Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3
| Номер в ГРСИ РФ: | 49103-12 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва |
| 49103-12: Описание типа СИ | Скачать | 167.1 КБ |
Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3 (далее ╞ мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0,2·10-6 до 0,002 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 49103-12 |
| Наименование | Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов |
| Модель | ПМН-3 |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Россия |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование центра | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес центра | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель центра | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 45556 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | Е |
| Дата протокола | Приказ 111 от 24.02.12 п.04 |
Производитель / Заявитель
ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва
Россия
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 49103-12 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 49103-12: Описание типа СИ | Скачать | 167.1 КБ |
Описание типа
Назначение
Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0210-6 до 0,002 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.
Описание
Мера ПМН-3 выполнена на пластине монокристаллического кремния диаметром 50 мм, в центре которой размещены 3 одинаковых модуля, состоящие из примыкающих друг к другу элементов размерами 2 мкм x 2 мкм, с квадратными метками размером 100 нм х100 нм через каждые 10 элементов и цифровыми метками через каждые 100 элементов, имеющие конечный элемент 19,9 мкм х 19,9 мкм с периодическим массивом нанообъектов размерами 100 нм х100 нм.
Конечный элемент представляет собой двумерную периодическую структуру, состоящую из наностолбиков размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, расстояние между столбиками 100 нм.
Квадратные метки образуют одномерную периодическую структуру.
Схематические изображения модуля меры представлены на рисунках 1-3.
Рис.1 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.
Рис.2 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.
А5
СС
Е ПП~1П |~ П П П Г1Г1Г1Г1 Г1Г1Г1Г1 ~1 п п п ппп
Рис.3 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Номинальное значение среднего шага Tx по оси X двумерного массива нанообъектов, нм |
200 |
|
Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y двумерного массива нанообъектов, нм |
200 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм |
±1 |
|
Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) двумерного массива нанообъектов, нм |
2 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy) , нм |
±1 |
|
Номинальное значение среднего шага Т одномерного массива нанообъектов, мкм |
20,00 |
|
Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага T, мкм |
±0,02 |
|
Среднее квадратическое отклонение S значений шага одномерного массива нанообъектов, нм |
10 |
|
Пределы допускаемой погрешности определения параметра S, нм |
±4 |
|
Номинальные размеры нанообъектов, нм |
100x100x100 |
|
Размеры двумерного массива нанообъектов, мкм |
19,9x19,9 |
|
Общая длина одномерного массива нанообъектов, мм |
2 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура держателя образца, °С - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па |
20±3 10-4 + 270 |
|
Масса без оправы, кг |
0,0023 |
|
Габаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм |
50х0,5 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3, футляр, паспорт.
Поверка
осуществляется по документу МП 49103-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦИВ» в ноябре 2011 г.
Средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;
- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Смотрите также
