Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01
| Номер в ГРСИ РФ: | 48278-11 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Техносистема Н", г.Москва |
Для воспроизведения перемещений при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, оптических интерферометров, контактных систем измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 48278-11 | ||||||
| Наименование | Мера динамическая вертикального перемещения | ||||||
| Модель | ДКВ-01 | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 20128ce6-bbe7-a53a-49e0-366eaa5931a5 | ||||||
| Испытания |
|
||||||
| Год регистрации | 2011 | ||||||
| Общие данные | |
|---|---|
| Технические условия на выпуск | ГОСТ 8.296-78 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес центра | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель центра | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44495 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6335 от 25.11.11 п.10 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Техносистема Н", РОССИЯ, г.Москва
Россия
101000, ул.Покровка, д.14/2, стр.1, тел./факс. (495) 673-26-22, E-mail: nanofactory@mail.ru
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48278-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
2 года
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 14.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
48278-11: Описание типа
2011-48278-11.pdf
|
Скачать | 185.9 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 (далее - мера) предназначена для воспроизведения перемещений при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, оптических интерферометров, контактных систем измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне.
Описание
В основе принципа действия меры лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью. Конструктивно мера выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент с зеркальной отсчетной поверхностью. Для устранения влияния внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно - модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, подаваемым с электронной системы управления (ЭСУ), что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения.
Рисунок 1 - Общий вид меры динамической вертикального перемещения ДКВ-01
Программное обеспечение
Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V 1.8, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с электронной системы управления (ЭСУ).
Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
|
DAC Generator |
DAC Generator.exe |
V 1.8 |
8286A214266346C6F E9E263C45E534A3 |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения меры динамической вертикального перемещения ДКВ-01 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
|
Наименование характеристики прибора |
Значение |
|
Сопротивление электрической изоляции |
не менее 5 МОм |
|
Диапазон перемещений при изменении управляющего напряжения в пределах -2000 ^ 2000 В |
не менее 100 нм |
|
Чувствительность |
(25 - 40) х 10-3 нм / В |
|
Уровень собственных шумов |
не более 0,2 нм |
|
Разрешающая способность |
не хуже 0,2 нм |
|
Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности воспроизведения перемещений |
±1 нм |
|
Погрешность измерения амплитуды генерируемых импульсов напряжения |
<0,1 % |
Диапазон рабочих температур: 20 ± 3 °С.
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
|
Наименование изделия |
Кол-во, шт |
|
1. Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01 |
1 |
|
2. Электронная система управления (ЭСУ) |
1 |
|
3. Кабели соединительные |
1 |
|
4. Программное обеспечение DAC Generator |
1 |
|
5. Руководство по эксплуатации |
1 |
|
6. Методика поверки |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 48278-11 «Мера динамическая вертикального перемещения ДКВ-01. Методика поверки», разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 года.
Основное поверочное оборудование: прибор Talystep («TAYLOR HOBSON Ltd», Великобритания).
Сведения о методах измерений
«Динамические меры нанометрового диапазона. Руководство по эксплуатации».
ТС.500.000.000 РЭ.
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
Смотрите также
