59432-14: Verigy V93000 Pin Scale 1600 Стенды измерительные для СБИС - Производители, поставщики и поверители

Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600

Номер в ГРСИ РФ: 59432-14
Производитель / заявитель: Фирма "Advantest Co.", Япония
Скачать
59432-14: Описание типа СИ Скачать 375.3 КБ
Нет данных о поставщике
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 предназначены для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 59432-14
Наименование Стенды измерительные для СБИС
Модель Verigy V93000 Pin Scale 1600
Год регистрации 2014
Страна-производитель  Германия 
Информация о сертификате
Срок действия сертификата ..
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E
Дата протокола Приказ 2071 п. 66 от 19.12.2014
Производитель / Заявитель

Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия

 Германия 

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП 076/551-2014
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 32
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 32 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 17.11.2024

Поверители

Скачать

59432-14: Описание типа СИ Скачать 375.3 КБ

Описание типа

Назначение

Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 предназначены для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.

Описание

Принцип работы стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 основан на методах функционального и параметрического контроля.

Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов Pin Scale 1600 (PS1600) в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов PS1600 в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.

Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).

Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.

В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.

Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.

В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.

Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).

Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнены в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 имеют два варианта исполнения измерительного головного блока: ATH (A-test head) и CTH (Compact test head). Внешний вид стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 в исполнениях ATH и CTH представлен на рисунке ниже.

Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600

В состав измерительного головного блока в зависимости от варианта исполнения входят следующие основные части:

- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 8 и 16 шт., всего до 1024 и 2048 универсальных измерительных каналов соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются высоковольтный драйвер и два высоковольтных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий АЦП BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);

- одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;

- платы источников питания MS DPS (E9711A/B) в зависимости от конфигурации 4-х или 8-ми канальные, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;

- платы источников питания DCS DPS32 (E8013CS) 32-х канальные, максимальное количество 8 и 16 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН.

По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.

Программное обеспечение

Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.

Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.

уровень защиты (класс риска) идентификационное наименование идентификационный номер версии

«низкий» по Р50.2.077-2014 (класс A по WELMEC 7.2)

SmarTest

7.1.4.12 и выше

Технические характеристики

диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности

от 2,5 до 31250 нс

пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс

± 15-10-6-Т

диапазон установки временных меток формирования

выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс

от минус 4-Т до + 12^Т

крайние значения временных меток

минус 6,3 мкс; + 19 мкс

разрешение временных меток

1 пс

пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8

± 150 пс

максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов д

райвера

при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %)

0,6 нс

при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %)

0,7 нс

при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %)

0,8 нс

минимальная длительность выходных импульсов драйвера

при амплитуде 1,0 В

0,7 нс

при амплитуде 1,8 В

0,8 нс

при амплитуде 3,0 В

0,9 нс

максимальная длительность фронта выходных импульсов высоковольтного драйвера

при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)

9 нс

при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)

250 нс

максимальная длительность спада выходных импульсов высоковольтного драйвера

при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)

10,5 нс

при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)

30 нс

диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера

от минус 1,5 до + 6,5 В

разрешение уровней напряжения драйвера

1 мВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера

± 5 мВ

выходное сопротивление драйвера

от 47,5 до 52,5 Ом

диапазон воспроизводимых уровней напряжения высоковольтного драйвера

диапазон VIL/VIH

от 0,0 до + 6,5 В

диапазон VHH

от + 6,0 до + 13,4 В

разрешение уровней напряжения высоковольтного драйвера

1 мВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения высоковольтного драйвера

± 15 мВ

выходное сопротивление высоковольтного драйвера

при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В

от 45 до 55 Ом

при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В

максимум 10 Ом

диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора

от минус 1,5 до + 6,5 В

разрешение уровней напряжения компаратора

1 мВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором

± 15 мВ

диапазон установки уровней напряжения высоковольтного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах высоковольтного компаратора

от минус 3,0 до + 13,4 В

разрешение уровней напряжения высоковольтного компаратора

1 мВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения высоковольтным компаратором

