Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200e
Номер в ГРСИ РФ: | 53466-13 |
---|---|
Производитель / заявитель: | Фирма "Agilent Technologies Inc.", США |
![КтоПоверит](https://all-pribors.ru/images/logo-full-kp-site.png)
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 53466-13 |
Наименование | Стенд измерительный для СБИС |
Модель | Agilent 93000 С200e |
Год регистрации | 2013 |
Страна-производитель | Германия |
Информация о сертификате | |
Срок действия сертификата | .. |
Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
Дата протокола | Приказ 483 п. 39 от 14.05.2013 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Agilent Technologies Deutschland GmbH SOC Order FulFillment", Германия
Германия
Поверка
Методика поверки / информация о поверке | МП 010/551-2013 |
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 7 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 7 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 30.06.2024 |
Поверители
Скачать
53466-13: Описание типа СИ | Скачать | 326.1 КБ | |
Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е предназначен для контроля и измерения параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве, и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Описание
Принцип работы стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200е основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности, или алгоритмическим генератором тестов и драйверами каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Стандартная частота смены векторов тестовой последовательности 50 МГц может быть повышена в мультиплицированном режиме до 200 МГц путем задания на каждый такт вектора тестовой последовательности до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 4 временных меток, формирующих 4 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 56 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всём диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме любой канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля, и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля предназначен драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов с выхода объекта используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками, (общим количеством до 4), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по амплитуде силы тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначен измерительный источник питания GPDPS (E7002AA).
Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е выполнен в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200е представлен на рисунке ниже.
![](/images/ot/13//53466-13-1.jpg)
Стойка вспомогательная Манипулятор
Установка водяного охлаждения
Измерительный головной блок
Внешний вид стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200е
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 16-ти канальные измерительные платы, общее количество до 12 шт., всего до 192 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU);
- источники питания GPDPS (E7002AA) до 12 шт.
По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.
Программное обеспечение
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств системы, а также обработку и документирование измерительной информации.
Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.
класс риска |
A по WELMEC 7.2 для категории U |
идентификационное наименование |
SmarTest |
идентификационный номер версии |
4.3.13 и выше |
Технические характеристики
диапазон установки длительности векторов (периода) тестовой пос в стандартном режиме в мультиплицированном режиме |
ыедовательности (ТП) от 20 до 163840 нс от 5 до 40960 нс |
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т векторов (периода) ТП |
± 1- 10-3^Т |
максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов при амплитуде 1 В при амплитуде 3 В |
1,3 нс 1,7 нс |
минимальная длительность выходных импульсов при амплитуде 1 В при амплитуде 3 В |
2,0 нс 2,4 нс |
диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов Е1 - Е8, стробирующих импульсов Е9 - Е14 |
от - 4-Т до + 12-Т |
крайние значения временных меток |
- 4 мкс; + 140 мкс |
разрешение временных меток |
10 пс |
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток Е1 - Е8 |
± 175 пс |
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток Е9 - Е14 |
± 350 пс |
диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера |
