Мера длины рельефная МДР-3 мкм
| Номер в ГРСИ РФ: | 47747-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИМС", г.Москва |
Для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 47747-11 | ||||||
| Наименование | Мера длины рельефная | ||||||
| Модель | МДР-3 мкм | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 2c404e9d-ccf9-2e13-4eff-aa2b78347f08 | ||||||
| Испытания |
|
||||||
| Год регистрации | 2011 | ||||||
| Общие данные | |
|---|---|
| Технические условия на выпуск | - |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 43839 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 4992 от 16.09.11 п.68 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИМС", РОССИЯ, г.Москва
Россия
119361, Озерная ул., д.46. Тел. 437-56-66
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 47747-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Актуальность информации | 28.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
47747-11: Описание типа
2011-47747-11.pdf
|
Скачать | 714.7 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера длины рельефная МДР-3 мкм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Описание
Мера представляет собой квадратную пластину, на рабочей поверхности которой сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой выступающих элементов. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.
Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-3 мкм (показана стрелкой).
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
Шаг периодической структуры (по двум координатным осям), мкм |
3,00 |
|
Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм |
± 0,02 |
|
Масса не более, г |
5,0 |
|
Г абаритные размеры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
|
Размеры рабочей области, мм |
3,0 х 3,0 |
|
Срок службы, лет |
5 |
Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С
Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-3 мкм при разных увеличениях растрового электронного микроскопа.
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
Мера длины рельефная МДР-3 мкм 1 шт.
Футляр 1 шт.
Паспорт 1 экз.
Методика поверки 1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 47747-11 «Мера длины рельефная МДР-3мкм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
лист № 3
всего листов 3
Нормативные документы
1. Мера длины рельефная МДР-3 мкм. Паспорт.
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
Смотрите также
