Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700
| Номер в ГРСИ РФ: | 48390-11 |
|---|---|
| Категория: | Спектрометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Oxford Instruments Analytical", Великобритания |
Для измерений длины волны и относительной интенсивности рентгеновского излучения в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 48390-11 | ||||||
| Наименование | Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией | ||||||
| Модель | INCA WAVE 700 | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | c3c0736e-3cc4-90cd-6385-9b2b26ab3777 | ||||||
| Испытания |
|
||||||
| Год регистрации | 2011 | ||||||
| Общие данные | |
|---|---|
| Технические условия на выпуск | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Страна-производитель | Великобритания |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44657 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6354 от 06.12.11 п.10 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Oxford Instruments Analytical Limited", СОЕДИНЕННОЕ КОРОЛЕВСТВО
Великобритания
Halifax Road, High Wycombe Bucks, HP 12 SE, United Kingdom. Тел. 44 (0) 1494 442255. Факс: 44 (0) 1494 461033, E-mail: Industrial@oxinst.com
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 48390-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Актуальность информации | 14.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
48390-11: Описание типа
2011-48390-11.pdf
|
Скачать | 129.8 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700 (далее - прибор) предназначен для измерений длины волны и относительной интенсивности рентгеновского излучения в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых микроанализаторов.
Описание
Принцип действия прибора основан на явлении дифракции рентгеновского излучения на кристаллах-анализаторах. Конструкция прибора обеспечивает расположение на круге Роуланда области возбуждения рентгеновского излучения электронным зондом с энергией электронов, достаточной для генерации характеристического рентгеновского излучения микрообъема образца, кристалла-анализатора и детектора рентгеновского излучения. Кинематический механизм прибора позволяет синхронно перемещать по кругу Роуланда кристалл - анализатор на угол 0, а детектор - на угол 20, чем обеспечивается непрерывное изменение угла скольжения исследуемого излучения относительно кристалла-анализатора при условии равенства углов скольжения падающего и дифрагированного пучка. Данная схема регистрировать спектр рентгеновского излучения.
Прибор состоит из механического блока спектрометра, механического порта-интерфейса для установки на растровый электронный микроскоп или электроннозондовый микроанализатор, стойки управления спектрометром и управляющей ПЭВМ.
Рисунок1. Общий вид спектрометра рентгеновского с волновой дисперсией INCA WAVE 700
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия |
INCA_WAVE |
1.2 |
C677C99F65772EOOE B2C7BF90D28D7967 64A8B7CD3F87FD2E 773DO1AE9EE9E98 |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (220), нм |
от 0,08087 до 0,26306 |
|
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (200), нм |
от 0,11436 до 0,37202 |
|
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла петаэритринола PET, нм |
от 0,24827 до 0,80765 |
|
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-монокристалла оксифталата таллия TAP, нм |
от 0,7313 до 2,379 |
|
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора-синтетического многослойного материала LSM-060, нм |
от 1,7 до 5,6 |
|
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве кристалла-анализатора- синтетического многослойного материала LSM-200, нм |
от 5,8 до 19 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (220), нм |
± 0,00014 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), нм |
± 0,00005 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии TiKa монокристалле пентаэритринола (PET), нм |
± 0,00043 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии AlKa на монокристалле оксифталата таллия (TAP), нм |
± 0,0013 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-060, нм |
± 0,003 |
|
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характеристического рентгеновского излучения для линии BKa на синтетическом многослойном материале LSM-200, нм |
± 0,01 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (220), не менее |
400 |
|
Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития LiF (200), не менее |
315 |
|
Отношение пик/фон для линии TiKa монокристалле пентаэритринола PET, не менее |
500 |
|
Отношение пик/фон для линии OKa на монокристалле оксифталата таллия TAP, не менее |
350 |
|
Отношение пик/фон для линии CKa на синтетическом многослойном материале LSM-060, не менее |
70 |
|
Отношение пик/фон для линии BKa на синтетическом многослойном материале LSM-200, не менее |
30 |
|
Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для отпаянного пропорционального счетчика (SPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), % |
от 16 до 23 |
|
Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), % |
от 16 до 23 |
|
Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра этого распределения для проточного пропорционального счетчика (FPC), линия CKa, кристалл-анализатор LSM-060, % |
от 85 до 110 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - атмосферное давление, кПа - относительная влажность воздуха % - напряжение сети питания, В - частота сети питания, Гц |
20 ± 3 101 ± 1,4 70 220 ± 10 50 ± 1 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект прибора входят: спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 48390-11 «Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700 фирмы «Oxford Instruments Analytical Limited», Великобритания. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011г.
Средства поверки:
- комплект стандартных образцов для микроанализа SPI Standards for Microanalysis 44 Metals 02751-AB фирмы «SPI Supplies/Structure Probe, Inc.», США;
- комплект стандартных образцов для микроанализа 15 Rare Earth Phosphate Standard Mount
02759-AB фирмы «SPI Supplies / Structure Probe, Inc.», США.
Сведения о методах измерений
Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора», раздел 4.
Нормативные документы
Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора».
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Другие Спектрометры
