Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
| Номер в ГРСИ РФ: | 59432-14 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Advantest Co.", Япония |
| 59432-14: Описание типа СИ | Скачать | 375.3 КБ |
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 предназначены для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 59432-14 |
| Наименование | Стенды измерительные для СБИС |
| Модель | Verigy V93000 Pin Scale 1600 |
| Год регистрации | 2014 |
| Страна-производитель | Германия |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 2071 п. 66 от 19.12.2014 |
Производитель / Заявитель
Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия
Германия
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 076/551-2014 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 32 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 32 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 59432-14: Описание типа СИ | Скачать | 375.3 КБ |
Описание типа
Назначение
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 предназначены для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Описание
Принцип работы стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов Pin Scale 1600 (PS1600) в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов PS1600 в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнены в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 имеют два варианта исполнения измерительного головного блока: ATH (A-test head) и CTH (Compact test head). Внешний вид стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 в исполнениях ATH и CTH представлен на рисунке ниже.
Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
В состав измерительного головного блока в зависимости от варианта исполнения входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 8 и 16 шт., всего до 1024 и 2048 универсальных измерительных каналов соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются высоковольтный драйвер и два высоковольтных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий АЦП BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
- платы источников питания MS DPS (E9711A/B) в зависимости от конфигурации 4-х или 8-ми канальные, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
- платы источников питания DCS DPS32 (E8013CS) 32-х канальные, максимальное количество 8 и 16 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН.
По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.
Программное обеспечение
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.
|
уровень защиты (класс риска) идентификационное наименование идентификационный номер версии |
«низкий» по Р50.2.077-2014 (класс A по WELMEC 7.2) SmarTest 7.1.4.12 и выше |
Технические характеристики
|
диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности |
от 2,5 до 31250 нс |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
± 15-10-6-Т |
|
диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс |
от минус 4-Т до + 12^Т |
|
крайние значения временных меток |
минус 6,3 мкс; + 19 мкс |
|
разрешение временных меток |
1 пс |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8 |
± 150 пс |
|
максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов д |
райвера |
|
при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,6 нс |
|
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,7 нс |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,8 нс |
|
минимальная длительность выходных импульсов драйвера | |
|
при амплитуде 1,0 В |
0,7 нс |
|
при амплитуде 1,8 В |
0,8 нс |
|
при амплитуде 3,0 В |
0,9 нс |
|
максимальная длительность фронта выходных импульсов высоковольтного драйвера | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
9 нс |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
250 нс |
|
максимальная длительность спада выходных импульсов высоковольтного драйвера | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
10,5 нс |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
30 нс |
|
диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
разрешение уровней напряжения драйвера |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера |
± 5 мВ |
|
выходное сопротивление драйвера |
от 47,5 до 52,5 Ом |
|
диапазон воспроизводимых уровней напряжения высоковольтного драйвера | |
|
диапазон VIL/VIH |
от 0,0 до + 6,5 В |
|
диапазон VHH |
от + 6,0 до + 13,4 В |
|
разрешение уровней напряжения высоковольтного драйвера |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения высоковольтного драйвера |
± 15 мВ |
|
выходное сопротивление высоковольтного драйвера | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В |
от 45 до 55 Ом |
|
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В |
максимум 10 Ом |
|
диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
разрешение уровней напряжения компаратора |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором |
± 15 мВ |
|
диапазон установки уровней напряжения высоковольтного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах высоковольтного компаратора |
от минус 3,0 до + 13,4 В |
|
разрешение уровней напряжения высоковольтного компаратора |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения высоковольтным компаратором | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 8 В |
± 20 мВ |
|
при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В |
± 50 мВ |
|
диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора |
от минус 1,0 до + 1,0 В |
|
разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора |
1 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором |
± 15 мВ |
|
диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
от минус 25 до + 25 мА |
|
