44893-10: TALYSURF CCI 6000 Профилометр оптический - Производители, поставщики и поверители

Профилометр оптический TALYSURF CCI 6000

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 44893-10
Категория: Профилометры
Производитель / заявитель: Фирма "Taylor Hobson Ltd.", Великобритания
Скачать
44893-10: Описание типа СИ Скачать 163 КБ
Нет данных о поставщике
Профилометр оптический TALYSURF CCI 6000 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения 0,3...100 % бесконтактным методом. Применяется в ФГУП "ВНИИМС".

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 44893-10
Наименование Профилометр оптический
Модель TALYSURF CCI 6000
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2010
Страна-производитель  Великобритания 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон (8*095) 437-55-77
Факс 437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 40476
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.270
Производитель / Заявитель

Фирма "Taylor Hobson Ltd.", Великобритания

 Великобритания 

PO Box 36, 2 New Star Road, Leicester, LE4 9JQ, England, тел.+44(0) 116 276 3771 факс +44(0) 116 276 3058

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП ВНИИМС
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 9
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 9 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 22.12.2024

Поверители

Скачать

44893-10: Описание типа СИ Скачать 163 КБ

Описание типа

Назначение

Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» (далее прибор) предназначен для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения от 0,3 до 100 % бесконтактным методом.

Применяется в ФГУП «ВНИИМС».

Описание

Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000» относится к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции света.

Оптический профилометр состоит из отдельно стоящего блока осветителя, от которого свет направляется по световоду к измерительной головке, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система ( набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав прибора входит компьютер со специализированными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом и два монитора. Две специализированные программы служат для управления механическими частями прибора, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, строить трехмерные изображения рельефа поверхности, выделять отдельные профили поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости.

Измерения осуществляются с использованием патентованного метода когерентной корреляционной интерферометрии.

Метод основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали.

Технические характеристики

___   ____ _____ _____ ____ ____ _____ ____ Таблица 1

Диапазон измерений (по оси Z), мкм

0,0001 - 400

Разрешение (по оси Z), А

0,1

Повторяемость (по оси Z) RMS, А

■             0,03

Линейность (по оси Z), %

0,03

Оптическое разрешение (по осям: X,Y), мкм

0,4 - 0,6

Измеряемая площадка (по осям: X,Y), мм

0,6x0,6-7x7

Коэффициент отражения, %

0,3-100

Максимальный размер детали, мм

300 х 300 х 100

Максимальный вес детали, кг

10

Время измерения, с

10-20

Рабочие условия применения:

-температура окружающей среды, °C                                       15-30

- изменение температуры окружающей среды в процессе работы не более, °C          0,1

- относительная влажность, не более, %                                              80

- частота возмущающих вибраций не более 10 Гц при амплитуде колебаний не более 1 мкм

Метрологические характеристики прибора

Таблица 2

Измеряемый параметр

Диапазон измерений, мкм

Случайная составляющая погрешности прибора

Систематическая составляющая погрешности прибора

Rz, Rmax

0,0001 - 400

0,3% + 0,1 нм

3%

Знак утверждения типа

Знак Утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус прибора.

Комплектность

В комплект поставки входит:

1. Профилометр «СС16000»;

2. Запасные части и принадлежности;

3. Методика поверки.

Поверка

Поверка профилометра оптического «TALYSURF CCI 6000» производится в соответствии с документом по поверке «Профилометр оптический «TALYSURF CCI 6000». Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае 2010 г. и включенной в комплект поставки.

Основное поверочное оборудование: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296 - 78

Межповерочный интервал 1 год.

Нормативные документы

ГОСТ 8.296 - 78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025-1600 мкм»

Техническая документация фирмы-производителя.

Заключение

Тип профилометра оптического «TALYSURF CCI 6000» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.

Другие Профилометры

46541-11
ПЛВ-300 Профилометры лидарные ветровые с монитором оператора
ООО "НПП "Лазерные системы", г.С.-Петербург
Для измерений скорости и направления ветра на заданных высотах
48168-11
TALYSURF CCI Профилометры оптические
Фирма "Taylor Hobson Ltd.", Великобритания
Для определения параметров топографии поверхности различных материалов с коэффициентом отражения 0,3...100 % бесконтактным методом.
Для измерений высоты профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне.
48173-11
Alpha-Step 200 Профилометр
Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
Для измерения профиля поверхности в микро- и нанодиапазоне.
Default ALL-Pribors Device Photo
4937-75
А1 Профилографы-профилометры
Завод "Калибр", г.Москва
Разрешен серийный выпуск до 01.01.1986