при уровнях напряжения от 0 до 8 В

± 20 мВ

при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В

± 50 мВ

диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора

от минус 1,5 до + 6,5 В

диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора

от минус 1,0 до + 1,0 В

разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора

1 мВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором

± 15 мВ

диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А)

от минус 25 до + 25 мА

разрешение силы тока активной нагрузки

12,5 мкА

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА

± (1-10-2 •I + 75 мкА)

диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В

при силе тока в пределах ± 1 мА

от минус 1,5 до + 6,5 В

при силе тока в пределах ± 25 мА

от минус 1,0 до + 5,5 В

пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU

при силе тока в пределах ± 1 мА

от минус 2,0 до + 6,5 В

при силе тока в пределах ± 40 мА

от минус 2,0 до + 5,75 В

разрешение воспроизведения напряжения PMU

200 мкВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА

± (3 мВ + PR), R = 1 Ом

разрешение измерения напряжения PMU

75 мкВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА

в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В

± (4 мВ + PR), R = 1 Ом

в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В

± (2 мВ + I<r), R = 1 Ом

пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А)

2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА

разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU

на пределе 2 мкА на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА

.......1 нА.........................................................................................................................

5 нА

50 нА

на пределе 1 мА

0,5 мкА

на пределе 40 мА

20 мкА

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения с источником-измерителем PMU, нА (мкА)

на пределе 2 мкА

на пределе 10 мкА

илы тока I

± (5-10’3-I + 40 нА)

± (5^10-М + 100 нА)

на пределе 100 мкА

± (5-10’3-I + 500 нА)

на пределе 1 мА

± Ц40-Ч + 5 мкА)

на пределе 40 мА

± Ц40-М + 50 мкА)

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I источником-измерителем PMU, нА (мкА)

на пределе 2 мкА

± (540-М + 10 нА)

на пределе 10 мкА

± Ц40-Ч + 50 нА)

на пределе 100 мкА

± Ц40-М + 200 нА)

на пределе 1 мА

± Ц40-Ч + 1,25 мкА)

на пределе 40 мА

± Ц40-М + 50 мкА)

пределы измерения напряжения АЦП BADC

в стандартном режиме

от минус 3,0 до + 8,0 В

в высоковольтном режиме

от минус 6,0 до + 13,4 В

разрешение измерения напряжения АЦП BADC

в стандартном режиме

75 мкВ

в высоковольтном режиме

150 мкВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC

в стандартном режиме

± 1 мВ

в высоковольтном режиме

± 10 мВ

входное сопротивление АЦП BADC

более 100 МОм

пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионнь

.....HPPMU.............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................

подключение через плату PS1600

подключение через разъем UTILITY pogo block

м источником-измерителем

от минус 1,5 до + 6 В

от минус 5 до + 8 В

разрешение воспроизведения и измерения напряжения HPPMU

250 мкВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА

подключение через плату PS1600

± (2 мВ + UR), R = 1 Ом

подключение через разъем UTILITY pogo block

± 2 мВ

пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU

5; 200 мкА; 5; 200 мА

разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-на пределе 5 мкА на пределе 200 мкА

измерителем HPPMU 250 пА............................................................................................................

6 нА

на пределе 5 мА

250 нА

на пределе 200 мА

6 мкА

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU, нА (мкА)

на пределе 5 мкА

при подключении через плату PS1600

± (1-10-3-! + 50 нА)

при подключении через разъем UTILITY pogo block

± (1-10-3-I + 10 нА)

на пределе 200 мкА

± (1-10-3-! + 200 нА)

на пределе 5 мА

± (1М0-3М + 10 мкА)

на пределе 200 мА

± (1М0-3М + 200 мкА)

пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS

от минус 8 до + 8 В

разрешение воспроизведения напряжения MS DPS

300 мкВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А

в 4-х канальном режиме

± (U10-3 •U + 4 мВ + UR), R = 4 мОм

в 8-ми канальном режиме

± (U10-3 •U + 2 мВ + UR), R = 4 мОм

максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режим при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В

е

от минус 1,5 до + 8,0 А

от минус 1,5 до + 4,0 А

при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В

от минус 4,0 до + 1,5 А

максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме

при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В

от минус 1,5 до + 4,0 А

при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В

от минус 1,5 до + 2,0 А

при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В

от минус 2,0 до + 1,5 А

пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS

в 4-х канальном режиме

100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А

в 8-ми канальном режиме

0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А

разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме

на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 10 мА

5 нА

50 нА

......500 нА............................................................................................................