разрешение силы тока активной нагрузки |
12,5 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА |
± (1-10-2 •I + 75 мкА) |
|
диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | |
|
при силе тока в пределах ± 1 мА |
от минус 1,5 до + 6,5 В |
|
при силе тока в пределах ± 25 мА |
от минус 1,0 до + 5,5 В |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU | |
|
при силе тока в пределах ± 1 мА |
от минус 2,0 до + 6,5 В |
|
при силе тока в пределах ± 40 мА |
от минус 2,0 до + 5,75 В |
|
разрешение воспроизведения напряжения PMU |
200 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА |
± (3 мВ + PR), R = 1 Ом |
|
разрешение измерения напряжения PMU |
75 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
|
в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В |
± (4 мВ + PR), R = 1 Ом |
|
в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В |
± (2 мВ + I<r), R = 1 Ом |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА |
|
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU | |
|
на пределе 2 мкА на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА |
.......1 нА......................................................................................................................... 5 нА 50 нА |
|
на пределе 1 мА |
0,5 мкА |
|
на пределе 40 мА |
20 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения с источником-измерителем PMU, нА (мкА) на пределе 2 мкА на пределе 10 мкА |
илы тока I ± (5-10’3-I + 40 нА) ± (5^10-М + 100 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
± (5-10’3-I + 500 нА) |
|
на пределе 1 мА |
± Ц40-Ч + 5 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
± Ц40-М + 50 мкА) |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 2 мкА |
± (540-М + 10 нА) |
|
на пределе 10 мкА |
± Ц40-Ч + 50 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
± Ц40-М + 200 нА) |
|
на пределе 1 мА |
± Ц40-Ч + 1,25 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
± Ц40-М + 50 мкА) |
|
пределы измерения напряжения АЦП BADC | |
|
в стандартном режиме |
от минус 3,0 до + 8,0 В |
|
в высоковольтном режиме |
от минус 6,0 до + 13,4 В |
|
разрешение измерения напряжения АЦП BADC | |
|
в стандартном режиме |
75 мкВ |
|
в высоковольтном режиме |
150 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC | |
|
в стандартном режиме |
± 1 мВ |
|
в высоковольтном режиме |
± 10 мВ |
|
входное сопротивление АЦП BADC |
более 100 МОм |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионнь .....HPPMU............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................. подключение через плату PS1600 подключение через разъем UTILITY pogo block |
м источником-измерителем от минус 1,5 до + 6 В от минус 5 до + 8 В |
|
разрешение воспроизведения и измерения напряжения HPPMU |
250 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
|
подключение через плату PS1600 |
± (2 мВ + UR), R = 1 Ом |
|
подключение через разъем UTILITY pogo block |
± 2 мВ |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
|
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-на пределе 5 мкА на пределе 200 мкА |
измерителем HPPMU 250 пА............................................................................................................ 6 нА |
|
на пределе 5 мА |
250 нА |
|
на пределе 200 мА |
6 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 5 мкА | |
|
при подключении через плату PS1600 |
± (1-10-3-! + 50 нА) |
|
при подключении через разъем UTILITY pogo block |
± (1-10-3-I + 10 нА) |
|
на пределе 200 мкА |
± (1-10-3-! + 200 нА) |
|
на пределе 5 мА |
± (1М0-3М + 10 мкА) |
|
на пределе 200 мА |
± (1М0-3М + 200 мкА) |
|
пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS |
от минус 8 до + 8 В |
|
разрешение воспроизведения напряжения MS DPS |
300 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А | |
|
в 4-х канальном режиме |
± (U10-3 •U + 4 мВ + UR), R = 4 мОм |
|
в 8-ми канальном режиме |
± (U10-3 •U + 2 мВ + UR), R = 4 мОм |
|
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режим при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В |
е от минус 1,5 до + 8,0 А от минус 1,5 до + 4,0 А |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В |
от минус 4,0 до + 1,5 А |
|
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме | |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В |
от минус 1,5 до + 4,0 А |
|
при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В |
от минус 1,5 до + 2,0 А |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В |
от минус 2,0 до + 1,5 А |
|
пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS | |
|
в 4-х канальном режиме |
100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А |
|
в 8-ми канальном режиме |
0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А |
|
разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме | |
|
на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 10 мА |
5 нА 50 нА ......500 нА............................................................................................................ |
|
на пределе 0,3 А |
15 мкА |
|
на пределе 8 А |
150 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА) | |
|
на пределе 100 мкА |
± (U10-3M + 100 нА) |
|
на пределе 1 мА на пределе 10 мА на пределе 0,3 А |
± (1-10-3-I + 1 мкА) ± (110Л1 + 10 мкА) .....±“(17Т0-3?Г+300’мкА)................................ |
|
на пределе 8 А |
± (1-10-3-I + 20 мА) |
|
разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме | |
|
на пределе 10 мкА |
500 пА |
|
на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 10 мА |
5 нА 50 нА 500 нА |
|
на пределе 0,3 А |
15 мкА |
|
на пределе 4 А |