от - 1 до + 6 В |
разрешение уровней напряжения драйвера |
2,5 мВ |
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения уровней напряжения драйвера |
± 15 мВ |
выходное сопротивление драйвера |
от 45 до 55 Ом |
диапазон установки уровней напряжения компаратора |
от - 1 до + 6 В |
разрешение уровней напряжения компаратора |
2,5 мВ |
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения уровней напряжения компаратором |
± 15 мВ |
диапазон воспроизведения силы тока активной нагрузки |
от - 35 до + 35 мА |
разрешение силы тока активной нагрузки |
12,5 мкА |
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки |
± (V10-2 •I + 75 мкА) |
пределы воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем PMU |
от - 2 до + 7 В |
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U PMU |
± (5-10’3-U + 20 мВ + I-R) 1 |
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U PMU |
± (5-10’3-U + 10 мВ + I-R) 1 |
пределы воспроизведения и измерения силы тока PMU |
10; 100 мкА; 1; 40 мА |
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I PMU | |
на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 40 мА |
± (5-10’3-I + 100 нА) ± (5-10-Ч + 500 нА) ± (5-10-Ч + 5 мкА) .....±-"-(5-7YQ-37j"+"20-0-мкА).............................. |
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I PMU | |
на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА на пределе 1 мА |
± (5-10-I + 100 нА) ± (5-10-Ч + 125 нА) ± (5-10’3-! + 1,25 мкА) |
на пределе 40 мА |
± (5-10’3-I + 50 мкА) |
пределы воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем HPPMU |
от - 5 до + 8 В |
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения U HPPMU |
± (I-R + 2 мВ) 1 |
пределы воспроизведения и измерения силы тока I HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I HPPMU | |
на пределе 5 мкА |
± (5-10’3-I + 10 нА) |
на пределе 200 мкА |
± (5-1(ГЧ + 200 нА) |
на пределе 5 мА |
± (5-1(ГЧ + 10 мкА) |
на пределе 200 мА |
± (5-10<I + 200 мкА) |
пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания GPDPS |
от - 7 до + 7 В; от - 8 до + 8 В |
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U GPDPS |
± (1-10’3-U + 5 мВ) |
максимальная сила тока в нагрузке измерительного источника GPDPS | |
при воспроизведении напряжения + 7 В |
+ 7 А |
при воспроизведении напряжения + 8 В |
+ 4 А |
при воспроизведении напряжения - 7 В |
- 4 А |
при воспроизведении напряжения - 8 В |
- 4 А |
пределы измерения силы тока GPDPS |
100 мкА; 10 мА; 0,3; 8 А |
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I GPDPS | |
на пределе 100 мкА |
± (1-10’3Л + 100 нА) |
на пределе 10 мА на пределе 0,3 А на пределе 8 А |
± (1-1(ГЧ + 10 мкА) ± (1-10-Ч + 300 мкА) .....±(1:10-з:Т+20 мА).......................................... |
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм | |
головной блок с манипулятором и вспомогательной стойкой |
1650 х 1530 х 2510 |
установка водяного охлаждения |
1150 х 650 х 1050 |
примечание 1: R = 0,5 Ом |
масса, не более головной блок с манипулятором и вспомогательной стойкой установка водяного охлаждения |
1430 кг 280 кг |
напряжение питания от сети трехфазного переменного тока частотой (50 ± 1) Гц |
от 342 до 418 В |
потребляемая мощность от сети 380 В; 50 Гц, не более |
25 кВ^А |
температура окружающей среды |
от 20 до 30 °С |
относительная влажность при температуре 30 °С, не более |
80 % |
электромагнитная совместимость |
по ГОСТ Р 51522-99 |
безопасность |
по ГОСТ Р 52319-2005 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
наименование и обозначение |
кол-во |
измерительный головной блок Е6978С зав. № DE397 00195 |
1 шт. |
манипулятор E6979A зав. № 913 03 0166 |
1 шт. |
установка водяного охлаждения E2760DA зав. № DE40A 15086 |
1 шт. |
стойка вспомогательная |
1 шт. |
программа управляющая SmarTest |
1 шт. |
компьютер HP xw4100 |
1 шт. |
стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200e. руководство по эксплуатации |
1 шт. |
методика поверки МП 010/551-2013 |
1 шт. |
программа для поверки PR_POV_195 |
1 шт. |
комплект оснастки для поверки в составе: | |
устройство согласования ТСКЯ.418133.209 |
1 шт. |
плата коммутационная E7010E |
1 шт. |
устройство согласования ТСКЯ.418133096-01 |
1 шт. |
Поверка
осуществляется по документу МП 010/551-2013 «Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 C200e DE39700195», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 09.04.2013 г.