на пределе 0,3 А

15 мкА

на пределе 8 А

150 мкА

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА)

на пределе 100 мкА

± (U10-3M + 100 нА)

на пределе 1 мА на пределе 10 мА на пределе 0,3 А

± (1-10-3-I + 1 мкА)

± (110Л1 + 10 мкА)

.....±“(17Т0-3?Г+300’мкА)................................

на пределе 8 А

± (1-10-3-I + 20 мА)

разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме

на пределе 10 мкА

500 пА

на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 10 мА

5 нА

50 нА

500 нА

на пределе 0,3 А

15 мкА

на пределе 4 А

150 мкА

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы то источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА)

на пределе 10 мкА

на пределе 100 мкА

ка I измерительным

± (Т10’3Ч + 10 нА)

± (140’М + 100 нА)

на пределе 1 мА

± (140’М + 1 мкА)

на пределе 10 мА

± (H0’3-I + 10 мкА)

на пределе 0,3 А

± (140’М + 300 мкА)

на пределе 4 А

± (1-10-3-I + 10 мА)

пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32

от 0 до + 7 В

разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32

200 мкВ

пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32

± 3 мВ

максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32

при воспроизведении напряжения до + 3,0 В

от минус 1,5 до + 1,5 А

при воспроизведении напряжения до + 3,6 В

от минус 1,2 до + 1,2 А

при воспроизведении напряжения до + 7,0 В

от минус 0,5 до + 0,5 А

пределы измерения силы тока DCS DPS32

100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А

разрешение измерения силы тока DCS DPS32 на пределе 100 мкА на пределе 2 мА

5 нА

100 нА

на пределе 50 мА

2,5 мкА

на пределе 1,5 А

100 мкА

пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы то источником питания DCS DPS32, нА (мкА)

на пределе 100 мкА

на пределе 2 мА

ка I измерительным

± (Т10’3Ч + 100 нА) ± (140’3/I + 2 мкА)

на пределе 50 мА

± (140’М + 50 мкА)

на пределе 1,5 А

± (1-10-3-I + 1,59 мА)

ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

габаритные размеры головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения (высота х ширина х глубина), мм

ATH

1850 х 880 х 1920

CTH

1880 х 1290 х 2270

габаритные размеры установки водяного охлаждения в зависимост! (высота х ширина х глубина), мм

E2760FU

E2760FAL

о от варианта исполнения

440х 240 х 650

.......950" х.....520" х.....870.............................................................

масса головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения, не более

ATH

610 кг

CTH

1118 кг

масса установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения, не более

E2760FU

50 кг

E2760FAL

185 кг

напряжение питания частотой от 50 Гц

ATH (сеть однофазного тока)

от 200 до 240 В

CTH (сеть трехфазного тока)

от 360 до 440 В

потребляемая мощность в зависимости от варианта исполнения, не более

ATH

7 кВ^А

CTH

15 кВ^А

температура окружающей среды

от 20 до 30 °С

относительная влажность при температуре 30 °С, не более

70 %

электромагнитная совместимость

по ГОСТ Р 51522-99

безопасность

по ГОСТ Р 52319-2005

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

наименование и вариант исполнения

обозначение

кол-во

измерительный головной блок

ATH

CTH

E8015A зав. № MY04600968

E8014A — № MY04600777............

1 шт.

1 шт.

манипулятор

ATH

E6979UC

1 шт.

CTH

E6979LC

1 шт.

установка водяного охлаждения

ATH

E2760FU

1 шт.

CTH

E2760FAL

1 шт.

