Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 49101-12
Производитель / заявитель: ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва
Поставщик:
Нет данных
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1 (далее ╞ мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,2·10-6 до 10-4 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.

Скачать

49101-12: Описание типа СИ Скачать 125.7 КБ

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 49101-12
Наименование Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов
Модель ПМН-1
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2012
Методика поверки / информация о поверке МП 49101-12
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Страна-производитель  Россия 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ"
Адрес центра 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1
Руководитель центра Тодуа Павел Андреевич
Телефон (8*095) 935-97-77
Факс 132-60-13
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 45554
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола Приказ 111 от 24.02.12 п.02
Производитель / Заявитель

ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва

 Россия 

Назначение

Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от

0,2 10-6 до 10-4 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.

Описание

Мера ПМН-1 представляет собой совокупность пяти одинаковых групп периодических массивов нанообъектов на поверхности кремниевой монокристаллической пластины диаметром 50 мм. Одна группа расположена в центре пластины, остальные четыре группы расположены симметрично относительно первой в вершинах квадрата со стороной 800 мкм. Размеры каждой группы: 0,1 мм x 0,1 мм. Группы соединяются между собой дорожками шириной 5 мкм и глубиной 0,5 мкм. Внутри каждой группы сформирована рельефная шаговая структура из выступов с размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, которые образуют двумерный периодический массив нанообъектов, каждый пятый выступ в строке отсутствует, а в каждой следую -щей строке отсутствующий выступ смещен на один шаг (период).

Схематическое изображение меры ПМН-1 представлено на рисунке 1.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.

Таблица.

Наименование характеристики

Значение

Номинальное значение среднего шага Tx по оси X периодического массива нанообъектов, нм

200,1

Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y периодического массива нанообъектов, нм

199,7

Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм

±1,0

Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) периодического массива нанообъектов, нм

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy) , нм

±0,5

Номинальные размеры нанообъектов, нм

100х100х100

Размеры периодического массива нанообъектов, мкм

100х100

Рабочие условия эксплуатации:

-    температура держателя образца, °С

-    диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

20±3 10-4 - 270

Масса без оправы, кг

0,0023

Г абаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм

50х0,5

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1, футляр, паспорт.

Поверка

осуществляется по документу МП 49101-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.

Средства поверки:

-    мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;

-    микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют.

Нормативные документы, устанавливающие требования к мере рельефной нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1

МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Смотрите также

49100-12
AnCom AT-9 Автоответчики
ООО "Аналитик ТелекомСистемы", г.Москва
Автоответчики AnCom AT-9 предназначены для формирования измерительных сигналов при контроле телефонных сетей совместно с анализаторами систем связи AnCom TDA-9 или совместимыми с ними устройствами.
49102-12
ПМН-4 Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов
ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва
Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-4 (далее ╞ мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,5·10-6 до 0,005 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов ра...
Default ALL-Pribors Device Photo
49103-12
ПМН-3 Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов
ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва
Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3 (далее ╞ мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,2·10-6 до 0,002 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов ра...
49104-12
DKS-"PC Electrometer" Дозиметры двухканальные
Фирма "Sun Nuclear Corporation", США
Дозиметры двухканальные DKS - ┌PC Electrometer√ (далее ╞ дозиметры) предназначены для измерений поглощенной дозы в воде и мощности поглощенной дозы в воде.