Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3

Назначение

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 (далее по тексту установка) предназначена для воспроизведения и точных измерений абсолютного давления негорючих газов.

Описание

Установка представляет собой вакуумную откачную систему с измерительной камерой, на которой установлены два эталонных вакуумметра - ионизационный AIGX и деформационно-термопарный ВДТО-3.

Принцип действия установки основан на непосредственном измерении эталонными вакуумметрами, входящими в состав установки, абсолютного давления, создаваемого форвакуумным и турбомолекулярным насосами в измерительной камере. Регулирование давления в камере установки осуществляется при помощи вакуумных клапанов и натекателя.

Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. На передней панели корпуса расположены органы управления установкой и лицевые панели электронного блока вакуумметра ВДТО-3 и контроллера TIC, который предназначен для управления турбомолекулярным насосом и отображения значений давления, измеряемого вакуумметром AIGX. К измерительной камере кроме эталонных вакуумметров подключен вакуумметр сопротивления APG, предназначенный для индикации давления в форвакуумной линии турбомолекулярного насоса, и вакуумметр тепловой CVM211 для контроля давления в измерительной камере установки. При поверке (калибровке) на установке рабочих средств измерений низких абсолютных давлений (вакуумметров) их измерительные преобразователи подключают к соответствующим клапанам измерительной камеры установки. Поверка (калибровка) вакуумметров осуществляется непосредственным сличением их показаний с показаниями эталонных вакуумметров установки: в диапазоне от 1-10-5 до 1-10-2 Па с вакуумметром AIGX, в диапазоне свыше 1-10-2 до 1-103 Па с вакуумметром ВДТО-3.

Внешний вид установки приведен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3

Технические характеристики

Диапазон измерений, Па                                                        от 1-10-5 до 1-103

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, %

в диапазоне от 1-10—5 до 1-10-2 Па

в диапазоне свыше 1-10-2 до 1-103 Па

Предельное остаточное давление, Па, не более                                          1-10—6

Электропитание установки:

• напряжение, В                                                          220±22

• частота, Гц

Потребляемая мощность, кВ^А, не более

Габаритные размеры, мм, не более:

• длина

• ширина

• высота

Масса, кг, не более

Средняя наработка до метрологического отказа, ч

Средний срок службы, лет

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °С

- относительная влажность окружающего воздуха, %

- атмосферное давление, кПа                                         от 84 до 106,7

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и формуляра, фотохимическим или иным методом на корпус установки.

Комплектность

Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3 — 1 шт.

Руководство по эксплуатации — 1 экз.

Формуляр — 1 экз.

Методика поверки МП 231-0029-2015 — 1 экз.

Поверка

осуществляется по методике поверки МП 231-0029-2015 «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Методика поверки», утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 05.02.2015 г.

Основные средства измерений, применяемые при поверке:

Вакуумметр мембранно-емкостный Баратрон, входящий в состав государственного специального эталона ГЭТ 49-80, диапазон измерений от 10-3 до 103 Па, СКО не более 0,3-10’2, НСП не более 0,340-2

Вакуумметр вязкостный с вращающимся шариком SRG, диапазон измерений от 5,0-10’5 до 100 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ±(5...1,3) % в диапазоне от 5-10’5 до 1 Па; ±10 % в диапазоне от 1 до 100 Па.

Вакуумметр ионизационный AIGX-S, диапазон измерений от 6,640-8 до 6,6 Па, пределы допускаемой относительной погрешности ±15 %.

Сведения о методах измерений

Сведения о методе измерений приведены в документе «Установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда УВЭ-3. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

1 ГОСТ 8.107-81 «Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10-8-1 -103 Па».

2 Техническая документация изготовителя.