Установка для измерения спектров фотолюминесценции RPM Sigma

Назначение

Установка для измерения спектров фотолюминесценции RPM Sigma (далее - установка) предназначена для бесконтактного неразрушающего измерения длин волн линий спектров фотолюминесценции (ФЛ) и спектров отражения.

Описание

Принцип действия установки основан на воздействии оптического излучения на полупроводниковый материал, вызывающем вторичное излучение, спектр которого характеризует состав и качество материала. В установке образец облучается лазером, который может быть выбран оператором, или источником белого света. Сигнал затем проходит через систему фильтров, не прозрачных для длины волны лазера. Сигнал ФЛ фокусируется на входных щелях монохроматора. Для разложения сигнала ФЛ на длины волн внутри монохроматора используется три дифракционные решетки 150, 300 и 600 штрихов/мм. Система зеркал внутри монохроматора направляет сигнал ФЛ на дифракционную решетку, затем фокусирует по выбору на входной апертуре одного из двух фотодетекторов. Выбор фотодетектора осуществляется программно, а реализуется поворотом зеркала на выходе монохроматора. В качестве фотодетектора используются Si CCD камера (для длин волн в диапазоне от 350 до 1000 нм) и массив InGaAs фотодиодов (для длин волн в диапазоне от 900 до 1700 нм).

Установка состоит из следующих составных частей:

- лазер с длиной волны излучения 532 нм (в установке могут быть также использованы лазеры с другими значениями длин волн);

- источник белого света;

- платформа для размещения исследуемого образца с вакуумной системой фиксации;

- монохроматор;

- система контроля и обработки данных.

Установка поставляется с установленным внешним программным обеспечением Accent RPM Sigma. Программное обеспечение используется для управления установкой и измерения параметров спектров фотолюминесценции.

Корпус установки изготовлен из нержавеющей стали, верхняя передняя панель и шторка для загрузки образца - из пластмассы. Охлаждение установки - принудительное воздушное. Внешний вид установки показан на рис. 1.

Программное обеспечение

Защита программного обеспечения от преднамеренных или непреднамеренных изменений

соответствует уровню «А» по МИ 3290-2010.

Рис. 1. Внешний вид установки для измерения спектров фотолюминесценции RPM Sigma

Технические характеристики

1. Рабочий диапазон длин волн, нм:

с Si CCD фотодетектором

с InGaAs-фотодетектором

от 350 до 1000;

от 900 до 1700.

2. Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений длин волн, нм:

с дифракционной решеткой 150 штрихов/мм с дифракционной решеткой 300 штрихов/мм с дифракционной решеткой 600 штрихов/мм

3. Напряжение питания, В

4. Частота питающего напряжения, Гц

5. Потребляемая мощность, Вт, не более

6.

7.

8.

Габаритные размеры установки, не более, мм:

Масса установки, не более, кг

Рабочие условия эксплуатации: температуры окружающего воздуха, 0С атмосферное давление воздуха, мм рт.ст. относительная влажность, %

±1,2;

±0,6;

±0,3.

220,0 ± 4,4.

50,0± 0,5.

600

760х1060х1360.

190.

9. Средний срок службы, не менее, лет

от 18 до 28;

от 720 до 780;

от 45 до 80.

6.

При нормировании метрологических характеристик учтено влияние программного обеспечения.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на панель основного блока методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Установка RPM Sigma                                 1 шт.

Питающий кабель                                     1 шт.

Платформа для измерения образцов диаметром 50,8 мм     1 шт.

Платформа для измерения образцов диаметром 76,2 мм     1 шт.

Платформа универсальная для измерения образцов

диаметром до 127,0 мм                                  1 шт.

Руководство по эксплуатации на русском языке            1 шт.

Методика поверки                                      1 шт.

Поверка

осуществляется по документу МП 2511/0014-2010 «Установка для измерения спектров фотолюминесценции RPM Sigma. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в сентябре 2010 года.

Основные средства поверки:

- спектральная лампа ( МИ 2060-90); длины волн линий излучения в диапазоне от 350 до 1700 нм; относительная погрешность воспроизведения длин волн излучения не более 5.10-5.

Сведения о методах измерений

Методика измерений приведена в документе:

«Установка для измерения спектров фотолюминесценции RPM Sigma. Руководство по эксплуатации», 2003 г.

Нормативные документы

1. МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1-10’6 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм».

2. Техническая документация фирмы «Accent Optical Technologies, Inc.».

Рекомендации к применению

Выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.