Меры длины рельефные МПУ278нм
| Номер в ГРСИ РФ: | 47524-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИМС", г.Москва |
Для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным просвечивающим и другим средствам измерений малой длины.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 47524-11 | ||||||
| Наименование | Меры длины рельефные | ||||||
| Модель | МПУ278нм | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 5d113108-7155-ec31-96b0-1ca77bf1bb83 | ||||||
| Испытания |
|
||||||
| Год регистрации | 2011 | ||||||
| Общие данные | |
|---|---|
| Технические условия на выпуск | тех.документация ФГУП |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 43595 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 4556 от 15.08.11 п.50 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИМС", РОССИЯ, г.Москва
Россия
119361, Озерная ул., д.46. Тел. 437-56-66
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 47524-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Актуальность информации | 04.01.2026 |
Поверители
Скачать
|
47524-11: Описание типа
2011-47524-11.pdf
|
Скачать | 126.4 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера длины рельефная МПУ278нм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным просвечивающим и другим средствам измерений малой длины.
Описание
Мера представляет собой совокупность элементов рельефа - периодических выступов -на углеродной реплике, с нормированным шагом в латеральной плоскости по оси X (рисунок 1). Шаг является физической величиной, хранимой данной мерой и передаваемой от нее к микроскопам электронным просвечивающим.
Рисунок 1 - Фото меры длины рельефной МПУ278нм для просвечивающей электронной микроскопии в футляре (1а), отдельно (1б)
Подложка (медная сетка) имеет форму круга диаметра 3 мм и толщиной 0,3 мм. Реплика выполнена из углерода, выступы оттенены платиной методом напыления, диаметр рабочей области - 1 мм. Кадр рабочей поверхности меры наблюдаемый в атомно-силовой микроскоп, приведен на рис. 2.
Рисунок 2 - Мера длины рельефная МПУ278нм, кадр 5 х 1 мкм
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью поверяемого (калибруемого) средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений шагу
лист № 1 всего листов 3 периодической структуры приписывается значение, приведенное в паспорте на использованную меру.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
Шаг периодической структуры, мкм |
0,278 |
|
Предел допускаемой основной погрешности шага периодической структуры, мкм |
± 0,002 |
|
Масса меры должна быть не более, г |
0,1 |
|
Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм |
3,0 х 0,3 |
|
Размер рабочей области меры (Диаметр), мм |
1,0 |
|
Срок службы, лет |
7 |
Рабочие условия: температура держателя образца 20±3 °С
Диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа 10-4 ^ 270 Па
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
|
Мера длины рельефная МПУ278нм |
1 шт. |
|
Футляр |
1 шт. |
|
Паспорт |
1 экз. |
|
Методика поверки |
1 экз. |
Поверка осуществляется по документу «Мера длины рельефная МПУ 278нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения не более ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные документы
1. Мера длины рельефная МПУ278нм. Паспорт.
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
Смотрите также
