Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240

Назначение

Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240 (далее -измеритель), предназначен для контроля морфологических параметров поверхности полупроводниковых структур.

Область применения - в производственной лаборатории ФГУП «ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова».

Описание

Принцип действия измерителя основан на методе контактной профилометрии поверхности полупроводниковых структур. Процесс измерений осуществляется при помощи пьезокерамического манипулятора двумерным или трехмерным сканированием в контактном режиме. Система обратной связи фиксирует в процессе сканирования на заданном уровне величину рабочего взаимодействия вариацией вертикальной координаты иглы, то есть сканирование осуществляется по способу постоянного взаимодействия иглы с поверхностью исследуемой структуры. Результатом работы является массив, коррелирующий с топографией исследуемой поверхности. В случае двумерного сканирования игла перемещается в направлении сканирования в заданных пределах, движение в перпендикулярном направлении определяется взаимодействием с исследуемой поверхностью. Данные трехмерного сканирования получаются после обработки данных двумерного сканирования, полученных с определенным шагом.

Измеритель представляет собой автоматизированный прибор, обеспечивающий измерение, обработку и регистрацию выходной информации. Основными элементами являются: устройство для установки и смены исследуемых образцов, сканирующий канал, фиксированный канал системы регистрации и обработки данных.

Конструктивно измеритель выполнен в стационарном напольном исполнении с отдельно устанавливаемым компьютером, предназначенным для приема, обработки и выдачи информации под управлением специализированного программного обеспечения.

Корпус измерителя служит для размещения агрегатов, стабилизации аналитических условий и для защиты пользователя от излучения.

Технические характеристики

Длина сканирования мм, не более

Поперечное разрешение...............................................Х=25 нм, Y=1 мкм

Вертикальный диапазон, мкм.......................................... ±3,25; ± 13; ± 131

Относительная погрешность измерения линейных размеров профиля структуры %, не более

Воспроизводимость...................................................15 А или 0,25 % (1сг)

Скорость сканирования, мкм/с....................................... 2,0 + 25

Частота сканирования, Гц...........................5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000

Напряжение питания, В

Габаритные размеры* мм, не более...................................1910x1145x1350

Масса* кг, не более

Условия эксплуатации:

температура, °C

относительная влажность, %, не более

* - без персонального компьютера.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят:

- измеритель;

- персональный компьютер с программным обеспечением «KLA-Tencor»;

- руководство по эксплуатации.

Поверка

Поверка проводится по методике поверки «Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240», разработанной и утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» в 2010 г.

Средства поверки:

Входящие в состав эталона ВЭТ 113-2-09:

- мера высоты ступеньки SHS-18QS;

- мера высоты ступеньки SHS-180QS.

Межповерочный интервал - 1 год.

Лист 3

Всего листов 3 НОРМАТИВНЫЕ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

- техническая документация фирмы «KLA-Тепсог», США.

Заключение

Тип измерителя параметров рельефа поверхности HRP-240 (серийный №1205157286) утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.