Датчики давления мембранно-емкостные Baratron 722
Номер в ГРСИ РФ: | 60668-15 |
---|---|
Категория: | Датчики давления |
Производитель / заявитель: | Компания "MKS Instruments", Германия |
60668-15: Описание типа СИ | Скачать | 81 КБ |
Датчики давления мембранно-емкостные Baratron 722 (далее по тексту - датчики) предназначены для измерений и преобразований абсолютного давления газов в унифицированный выходной сигнал напряжения.
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 60668-15 |
Наименование | Датчики давления мембранно-емкостные |
Модель | Baratron 722 |
Срок свидетельства (Или заводской номер) | на 5 шт. с зав.№ 021745825, 021795697, 021807339, 021844452, 021949603 |
Производитель / Заявитель
Компания "MKS Instruments, Inc. - PFMCA Products Group", США
Поверка
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Зарегистрировано поверок | 1 |
Найдено поверителей | 1 |
Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
Актуальность информации | 24.11.2024 |
Поверители
Скачать
60668-15: Описание типа СИ | Скачать | 81 КБ |
Описание типа
Назначение
Датчики давления мембранно-емкостные Baratron 722 (далее по тексту - датчики) предназначены для измерений и преобразований абсолютного давления газов в унифицированный выходной сигнал напряжения.
Описание
Принцип действия датчиков основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.
С опорной стороны мембраны находится вакуумированный объем, откачанный до остаточного давления, не превышающего разрешающей способности датчика, которое поддерживается в течение длительного времени геттером (газопоглотителем). На другую сторону мембраны подается измеряемое давление, вызывающее деформацию мембраны, которая приводит к изменению электрической емкости между мембраной и электродами, расположенными в вакуумированном объеме. Емкость включена в одно из плеч мостовой схемы, работающей в режиме с фиксированной частотой и постоянной амплитудой. Изменение емкости, вызываемое давлением, нарушает баланс мостовой схемы. При этом электрический сигнал переменного тока разбаланса моста, пропорциональный измеряемому давлению, поступает в блок обработки электрических сигналов для обеспечения температурной компенсации, усиления и преобразования в выходной сигнал напряжения постоянного тока. Для электропитания датчиков применяют независимые источники питания постоянного тока, а для контроля результатов измерений - цифровой вольтметр или аналогоцифровой преобразователь. Для управления работой датчиков и цифрового контроля результатов измерений допускается использовать контроллер давления MKS Instruments или источник питания/индикации модификации 146, 660 либо PDR производства MKS Instruments.
Внешний вид датчиков приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид датчика давления мембранно-емкостного Baratron 722
Технические характеристики
Основные технические характеристики вакуумметров приведены в таблице 1.
Таблица 1
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Диапазон показаний, Па |
от 6,66402 до 6,66^ 105 |
Диапазон измерений, Па |
от 6,66404 до 6,66^ 105 |
Пределы допускаемой относительной погрешности, % |
5 ... 0,5 |
Выходной сигнал в диапазоне показаний, В |
от 0 до 10 |
Напряжение питания постоянного тока, В |
от 13 до 32 |
Потребляемая мощность, Вт, не более |
0,3 |
Предельно допустимое давление, Па |
13,33-105 |
Материалы, контактирующие с газами |
Сплав инконель, фитинги - сталь 316SS |
Масса, кг, не более |
0,283 |
Г абаритные размеры, мм, не более - длина - диаметр корпуса |
107,2 38,1 |
Средняя наработка до метрологического отказа, ч |
15000 |
Средний срок службы, лет |
10 |
Условия эксплуатации:
• диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С от 15 до 35
• относительная влажность воздуха без конденсации влаги, %, не более 80
• атмосферное давление, кПа от 84 до 106,7
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится фотохимическим или другим способом на корпус датчика и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Датчик давления мембранно-емкостной Baratron 722 1 шт.
Соединительный кабель (для подключения к измерительному блоку) 1 шт.
Руководство по эксплуатации 1 экз.
Поверка
осуществляется по методике поверки МИ 1997-89 «Рекомендация ГСИ. Преобразователи давления измерительные. Методика поверки».
Основными средствами измерений являются:
- манометр абсолютного давления МПАК-15, диапазон измерений от 0,133 до 400 кПа, пределы допускаемой основной погрешности ±6,65 Па в диапазоне от 13,3 до 133 кПа; ±0,01 % ИВ в диапазоне от 133 до 400 кПа;
- калибратор давления DPI 610 c ВПИ 0,7 МПа, пределы допускаемой основной приведенной погрешности ±0,025 % .
Сведения о методах измерений
Сведения о методе измерений приведены в руководстве по эксплуатации на датчик давления мембранно-емкостный Baratron 722.
Нормативные документы
1 ГОСТ 22520-85 «Датчики давления, разрежения и разности давлений с электрическими аналоговыми выходными сигналами ГСП»
2 ГОСТ Р 8.840-2013 «ГСИ. Государственная поверочная схема для СИ абсолютного давления в диапазоне 1-10’1-1-106 Па».
3 Техническая документация компании «MKS Instruments, Inc.-PFMCA Products Group», США.
Рекомендации к применению
выполнение работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством РФ о техническом регулировании.