150 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы то источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА) на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА |
ка I измерительным ± (Т10’3Ч + 10 нА) ± (140’М + 100 нА) |
|
на пределе 1 мА |
± (140’М + 1 мкА) |
|
на пределе 10 мА |
± (H0’3-I + 10 мкА) |
|
на пределе 0,3 А |
± (140’М + 300 мкА) |
|
на пределе 4 А |
± (1-10-3-I + 10 мА) |
|
пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32 |
от 0 до + 7 В |
|
разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32 |
200 мкВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32 |
± 3 мВ |
|
максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32 | |
|
при воспроизведении напряжения до + 3,0 В |
от минус 1,5 до + 1,5 А |
|
при воспроизведении напряжения до + 3,6 В |
от минус 1,2 до + 1,2 А |
|
при воспроизведении напряжения до + 7,0 В |
от минус 0,5 до + 0,5 А |
|
пределы измерения силы тока DCS DPS32 |
100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А |
|
разрешение измерения силы тока DCS DPS32 на пределе 100 мкА на пределе 2 мА |
5 нА 100 нА |
|
на пределе 50 мА |
2,5 мкА |
|
на пределе 1,5 А |
100 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы то источником питания DCS DPS32, нА (мкА) на пределе 100 мкА на пределе 2 мА |
ка I измерительным ± (Т10’3Ч + 100 нА) ± (140’3/I + 2 мкА) |
|
на пределе 50 мА |
± (140’М + 50 мкА) |
|
на пределе 1,5 А |
± (1-10-3-I + 1,59 мА) |
|
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
|
габаритные размеры головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения (высота х ширина х глубина), мм | |
|
ATH |
1850 х 880 х 1920 |
|
CTH |
1880 х 1290 х 2270 |
|
габаритные размеры установки водяного охлаждения в зависимост! (высота х ширина х глубина), мм E2760FU E2760FAL |
о от варианта исполнения 440х 240 х 650 .......950" х.....520" х.....870............................................................. |
|
масса головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения, не более | |
|
ATH |
610 кг |
|
CTH |
1118 кг |
|
масса установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения, не более | |
|
E2760FU |
50 кг |
|
E2760FAL |
185 кг |
|
напряжение питания частотой от 50 Гц | |
|
ATH (сеть однофазного тока) |
от 200 до 240 В |
|
CTH (сеть трехфазного тока) |
от 360 до 440 В |
|
потребляемая мощность в зависимости от варианта исполнения, не более | |
|
ATH |
7 кВ^А |
|
CTH |
15 кВ^А |
|
температура окружающей среды |
от 20 до 30 °С |
|
относительная влажность при температуре 30 °С, не более |
70 % |
|
электромагнитная совместимость |
по ГОСТ Р 51522-99 |
|
безопасность |
по ГОСТ Р 52319-2005 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
|
наименование и вариант исполнения |
обозначение |
кол-во |
|
измерительный головной блок ATH CTH |
E8015A зав. № MY04600968 E8014A — № MY04600777............ |
1 шт. 1 шт. |
|
манипулятор | ||
|
ATH |
E6979UC |
1 шт. |
|
CTH |
E6979LC |
1 шт. |
|
установка водяного охлаждения | ||
|
ATH |
E2760FU |
1 шт. |
|
CTH |
E2760FAL |
1 шт. |
|
программа управляющая |
SmarTest |
1 шт. |
|
компьютер |
HP xw4100 |
1 шт. |
|
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации |
1 шт. | |
|
методика поверки |
МП 076/551-2014 |
1 шт. |
|
программа для поверки | ||
|
ATH |
PR_POV_968 |
1 шт. |
|
CTH |
PR_POV_777 |
1 шт. |
|
комплект оснастки для поверки в составе | ||
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) |
1 шт. |
|
устройство согласования устройство согласования устройство согласования |
ТСКЯ.418133.253 ТСКЯ.418133.254 (Вер.1) ТСКЯ_____^В_.__.)............................ |
1 шт. 1 шт. 1 шт. |
|
плата коммутационная |
E7010E |
1 шт. |
|
шлюз LAN/GPIB |
Agilent E5810A |
1 шт. |
Поверка
осуществляется по документу МП 076/551-2014 «Стенды измерительные для СБИС Verigy
V93000 Pin Scale 1600», утвержденному ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 28.10.2014 г.
Средства поверки
|
наименование |
метрологические характеристики |
|
частотомер электронносчетный Agilent 53132А с опциями 012 и 030 |
абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне от 0,33 нс до 10 с не более ± 4- 10’9-Т |
|
осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А |
абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,540’6-Т + 6 пс) |
|
мультиметр цифровой Keithley 2000 |
абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах 10 В не более ± (3-10’5-U + 50 мкВ) 100 В не более ± (4,5-10’5-U + 0,6 мВ) |
|
калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 |
абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе 20 В не более ± (2-10-4-U + 2,4 мВ) |
|
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,3-10’4-I + 0,7 нА) 100 мкА не более ± (3,1-10’4-I + 6 нА) 1 мА не более ± (3,4- 10’44 + 60 нА) 100 мА не более ± (6,(г 10’44 + 6 мкА) | |
|
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,340’44 + 2 нА) 100 мкА не более ± (3,140’44 + 20 нА) 1 мА не более ± (3,440’44 + 200 нА) 100 мА не более ± (6,640’44 + 20 мкА) | |
|
мультиметр Agilent 3458А |
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (1040’64 + 7 пА) 100 мкА не более ± (10^ 10’64 + 0,6 нА) 1 мА не более ± (1040’64 + 4 нА) 10 мА не более ± (1040’64 + 40 нА) 1 А не более ± (1040’5 4 + 10 мкА) |
|
калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А |
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах 5 А не более ± (840’44 + 3,5 мА) 10 А не более ± (1,540’34 + 6 мА) |
|
калибратор универсальный Fluke 9100 |
абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах 320 мА не более ± (1,6-10’44 + 9,6 мкА) 3,2 А не более ± (6^ 10’44 + 118 мкА) 10,5 А не более ± (5,540’44 + 0,94 мА) |
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 •IO-16 ^ 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
Смотрите также
