Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1
| Номер в ГРСИ РФ: | 49101-12 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва |
| Поставщик: |
Нет данных
Являетесь поставщиком? Разместите свои контакты в этом блоке! Подробнее в разделе Реклама
|
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1 (далее ╞ мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,2·10-6 до 10-4 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Скачать
| 49101-12: Описание типа СИ | Скачать | 125.7 КБ |
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 49101-12 |
| Наименование | Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов |
| Модель | ПМН-1 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2012 |
| Методика поверки / информация о поверке | МП 49101-12 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 45554 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 111 от 24.02.12 п.02 |
Производитель / Заявитель
ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва
Россия
Назначение
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от
0,2 10-6 до 10-4 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Описание
Мера ПМН-1 представляет собой совокупность пяти одинаковых групп периодических массивов нанообъектов на поверхности кремниевой монокристаллической пластины диаметром 50 мм. Одна группа расположена в центре пластины, остальные четыре группы расположены симметрично относительно первой в вершинах квадрата со стороной 800 мкм. Размеры каждой группы: 0,1 мм x 0,1 мм. Группы соединяются между собой дорожками шириной 5 мкм и глубиной 0,5 мкм. Внутри каждой группы сформирована рельефная шаговая структура из выступов с размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, которые образуют двумерный периодический массив нанообъектов, каждый пятый выступ в строке отсутствует, а в каждой следую -щей строке отсутствующий выступ смещен на один шаг (период).
Схематическое изображение меры ПМН-1 представлено на рисунке 1.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Номинальное значение среднего шага Tx по оси X периодического массива нанообъектов, нм |
200,1 |
|
Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y периодического массива нанообъектов, нм |
199,7 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм |
±1,0 |
|
Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) периодического массива нанообъектов, нм |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy) , нм |
±0,5 |
|
Номинальные размеры нанообъектов, нм |
100х100х100 |
|
Размеры периодического массива нанообъектов, мкм |
100х100 |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура держателя образца, °С - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па |
20±3 10-4 - 270 |
|
Масса без оправы, кг |
0,0023 |
|
Г абаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм |
50х0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1, футляр, паспорт.
Поверка
осуществляется по документу МП 49101-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.
Средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;
- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы, устанавливающие требования к мере рельефной нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Смотрите также
