Мера длины рельефная МДР-278 нм
| Номер в ГРСИ РФ: | 47748-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ФГУП "ВНИИМС", г.Москва |
Для хранения единицы длины в нанометровом диапазоне для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 47748-11 |
| Наименование | Мера длины рельефная |
| Модель | МДР-278 нм |
| Технические условия на выпуск | - |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 43840 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 4992 от 16.09.11 п.69 |
Производитель / Заявитель
ФГУП "ВНИИМС", г.Москва
Россия
119361, Озерная ул., д.46. Тел. 437-56-66
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 47748-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 47748-11: Описание типа СИ | Скачать | 1.1 MБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера длины рельефная МДР-278 нм предназначены для хранения единицы длины в нанометровом диапазоне для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Описание
Мера представляет собой сильно уплощенный диск, на рабочей поверхности которого сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Геометрически микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с синусоидальной геометрической формой поперечного сечения. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.
Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-278 нм (показана стрелкой).
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью поверяемого (калибруемого) средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений шагу периодической структуры приписывается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.
Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-278 нм при разных
увеличениях растрового электронного микроскопа.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
Шаг периодической структуры, мкм |
0,278 |
|
Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм |
± 0,002 |
|
Масса не более, г |
10 |
|
Габаритный размер (Диаметр х Толщина), мм |
12,5 х 2,5 |
|
Размер рабочей области (Диаметр), мм |
9,0 |
|
Срок службы, лет |
5 |
Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
Мера длины рельефная МДР-278 нм 1 шт.
Футляр 1 шт.
Паспорт 1 экз.
Методика поверки 1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 47748-11 «Мера длины рельефная МДР-278нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные документы
1. Мера длины рельефная МДР-278 нм. Паспорт.
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
Смотрите также
