45580-10: Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах - Производители, поставщики и поверители

Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 45580-10
Производитель / заявитель: ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва
Скачать
45580-10: Описание типа СИ Скачать 284.4 КБ
Нет данных о поставщике
Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для измерения геометрических параметров методом атомно-силовой микроскопии и показателя преломления методом интерференционной микроскопии изолированных функционирующих клеток и клеточных структур. Область применения - контроль изделий бионанотехнологий и продукции бионаноиндустрии.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 45580-10
Наименование Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах
Технические условия на выпуск тех.документация ЗАО
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2010
Страна-производитель  Россия 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИОФИ
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Иванов Вячеслав Семенович
Телефон (8*095) 437-56-33
Факс 437-31-47
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 41193
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 03д3 от 29.07.10 п.167
Производитель / Заявитель

ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва

 Россия 

124482, Зеленоград, кор.100, тел. +7(499) 735-03-05 Факс +7(499) 735-64-10. (124460, Зеленоград, кор.167), E-mail: spm@ntmdt.ru

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП ВНИИОФИ
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

45580-10: Описание типа СИ Скачать 284.4 КБ

Описание типа

Назначение

Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах (далее - комплекс) предназначен для измерения геометрических параметров методом атомно-силовой микроскопии и показателя преломления методом интерференционной микроскопии изолированных функционирующих клеток и клеточных структур.

Область применения - контроль изделий бионанотехнологий и продукции бионаноиндустрии.

Описание

Комплекс состоит из двух установок: микроскопа сканирующего зондового Ntegra SPECTRA зав. № 001 и микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 зав. № 002. В основе установки Ntegra SPECTRA лежит измерительная головка атомно-силового микроскопа (АСМ). АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда (кантилевера) со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет измерять геометрические параметры исследуемого объ-

екта. Сканирование в различных диапазонах обеспечивается с помощью заменяемых пьезосканеров. Использование емкостных датчиков в процессе сканирования позволяет уменьшить влияние нелинейности пьезосканера.

Конструкция блока подвода и сканирования Ntegra SPECTRA обеспечивает ручной и автоматический подвод образца к зонду; установку АСМ головки на блок подвода без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены и установки сканера и держателя образца. Прибор позволяет проводить сканирование как зондом или образцом, так и комбинированно на воздухе, в газовой и жидкой средах.

Конструктивно Ntegra SPECTRA выполнена в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от АСМ контроллера поступают в измерительную головку. Управление АСМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством специальной PCI-платы или интерфейса USB 2.0. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.

Принцип действия микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 основан на получении интерферограмм исследуемого объекта при различных фазовых сдвигах, их расшифровки и вычислении по ним показателя преломления.

Конструктивно прибор выполнен в виде двух блоков автоматизированного интерференционного микроскопа и осветительного лазерного блока.

Для расшифровки интерферограмм в микроскопе МИА-1 использован метод дискретного фазового сдвига (метод фазовых шагов). Сдвиг вносится при помощи управляемого от компьютера пьезоэлемента, связанного с зеркалом опорного канала. Интерферограммы при различных положениях зеркала с помощью ПЗС-телекамеры поступают в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка.

Для управления вводом изображений, сдвигом пьезоэлемента и расшифровки интерферограмм используется специальное программное обеспечение «WinPhast». В результате работы программы производится восстановление двумерного распределения оптической разности хода. Для вычисления показателя преломления исследуемого вещества используется двухиммерсионный метод. Он основан на измерении оптической разности хода двух веществ: с известным показателем преломления и с искомым. Далее по полученным двумерным распределениям оптической разности хода определяются фазовые объемы, отношение которых дает показатель преломления.

Комплекс обеспечивает измерение геометрических параметров и показателя преломления исследуемого объекта.

Программное обеспечение входящих в комплекс установок выполнено в виде отдельно запускаемых модулей и обеспечивает защиту от влияния на метрологические характеристики, а также непреднамеренных и преднамеренных изменений.

