Интерферометры оптические ЛОМИ-2
| Номер в ГРСИ РФ: | 52292-12 |
|---|---|
| Категория: | Интерферометры |
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Техносистема Н", г.Москва |
Интерферометры оптические ЛОМИ - 2 (далее интерферометры) предназначены для измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне при проведении исследовательских работ, контрольных операций, испытаниях, поверке и калибровке средств воспроизведения перемещений нанометрового диапазона.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 52292-12 |
| Наименование | Интерферометры оптические |
| Модель | ЛОМИ-2 |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Россия |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 27.12.2017 |
| Номер сертификата | 49371 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | C |
| Дата протокола | Приказ 1197 п. 36 от 27.12.2012 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Техносистема Н", г.Москва
Россия
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 52292-12 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 52292-12: Описание типа СИ | Скачать | 227.1 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Интерферометры оптические ЛОМИ - 2 (далее интерферометры) предназначены для измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне при проведении исследовательских работ, контрольных операций, испытаниях, поверке и калибровке средств воспроизведения перемещений нанометрового диапазона.
Описание
Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 (рис. 1) выполнен по схеме интерферометра Майкельсона. В процессе измерения высотных размеров и перемещений происходит регистрация серий интерференционных картин с помощью цифровой камеры со скоростью 25 кадров в секунду. Результат измерений вычисляется при смене каждого кадра по множеству точек интерференционной картины с помощью специализированного программного обеспечения Interferometer и отображается на экране персонального компьютера (ПК). При измерении амплитуды импульсов перемещения на экране ПК отображается временная диаграмма импульсов перемещения в реальном масштабе времени с указанием амплитудного значения.
Рис. 1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2
Программное обеспечение
Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 оснащен программным обеспечением Interferometer версии V 1.0.1.25, предназначенным для обработки результатов измерений. Вычислительный алгоритм Interferometer расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО Interferometer блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификацион ное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатор а программного обеспечения |
|
Interferometer |
Interferometer. exe |
V 1.0.1.25 |
9AC0CD5C346A AEC9D08A9B90 7B5DA0C9 |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения интерферометра оптического ЛОМИ - 2 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
|
Измерение размеров и перемещений в диапазоне, нм |
от 1 до 100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения перемещений, нм |
± 0,3 |
|
Максимальное измеряемое перемещение, м |
1,0 |
|
Габаритные размеры, мм | |
|
длина |
171 |
|
ширина |
125 |
|
высота |
55 |
|
Длина волны источника излучения, нм |
852 |
|
Мощность, мВт |
5 |
|
Класс опасности по ГОСТ Р МЭК 60825-1-2009 |
3 |
|
Условия применения: | |
|
Температура окружающей среды, °С |
20 ± 3 |
|
Относительная влажность, не более % |
80 |
|
Масса, кг |
0,7 |
Знак утверждения типа
Утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус интерферометра.
Комплектность
Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 - 1шт;
2. Электронный блок питания полупроводникового лазера - 2 шт;
3. Блок питания фотоприемного устройствам - 1 шт;
4. Кабели соединительные - 1 комплект;
5. Диск с программным обеспечением Interferometer - 1шт;
6. Руководство по эксплуатации;
7. Методика поверки.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 52292-12 «Интерферометры оптические ЛОМИ - 2. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: мера динамического вертикального перемещения ДКВ-01 (Госреестр № 48278-11).
Сведения о методах измерений
Сведения о методах измерений содержатся в разделе 4 РЭ «Интерферометры оптические ЛОМИ - 2. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
1. ТУ ГК. 004-2011 «Оптические интерферометры ЛОМИ - 2. Технические условия».
2. МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1-10’6...50 м и длин волн в диапазоне 0,2.. .50 мкм».
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
Другие Интерферометры
