Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов
| Номер в ГРСИ РФ: | 60717-15 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Photronics MZD GmbH", Германия |
Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов (далее - меры) предназначен для измерений критических линейных размеров элементов фотошаблонов на установках типа MueTec 2010UV, Leica LWM100UV, LMS IPRO2 и др. в режиме CD-измерений (CD - critical dimension).
Информация по Госреестру
| Основные данные | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 60717-15 | |||||||||
| Наименование | Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов | |||||||||
| Характер производства | Единичное | |||||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 289275f4-df92-d371-51d0-aea4950324bf | |||||||||
| Испытания |
|
|||||||||
Производитель / Заявитель
Фирма "Photronics MZD GmbH", Германия
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
3 года
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Найдено поверителей | |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0 %) |
| Актуальность информации | 21.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
60717-15: Описание типа
2015-60717-15.pdf
|
Скачать | 301.5 КБ | |
|
60717-15: Методика поверки
2022-mp60717-15.pdf
|
Скачать | 499.4 КБ |
Описание типа
Назначение
Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов (далее - меры) предназначен для измерений критических линейных размеров элементов фотошаблонов на установках типа MueTec 2010UV, Leica LWM100UV, LMS IPRO2 и др. в режиме CD-измерений (CD - critical dimension).
Описание
Мера (рис. 1) представляет собой пластину квадратной формы из синтетического кварца. Рабочая сторона пластины покрыта пленкой хрома с антиотражающим покрытием общей толщиной 105 нм. В пленке хрома с помощью метода электронно-лучевой литографии выгравирован рисунок. Рисунок на пластине включает пять одинаковых групп элементов, расположенных в центре и по углам пластины. Группы элементов промаркированы буквами A, B, C, D, и E. Мера имеет также буквенно-цифровую маркировку, расположенную у нижнего края пластины: (зав. № CD4) - NIIIS CD STANDARD # 4 (рис. 2), (зав. № CD2) - NIIIS CD STANDARD #2. Меры отличаются размерами: (зав. № CD4) -127x127x2,3 мм; (зав. № CD2) - 152,4x152,4x6,35 мм.
В каждую группу входят четыре одинаковых набора элементов с различной шириной линий (Рис. 3). Наборы 1(Х) и 2(Y) ориентированы по разным осям координат и представляют собой светлые (прозрачные) элементы на фоне сплошной хромовой пленки. Наборы 3(Х) и 4(Y) также ориентированы по разным осям координат, но представляют собой островки хрома на фоне большого светлого (прозрачного) окна. Каждый набор включает в себя ряд элементов (Рис. 4), размер которых возрастает слева направо или снизу вверх. Номинальный размер 8 элементов указан снизу или справа от данного элемента - 0,4; 0,5; 0,6; 0,7; 0,8; 1,1; 3,2; 8,0 мкм (Рис.4 и в Табл.1).
Меры хранятся в закрытых упаковках (футлярах) и используются по назначению в чистых помещениях. Внешний вид меры в упаковке и нанесенный массив элементов на поверхности меры приведены на рисунках 1 - 4.
место пломбировки от несанкционированного доступа *
Рисунок 1 - Внешний вид меры в упаковке. Наклейки размещаются на верхней крышке укладочного футляра
F'2)
Рисунок 2 - Вид рисунка на мере
Рисунок 3 (F2) - Наборы светлых и темных элементов различной ориентации
Рисунок 4 - Элементы с номинальными размерами
Таблица 1 - Вид и описание элементов
|
Маркировка |
Вид элемента |
Описание элементов | |||||||||
|
См. Рис. 3 |
Тон |
Номинальный размер, мкм | |||||||||
|
A |
г L_ll—J N.H |
1(Х), 2(Y) |
Светл. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 |
|
3(Х), 4(Y) |
Темн. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | ||
|
B |
1(Х), 2(Y) |
Светл. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | |
|
3(Х), 4(Y) |
Темн. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | ||
|
C |
1(Х), 2(Y) |
Светл. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | |
|
3(Х), 4(Y) |
Темн. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | ||
|
D |
1(Х), 2(Y) |
Светл. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | |
|
3(Х), 4(Y) |
Темн. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | ||
|
E |
1(Х), 2(Y) |
Светл. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | |
|
3(Х), 4(Y) |
Темн. |
0,4 |
0,5 |
0,6 |
0,7 |
0,8 |
1,1 |
3,2 |
8,0 | ||
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики мер приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон номинальных значений размеров элементов меры, мкм |
от 0,4 до 8 |
|
Допустимое отклонение размеров элементов меры от номинальных значений, нм |
± 150 |
|
Количество элементов |
160 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: |
|
- зав. № CD4 - зав. № CD2 |
127x127x2,3 152,4x152,4x6,35 |
|
Масса, г, не более: - зав. № CD4 - зав. № CD2 |
150 200 |
|
Рабочий диапазон температуры, °С |
от 18 до 25 |
|
Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % |
от 40 до 65 |
|
Атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель упаковки меры в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Комплект поставки включает:
- мера в упаковке - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации «Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Паспорт»; «Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Руководство по эксплуатации» - 1 комплект;
- методика поверки - 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 60717-15 «Инструкция. Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 30.12.2014 г.
Основные средства поверки:
- микроскопы электронные растровые - рабочие эталоны 2-го разряда в соответствии с ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСОЕИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм» (Часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона).
Сведения о методах измерений
« Набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
- документация изготовителя набора мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов - фирмы. Photronics MZD GmbH (г. Дрезден, Германия).
Смотрите также
