителя, от которого свет направляется по световоду к измерительной головке, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система ( набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав прибора входит компьютер со специализированными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом и два монитора. Две специализированные программы служат для управления механическими частями прибора, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, строить трехмерные изображения рельефа поверхности, выделять отдельные профили поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости.

Измерения осуществляются с использованием патентованного метода когерентной корреляционной интерферометрии.

Метод основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.

Технические характеристики

___   ____ _____ _____ ____ ____ _____ ____ Таблица 1

Рабочие условия применения:

-температура окружающей среды, °C                                       15-30

- изменение температуры окружающей среды в процессе работы не более, °C          0,1

- относительная влажность, не более, %                                              80

- частота возмущающих вибраций не более 10 Гц при амплитуде колебаний не более 1 мкм

Метрологические характеристики прибора

Таблица 2

Знак утверждения типа

Знак Утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус прибора.

Комплектность

В комплект поставки входит:

1. Профилометр «СС16000»;

2. Запасные части и принадлежности;

3. Методика поверки.

Поверка

Поверка профилометра оптического «TALYSURF CCI 6000» производится в соответствии с документом по поверке «Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000». Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае 2010 г. и включенной в комплект поставки.

Основное поверочное оборудование: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296 - 78

Межповерочный интервал 1 год.

Нормативные документы

ГОСТ 8.296 - 78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025-1600 мкм»

Техническая документация фирмы-производителя.

Заключение

Тип профилометра оптического «TALYSURF CCI 6000» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.