Мера рельефная с наночастицами олова S1937
| Номер в ГРСИ РФ: | 44969-10 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Agar Corporation", США |
| 44969-10: Описание типа СИ | Скачать | 91.1 КБ |
Для измерения погрешности микроскопов электронных растровых (РЭМ) в диапазоне 1,2...100 нм при их поверке (калибровке).
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 44969-10 |
| Наименование | Мера рельефная с наночастицами олова |
| Модель | S1937 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Страна-производитель | Великобритания |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40521 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.347 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Agar Scientific, Ltd.", Великобритания
Великобритания
Unit 7, Ml 1 Business Link, Parsonage Lane, Stansted, Essex, CM24 8GF
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП ВНИИМС |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 44969-10: Описание типа СИ | Скачать | 91.1 КБ |
Описание типа
Назначение
Мера рельефная с наночастицами олова S1937, зав. №003 (далее - мера) предназначена для измерения погрешности микроскопов электронных растровых (РЭМ) в диапазоне 1,2 нм 100 нм при их поверке (калибровке).
Описание
Мера представляет собой проводящую подложку, на которую нанесены и закреплены сферические наночастицы олова различного диаметра, формирующие рельефную поверхность. Размер частиц находится в диапазоне от 4 нм до 20 мкм, и определяется технологией изготовления меры. Аттестуемыми параметрами являются диапазон диаметров частиц олова и допустимая погрешность сферичности частиц, выраженная в коэффициенте d - отношении большего диаметра частицы к меньшему.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
Диапазон размеров (диаметров) сферических частиц олова в образце, не менее, нм |
5-20 000 |
|
Предел допустимой относительной погрешности сферичности наночастиц олова (отношение двух перпендикулярных диаметров наночастиц d), % |
10 |
|
Габаритный размер меры (диаметр х высота), мм |
13x12 |
|
Размер рабочей области меры (диаметр), мм |
5,0 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входит:
|
• Мера SI937 |
1 шт. |
|
• Специальный футляр |
1 шт. |
|
• Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
Поверка
Поверка меры проводится в соответствии с документом «Мера рельефная с наночастицами олова S1937. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» » августа 2010 года.
Основным средством поверки является:
- мера периода линейная TDG01 (ТУ 3932-010-40349675-2009, ГР 41676-09);
- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой NTegra (ТУ 4254-001-586993872009, ГР 28664-10).
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Agar Scientific, Ltd», Великобритания.
Заключение
Тип меры рельефной с наночастицами олова S1937 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
Смотрите также