программа управляющая

SmarTest

1 шт.

компьютер

HP xw4100

1 шт.

Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации

1 шт.

методика поверки

МП 076/551-2014

1 шт.

программа для поверки

ATH

PR_POV_968

1 шт.

CTH

PR_POV_777

1 шт.

комплект оснастки для поверки в составе

устройство согласования

ТСКЯ.418133.251 (Вер.2)

1 шт.

устройство согласования устройство согласования устройство согласования

ТСКЯ.418133.253

ТСКЯ.418133.254 (Вер.1)

ТСКЯ_____^В_.__.)............................

1 шт.

1 шт.

1 шт.

плата коммутационная

E7010E

1 шт.

шлюз LAN/GPIB

Agilent E5810A

1 шт.

Поверка

осуществляется по документу МП 076/551-2014 «Стенды измерительные для СБИС Verigy

V93000 Pin Scale 1600», утвержденному ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 28.10.2014 г.

Средства поверки

наименование

метрологические характеристики

частотомер электронносчетный Agilent 53132А с опциями 012 и 030

абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне от 0,33 нс до 10 с не более ± 4- 10’9-Т

осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А

абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,540’6-Т + 6 пс)

мультиметр цифровой Keithley 2000

абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах

10 В не более ± (3-10’5-U + 50 мкВ)

100 В не более ± (4,5-10’5-U + 0,6 мВ)

калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420

абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе 20 В не более ± (2-10-4-U + 2,4 мВ)

абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах

10 мкА не более ± (3,3-10’4-I + 0,7 нА)

100 мкА не более ± (3,1-10’4-I + 6 нА)

1 мА не более ± (3,4- 10’44 + 60 нА)

100 мА не более ± (6,(г 10’44 + 6 мкА)

абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах

10 мкА не более ± (3,340’44 + 2 нА)

100 мкА не более ± (3,140’44 + 20 нА)

1 мА не более ± (3,440’44 + 200 нА)

100 мА не более ± (6,640’44 + 20 мкА)

мультиметр Agilent 3458А

абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах

10 мкА не более ± (1040’64 + 7 пА)

100 мкА не более ± (10^ 10’64 + 0,6 нА)

1 мА не более ± (1040’64 + 4 нА)

10 мА не более ± (1040’64 + 40 нА)

1 А не более ± (1040’5 4 + 10 мкА)

калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А

абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах 5 А не более ± (840’44 + 3,5 мА)

10 А не более ± (1,540’34 + 6 мА)

калибратор универсальный Fluke 9100

абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах

320 мА не более ± (1,6-10’44 + 9,6 мкА)

3,2 А не более ± (6^ 10’44 + 118 мкА)

10,5 А не более ± (5,540’44 + 0,94 мА)

Сведения о методах измерений

Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.

Нормативные документы

ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.

ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.

ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 •IO-16 ^ 30 А.

ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии (АИИС КУЭ) ПС 110 кВ «Подгорное» Юго-Восточной ЖД - филиала ОАО «РЖД» в границах Воронежской области (далее по тексту - АИИС КУЭ) предназначена для измерения ак...
Расходомеры ультразвуковые накладные UDM 200 (далее - расходомеры) предназначены для измерений объемного и массового расхода, объема и массы звукопроводящей жидкости.
Счетчики-расходомеры электромагнитные ADMAG (модификации AXF, AXR, CA, AXW) (далее - расходомеры) предназначены для измерений объема, массового и объемного расхода электропроводящих жидкостей в системах тепло и водоснабжения, а также химической, нефт...
Default ALL-Pribors Device Photo
Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии (АИИС КУЭ) ООО «НУЭСК» (далее - АИИС КУЭ) предназначена для измерений активной и реактивной электроэнергии, а также для автоматизированного сбора, обработки, хр...
Default ALL-Pribors Device Photo
Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии (АИИС КУЭ) ОАО «Независимая энергосбытовая компания Краснодарского края» для электроснабжения городских электросетей в границах города Новороссийск (АИИС КУЭ ОА...