Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-4
| Номер в ГРСИ РФ: | 49102-12 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва |
| 49102-12: Описание типа СИ | Скачать | 253.1 КБ |
Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-4 (далее ╞ мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,5·10-6 до 0,005 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 49102-12 |
| Наименование | Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов |
| Модель | ПМН-4 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 45555 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 111 от 24.02.12 п.03 |
Производитель / Заявитель
ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва
Россия
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 49102-12 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 49102-12: Описание типа СИ | Скачать | 253.1 КБ |
Описание типа
Назначение
Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-4 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,5-10—6 до 0,005 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Описание
Мера ПМН-4 выполнена на пластине монокристаллического кремния диаметром 50 мм, в центре которой размещены 3 одинаковых модуля, каждый из которых состоит из двух упорядоченных массивов нанообъектов: одномерного и двухмерного. Модули меры разнесены друг от друга на расстояние 400 мкм.
Длина одномерного упорядоченного массива составляет 5 мм, нанообъекты массива выполнены внутри барьерной структуры, расстояние между центрами нанообъектов равно 50 мкм, размер каждого нанообъекта (250 х 250 х 250) нм. Барьерная структура представляет собой совокупность прилегающих друг к другу квадратов, диагональ которых проходит через цепочку нанообъектов, диагональ каждого квадрата - 5 мкм, нанообъекты располагаются в центре каждого десятого квадрата, барьерная структура имеет высоту 250 нм, ширину - 250 нм. Над каждым десятым нанообъектом на расстоянии 10 мкм располагается число, указывающее расстояние от центрального элемента левого края двухмерного упорядоченного массива нанообъектов до данного нанообъекта в массиве.
Двумерный упорядоченный массив нанообъектов занимает квадратную область размером (49,75х49,75) мкм, размер каждого нанообъекта массива (250х250х250) нм, расстояние между центрами ближайших нанообъектов 500 нм. Двумерный упорядоченный массив нанообъектов состоит из сгруппированных в столбцы и строки нанообъектов, расположенных параллельно сторонам квадратной области; каждый пятый нанообъект в строке отсутствует, в каждой следующей строке позиция первого пропускаемого нанообъекта смещается на одну влево, это создает систему наклонных полос.
Схематические изображения модуля меры представлены на рисунках 1-3.
10 mkm 5 mkm
4S,75 mkm
Рис.1 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-4.
Рис.2 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-4
Рис.3 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-4.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Номинальное значение среднего шага Tx по оси X двумерного массива нанообъектов, нм |
500 |
|
Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y двумерного массива нанообъектов, нм |
500 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм |
±2 |
|
Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) двумерного массива нанообъектов, нм |
2 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy), нм |
±1 |
|
Номинальное значение среднего шага Т одномерного массива нанообъектов, мкм |
49,98 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага T, мкм |
±0,03 |
|
Среднее квадратическое отклонение S значений шага одномерного массива нанообъектов, нм |
15 |
|
Пределы допускаемой погрешности определения параметра S, нм |
±5 |
|
Номинальные размеры нанообъектов, нм |
250x250x250 |
|
Размеры двумерного массива нанообъектов, мкм |
49,75x49,75 |
|
Общая длина одномерного массива нанообъектов, мм |
5 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура держателя образца, °С - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па |
20±3 10-4 + 270 |
|
Масса (без оправы), кг |
0,0023 |
|
Г абаритные размеры меры (диаметр х толщина), мм |
50х0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-4, футляр, паспорт.
Поверка
осуществляется по документу МП 49102-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-4. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦИВ» в ноябре 2011 г.
Средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;
- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Смотрите также
