Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01
| Номер в ГРСИ РФ: | 48277-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Техносистема Н", г.Москва |
Для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 48277-11 |
| Наименование | Мера динамическая горизонтального перемещения |
| Модель | ДКГ-01 |
| Технические условия на выпуск | 2270-93 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44494 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6335 от 25.11.11 п.09 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Техносистема Н", г.Москва
Россия
101000, ул.Покровка, д.14/2, стр.1, тел./факс. (495) 673-26-22, E-mail: nanofactory@mail.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48277-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Найдено поверителей | 1 |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 48277-11: Описание типа СИ | Скачать | 489.4 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01 (далее, мера) предназначена для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.
Описание
В основе принципа действия меры лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью, в горизонтальном направлении. Конструктивно мера выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент, на лицевой поверхности которого установлена рельефная решетка, перемещающаяся в горизонтальном направлении. Для устранения влияния внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно -модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, подаваемым с электронной системы управления (ЭСУ), что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения.
Рисунок 1 - Общий вид меры динамической горизонтального перемещения ДКГ-01
Программное обеспечение
Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01 оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V 1.8, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с электронной системы управления (ЭСУ). Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
|
DAC Generator |
DAC Generator.exe |
V 1.8 |
8286A214266346C6F E9E263C45E534A3 |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения меры динамической горизонтального перемещения ДКГ-01 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010
Технические характеристики
|
Наименование параметра |
Значение параметра |
|
Диапазон воспроизведения перемещений при изменении управляющего напряжения в пределах -2000:-2000В |
не менее 100 нм |
|
Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности воспроизведения перемещений |
± 1,0 нм |
|
Погрешность измерения амплитуды генерируемых импульсов напряжения |
не более 0,1 % |
|
Сопротивление изоляции |
не менее 5 МОм |
|
Чувствительность |
не менее 50х10-3 нм/В |
|
Разрешающая способность |
не хуже 0,2 нм |
|
Уровень собственных шумов |
не более 0,2 нм |
Диапазон рабочих температур: 20 ± 3 °С.
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
|
Наименование изделия |
Кол-во, шт |
|
1. Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01; |
1 |
|
2. Электронная система управления ЭСУ |
1 |
|
3. Кабели соединительные |
1 |
|
4. Программное обеспечение DAC Generator |
1 |
|
5. Руководство по эксплуатации |
1 |
|
6. Методика поверки |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 48277-11 «Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01. Методика поверки», разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИ-ИМС» в сентябре 2011 года.
Основное поверочное оборудование: прибор Talystep («TAYLOR HOBSON Ltd», Великобритания), основные характеристики: вертикальное: увеличение - 106, предел случайной погрешности - 0,3%.
Сведения о методах измерений
«Динамические меры нанометрового диапазона. Руководство по эксплуатации». ТС.500.000.000 РЭ.
Нормативные документы
2270-93 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений линейных размеров в диапазоне 0,1.. .10,0 мкм
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
Смотрите также