Технические характеристики

Таблица 1

Наименование характеристики

Значение характеристики

1

2

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

от 0 до 90

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0 до 10

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, %

±1

' Пределы допускаемой относительной погрешности измерений ! линейных размеров по оси Z, %

±5

! Нелинейность сканирования в плоскости XY, %, не более

0,5

Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм, не более

100

Разрешение в плоскости XY, нм, не более

0,15

Разрешение по оси Z, нм, не более

0,1

Дрейф в плоскости XY, А/с, не более

2

, Дрейф по оси Z, А/с, не более

1,5

; Максимальное число точек сканирования по X и Y

4000x4000

; Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм

100 х 20

i Диапазон измерений показателя преломления

от 1,39 до 1,65

i Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения показателя преломления

±5 -10 5

Напряжение питания переменного тока, В

220±22

Потребляемая мощность, Вт, не более

- микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

- микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

240

250

Габаритные размеры, мм

- электронный блок Ntegra SPECTRA

- микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

- микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

445x160x500

240x345x280

340x370x380

Масса, кг, не более

- микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

- микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

60

24

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C

- атмосферное давление, кПа

- относительная влажность воздуха, %

20±5

101±4

65±20

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки соответствует таблице 2.

Таблица 2

Наименование

Кол-во, шт.

Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

1

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

1

Руководство по эксплуатации микроскопа сканирующего зондового Ntegra SPECTRA

1

Руководство по эксплуатации микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1

1

Методика поверки

1

Поверка

Поверка комплекса проводится в соответствии с документом «Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» в октябре 2010 г.

Основные средства поверки:

• мера периода и высоты линейная TGQ1 ТУ 3932-012-40349675-2009 (ГР № 41680-09). Номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более ±0,01 мкм. Высота профиля 0,020 мкм, пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более ±0,002 мкм;

• мера периода и высоты линейная TGZ3 ТУ 3932-013-40349675-2009 (ГР № 41678-09). Номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более ±0,01 мкм. Высота профиля 0,520 мкм, пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более ±0,020 мкм;

• набор жидких мер показателя преломления РЖЭ-1 ТУ 4437-00640001819-03 (ГР № 24513-03). Диапазон показателя преломления

1.385 - 1.659, предел допускаемой абсолютной погрешности измерения показателя преломления не более ±0,00003

Межповерочный интервал - один год.

Нормативные документы

1. ГОСТ Р 8.630-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».

2. ГОСТ Р 8.628-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»

3. Техническая документация ЗАО «Нанотехнология МДТ», г. Зеленоград

Заключение

Тип «Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах», утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
Для калибровки эталонных солнечных элементов в стандартных условиях. Область применения: метрологическое обеспечение разработки и производства элементов солнечной энергетики.
Default ALL-Pribors Device Photo
45582-10
АРН-1 Анализатор размера наночастиц
ФГУП "ВНИИОФИ", г.Москва
Для измерения размеров дисперсных частиц нанометрового и субмикронного размера в жидких средах. Применяется для анализа коллоидных систем. Область применения - научные исследования, в том числе разработка нанотехнологий, анализ проб биологического пр...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерения угла вращения плоскости поляризации монохроматического излучения при его прохождении через оптически-активные вещества и структуры на расстояниях, соответствующих областям ближнего (много меньше половины длины волны) и дальнего (больше...
Default ALL-Pribors Device Photo
45584-10
LTL-XL, RetroSign GR1, RetroSign GR3 Ретрорефлектометры
Фирма "DELTA Light & Optics", Дания
Для измерений коэффициента световозвращения дорожной разметки для условий темного времени суток при освещении фарами автомобиля и коэффициента яркости дорожной разметки для условий светлого времени суток при диффузном дневном или искусственном освеще...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерений активной и реактивной электрической энергии, времени и интервалов времени. Область применения - коммерческий учёт электрической энергии на ПС 110 кВ "Первомайская" ОАО "ФСК ЕЭС", в том числе для взаимных расчетов на оптовом рынке электр...