Средства поверки
средство поверки и требования к его метрологическим характеристикам |
рекомендуемое средство поверки и его метрологические характеристики |
осциллограф цифровой абсолютная погрешность измерения периода и временных интервалов Т не более ± (50 пс + 3,540-4-Т) |
осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 абсолютная погрешность измерения периода и временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (6 пс + 3,5^10-б-Т) |
измеритель постоянного напряжения абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах 100 мВ не более ± (1-10'4-U + 20 мкВ) 1 В не более ± (V10-4^U + 100 мкВ) 10 В не более ± (V10-4^U + 500 мкВ) |
мультиметр цифровой Keithley 2000 абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах 100 мВ не более ± (6,5-10’5-U + 3,5 мкВ) 1 В не более ± (3,2-10’5-U + 7 мкВ) 10 В не более ± (3-10’5-U + 50 мкВ) |
калибратор-измеритель постоянного напряжения и силы постоянного тока абсолютная погрешность установки напряжения от 0 до 8 В не более ± (1,640-3 •U + 3 мВ) абсолютная погрешность измерения напряжения от 0 до 8 В не более ± (1,6-10’3 •U + 6 мВ) абсолютная погрешность установки силы тока на пределах: 10 мкА не более ± (1,6^10-3 •I + 33 нА), 100 мкА не более ± (1,640-3 •I + 40 нА), 1 мА не более ± (1,6^10-3 •I + 0,4 мкА), 40 мА не более ± (1,6-10’3 •I + 16 мкА); абсолютная погрешность измерения силы тока на пределах: 10 мкА не более ± (1,6^10-3 •I + 33 нА), 100 мкА не более ± (1,640-3 •I + 160 нА), 1 мА не более ± (1,6^10-3 •I + 1,6 мкА), 40 мА не более ± (1,6-10’3 •I + 60 мкА) абсолютная погрешность измерения напряжения от 0 до 8 В при установке силы тока от 0 до 7 А не более ± (3,3404U + 1,6 мВ) |
калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 абсолютная погрешность установки напряжения на пределе 20 В не более ± (2A04U + 2,4 мВ); абсолютная погрешность измерения напряжения на пределе 20 В не более ± (1,5A04U + 1 мВ) абсолютная погрешность установки силы тока на пределах 10 мкА не более ± (3,3-10’4-I + 2 нА), 100 мкА не более ± (3,V10-4^I + 20 нА), 1 мА не более ± (3,34-10’4-I + 0,2 мкА), 100 мА не более ± (6,6-10’4-I + 20 мкА); абсолютная погрешность измерения силы тока на пределах 10 мкА не более ± (2,7-10’4-I + 0,7 нА), 100 мкА не более ± (2,5-10’4-I + 6 нА), 1 мА не более ± (2,5-10’4-I + 60 нА), 100 мА не более ± (5,5-10’4-! + 6 мкА) |
калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А пределы воспроизведения силы тока 5, 10 А; абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах: 1 В не более ± (1,5A04U + 0,3 мВ), 10 В не более ± (1,540AU + 3 мВ) | |
измеритель силы постоянного тока абсолютная погрешность измерения силы постоянного тока на пределе 200 мА не более ± (3,3-10’4-I + 66 мкА) |
мультиметр Agilent 3458А абсолютная погрешность измерения силы тока на пределе 1 А не более ± (V10-4a + 10 мкА) |
калибратор постоянного тока абсолютная погрешность установки силы тока: 80 мкА не более ± 0,06 мкА, 8 мА не более ± 6 мкА, 300 мА не более ± 0,2 мА, 4 А не более ± 8 мА, 7 А не более ± 9 мА |
калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 абсолютная погрешность установки силы тока: 80 мкА не более ± 0,045 мкА 8 мА не более ± 5,6 мкА |
калибратор универсальный Fluke 9100 абсолютная погрешность установки силы тока: 300 мА не более ± 0,06 мА, 4 А не более ± 3,1 мА, 7 А не более ± 4,8 мА |
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне V10-16 ^ 30 А.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Смотрите также
![Default ALL-Pribors Device Photo](https://all-pribors.ru/pics/medium/default-device.png)
![Default ALL-Pribors Device Photo](https://all-pribors.ru/pics/medium/default-device.png)
![Default ALL-Pribors Device Photo](https://all-pribors.ru/pics/medium/default-device.png)