Профилометр Alpha-Step 200
| Номер в ГРСИ РФ: | 48173-11 |
|---|---|
| Категория: | Профилометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "KLA-Tencor Corporation", США |
Для измерения профиля поверхности в микро- и нанодиапазоне.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48173-11 |
| Наименование | Профилометр |
| Модель | Alpha-Step 200 |
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44404 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6295 от 08.11.11 п.09 |
Производитель / Заявитель
Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
США
160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 тел. 408-475-3000; факс 408-875-3030 www.kla-tencor.com, One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. тел. +1-408-875-3000; Corporate факс +1-408-875-4144, E-mail: info@kla-tencor.com
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48173-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Найдено поверителей | 1 |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 48173-11: Описание типа СИ | Скачать | 866.5 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Профилометр Alpha-Step 200 (далее профилометр) предназначен для измерения профиля поверхности в микро- и нанодиапазоне.
Описание
Принцип работы профилометра заключается в последовательном ощупывании точек поверхности иглой, перпендикулярной к контролируемой поверхности, преобразовании колебаний иглы в сигнал, количественно характеризующий поверхностные неровности. Зависимость сигнала от координаты записывается в память прибора и может выводиться на экран, принтер и внешний компьютер.
Рисунок 1 - Внешний вид профилометра Alpha-Step 200
Программное обеспечение
Профилометр Alpha-Step 200 имеет в своем составе программное обеспечение TENCOR INSTRUMENTS ALPHA-STEP V3.6-2, встроенное в аппаратное устройство средства измерений, разработанное для конкретной измерительной задачи, осуществляющей измерительные функции, функции расчета параметров и функции индикации.
ПО СИ имеет следующие идентификационные данные:
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
|
TENCOR INSTRUMENTS |
ALPHA-STEP |
V3.6-2 |
- |
- |
Операционная система, имеющая оболочку доступную пользователю, отсутствует. Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты программного обеспечения оценивается как «А» согласно МИ 32862010.
Программное обеспечение приборов может быть установлено или переустановлено только на заводе-изготовителе с использованием специальных программно-технических устройств.
Технические характеристики
|
Наименование |
Значение | |
|
Измеряемый параметр шероховатости |
Rz | |
|
Диапазон измеряемых значений в вертикальном направлении |
В режиме «кА» |
от - 160 кА до 160 кА |
|
В режиме «мкм» |
от - 160 мкм до 160 мкм | |
|
Диапазон измеряемых значений в горизонтальном направлении |
от 0 до 10 мм | |
|
Вертикальное разрешение |
В режиме «кА» |
5 А |
|
В режиме «мкм» |
5 нм | |
|
Г оризонтальное разрешение |
400 А | |
|
Радиус закругления иглы |
от 1,5 до 25 мкм | |
|
Измерительное усилие |
от 10 до 250 мкН | |
|
Диапазон перемещения рабочего столика |
Ось X |
от 0 до 150 мм |
|
Ось Y |
от 0 до 81 мм | |
|
Ось Z |
от 0 до 21 мм | |
|
Предел допускаемой основной погрешности по параметру Rz, % |
5 | |
|
Г абаритные размеры |
Ширина |
330 мм |
|
Высота |
427 мм | |
|
Глубина |
684 мм | |
|
Масса |
26,5 кг | |
|
Условия эксплуатации |
Напряжение питания |
180-260 В |
|
Частота, Гц |
50/60 Гц | |
|
Диапазон рабочих температур, |
20 ± 3 °С | |
|
Относительная влажность |
65 ± 15 % | |
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта профилометра и на корпус профилометра - методом наклейки.
Комплектность
Профилометр Tencor Alpha-Step 200 1 шт.
Защитный кожух 1 шт.
Набор инструментов для технического обслуживания 1 шт.
Набор игл различного радиуса 1 шт.
Руководство по эксплуатации 1 шт.
Методика поверки 1 шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48173-11 «Профилометр AlphaStep 200. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011.
Основные средства поверки: Эталонные меры шероховатости 2-го разряда по ГОСТ 8.296-78
Сведения о методах измерений
Метод измерений изложен в документе «Профилометр Alpha-Step 200 Руководство по эксплуатации»
Нормативные документы
- ГОСТ 8.296 - 78 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025-1600 мкм»
- ГОСТ 19300-86 «Средства измерений шероховатости поверхности профильным методом. Профилографы - профилометры. Типы и основные параметры»
- Техническая документация фирмы KLA-Tencor Corporation, США
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
Другие Профилометры
