Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1
| Номер в ГРСИ РФ: | 48115-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Учреждение РАН Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН), г.Новосибирск |
Для для хранения и передачи единицы длины в диапазоне измерений (0,31...31) нм и поверки (калибровки) атомно-силовых и цифровых интерференционных микроскопов и других средств измерений малой длины.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48115-11 |
| Наименование | Комплекты мер высоты |
| Модель | СТЕПП-ИФП-1 |
| Технические условия на выпуск | ИФП СО РАН.01.011 ТУ |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ СНИИМ |
| Адрес центра | 630004, г.Новосибирск, пр.Димитрова, 4 |
| Руководитель центра | Черепанов Виктор Яковлевич |
| Телефон | (8*383*2) 10-08-14 |
| Факс | 10-13-60 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 31.10.2016 |
| Номер сертификата | 44289 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | С |
| Дата протокола | Приказ 6290 от 31.10.11 п.25 |
Производитель / Заявитель
Учреждение РАН Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН), г.Новосибирск
Россия
630090, пр.Академика Лаврентьева, д.13, тел./факс (383) 333-39-50/ 333-27-71, www.isp.nsc.ru, E-mail: IFP@isp.nsc.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ИФП3293МП |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 48115-11: Описание типа СИ | Скачать | 786 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1 (далее - Комплекты) относятся к классу мер нанометрового диапазона и предназначены для хранения и передачи единицы длины в диапазоне измерений (0,31 - 31) нм и поверки (калибровки) атомно-силовых и цифровых интерференционных микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Комплект представляет собой пластину кремния с шестью разными по высоте в диапазоне (0,31 - 31) нм выделенными участками (далее - мерами). Меры состоят из определенного числа ориентированных в направлении кристаллографической плоскости (111) моноатомных ступеней кремния одинаковой высоты. Единица длины, воспроизводимая мерой, измеряется между поверхностями свободными от моноатомных ступеней размерами не менее 1x5 мкм2. В зависимости от особенностей микроскопов Комплект может применяться либо наклеенным на стеклянный пьедестал, либо без него.
fecmo нанесения Знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид комплектов мер высоты СТЕПП-ИФП-1
Технические характеристики
Таблица 1
|
Количество мер в Комплекте, шт |
6 |
|
Номинальные значения высот мер Комплекта в интервале, нм |
0,31 ± 0,1 1 ± 0,31 3 ± 0,7 5 ± 1 20 ± 1 30 ± 3 |
|
Абсолютная погрешность измерений высоты мер при доверительной вероятности 0,95 , нм, не более, в диапазоне: от 0,31 до 20 нм свыше 20 до 31 нм |
±(0,02+29L), где L в мкм ±0,6 |
|
Параллельность свободных от моноатомных ступеней поверхностей размерами не менее 1x5 мкм2, ограничивающих меру, нм/мкм, не более |
0,02 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: | |
|
- Комплекта без пьедестала |
2x10x0,4 |
|
- пьедестала |
10x10x1,5 |
|
- футляра |
75х60х12 |
|
Масса Комплекта без пьедестала, кг, не более |
0,00001 |
|
Масса Комплекта с пьедесталом, кг, не более |
0,001 |
|
Комплекты эксплуатируются в следующих климатических условиях по гр. Д3 ГОСТ Р 52931 со следующими уточнениями: | |
|
- температура окружающего воздуха, °С |
(20 13) |
|
- верхний предел относительной влажности при 20 °С без образования конденсата, % |
80 |
|
- атмосферное давление, кПа |
(100155) |
|
- класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1, не более |
3 ИСО |
|
При эксплуатации Комплектов в вакууме: | |
|
- температура держателя образца, °С |
201 |
|
- значение давления остаточных газов в камере микроскопа, Па |
От 1-10-8 до 270 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
7 |
|
Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
4000 |
Знак утверждения типа
наносится на этикетку на футляре, на титульный лист паспорта и руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 2
|
Обозначение |
Наименование |
Кол-во |
Примечание |
|
ИФП3293-01 |
Стеклянный пьедестал для крепления Комплекта |
1 | |
|
- |
Футляр |
1 | |
|
ИФП3293 ПС |
Паспорт |
1 | |
|
ИФП3293 РЭ |
Руководство по эксплуатации |
1 | |
|
ИФП3293МП |
Методика поверки |
1 |
Поверка
осуществляется по документу ИФП3293МП «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «СНИИМ» в сентябре 2011 г.
Эталоны, применяемые при поверке: мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГОСРЕЕСТР СИ 41678-09), погрешность измерений ± 0,0005 мкм при доверительной вероятности 0,95; Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra Vita (ГОСРЕЕСТР СИ 28664-10).
Сведения о методах измерений
ИФП3120РЭ Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Руководство по эксплуатации
Нормативные документы
ИФП СО РАН.01.011ТУ «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Технические условия»;
«Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки».
Рекомендации к применению
При выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Смотрите также
