Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
| Номер в ГРСИ РФ: | 50249-12 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Veeco Instruments Inc.", США |
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 предназначена для поверки и калибровки атомно-силовых микроскопов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 50249-12 |
| Наименование | Мера длины 3D субмикронного диапазона |
| Модель | NGR 11010 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | США |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Номер сертификата | 46982 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 438 п. 18 от 25.06.2012 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
США
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 44.Д4-11 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 50249-12: Описание типа СИ | Скачать | 606.6 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 предназначена для поверки и калибровки атомно-силовых микроскопов.
Описание
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 (далее - мера) представляет собой квадратную кремниевую монокристаллическую пластину размером не более 10х10 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости. Мера состоит из ячеек размером 5Х5 мкм, с расстоянием между ячейками 5 мкм.
Рисунок 1 - Внешний вид Меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Рисунок 2 - Маркировка Меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Рисунок 3 - Структура поверхности меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Номинальное значение глубины ячейки, мкм |
0,098 |
|
Пределы доверительной границы погрешности измерения глубины ячейки при Р = 0,95; мкм |
± 0,001 |
|
Номинальное значение шага ячейки, мкм |
10,0 |
|
Пределы доверительной границы погрешности измерения шага ячейки при Р = 0,95; мкм |
± 0,05 |
|
Размеры ячейки, мкм |
5x5 |
|
Масса меры с оправой, кг |
0,0015 |
|
Габаритные размеры меры без оправы (Д*Ш>В), мм |
10x10x0,5 |
|
Условия эксплуатации: а) на воздухе температура окружающего воздуха, °С относительная влажность окружающего воздуха, % атмосферное давление, кПа |
20 ± 3 65 ± 15 100 ± 4 |
|
б) в вакууме температура держателя образца, °С значение давления остаточных газов в камере образцов микроскопа, Па |
20 ± 3 10 "4- 270 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации (паспорта) методом печати.
Комплектность
Состав комплекта меры представлен в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование |
Количество, шт. |
|
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 |
1 |
|
Футляр |
1 |
|
Руководство по эксплуатации (паспорт) |
1 |
|
Методика поверки № МП 44.Д4-11 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу: «Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010». Методика поверки № МП 44.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 3 октября 2011 г.
Основные средства поверки:
Микроскоп атомно-силовой Innova, фирмы “Veeco Instruments Inc.”, США
Основные метрологические характеристики:
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY от 0,001 до 100 мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y: ± 1 %
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z от 0,0001 до 7,000 мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z: ± 5 %
Сведения о методах измерений
«Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010. Руководство по эксплуатации (паспорт)», раздел 7 «Порядок работы».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы «Veeco Instruments Inc.», США.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по обеспечению единства измерений.
Смотрите также
