Приборы оптические µsurf cylinder
| Номер в ГРСИ РФ: | 61934-15 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "NanoFocus AG", Германия |
| 61934-15: Описание типа СИ | Скачать | 91.2 КБ |
Приборы оптические |isurf cylinder (далее - приборы) предназначены для трехмерных бесконтактных измерений линейных размеров.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 61934-15 |
| Наименование | Приборы оптические |
| Модель | µsurf cylinder |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 19.10.2020 |
Производитель / Заявитель
Фирма "NanoFocus AG", Германия
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 28.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 61934-15: Описание типа СИ | Скачать | 91.2 КБ |
Описание типа
Назначение
Приборы оптические psurf cylinder (далее - приборы) предназначены для трехмерных бесконтактных измерений линейных размеров.
Описание
Принцип действия приборов основан на увеличенном разрешении захвата глубины с помощью использования конфокальной диаграммы в плоскости, оптически сопряженной с фокальной плоскостью объектива.
Конструктивно приборы состоят из гранитного штатива, измерительной головки с объективами, линейного сервопривода по оси Z, светодиодного источника света, вращающейся перфорированной конфокальной диафрагмы, камеры CCD, ручного 3D-навигатора и аварийного выключателя.
С помощью 3D-навигатора осуществляется перемещение измерительной головки по линейной оси.
В качестве источника света используется светодиод, преимуществами которого являются монохроматичность генерируемого света и малая расходимость пучка света.
Свет от светодиода проходит через диск с точечными отверстиями (Multi-Pinhole-Disc, MPD) и объектив, фокусируется на поверхности образца. С помощью точечного отверстия MPD свет сокращается до фокусной области. Отраженный свет попадает на CCD-камеру. Посредством вращения диска обеспечивается полное сканирование поверхности образца без пробелов.
Результаты сканирования поверхности образца передаются на внешний компьютер.
Управление прибором осуществляется посредством внешнего компьютера с программным обеспечением, позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты, передавать результаты измерений на принтер.
Внешний вид прибора представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид прибора
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) прибора приведены в
таблице 2.
Таблица 2 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Значение |
Значение |
|
Идентиф икационное наименование ПО |
Lisoft metrology |
lisoft analysis (версии: Standard, Extended, Premium) |
Lisoft automation (опциогально) |
|
Номер версии ПО (идентификационный номер ПО) |
V 7.X |
V 6.X |
V 6.X |
|
Цифровой идентификатор ПО |
OB9EE59A |
E438AD6D |
FD40A4AD |
|
Другие идентификационные данные (алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО) |
CRC32 |
CRC32 |
CRC32 |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» по Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 3 - Метрологические и технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значения характеристик Объективы в различных исполнениях | |
|
Объектив 320 S |
Объектив 800 XS | |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY*, мкм |
от 0 до 1900 |
от 0 до 4800 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 1 до 10 | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
± 2 | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
± 0,1 | |
|
Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм |
от 1 до 250 | |
|
Габаритные размеры (Д х Г х Ш), мм |
2600 х 1450 х 800 | |
|
Масса, кг, не более - конфокaльный поверхностный дaтчик ^surf - плaтформa из мaссивного твердого гамня |
15 400 | |
|
Электропитание: - напряжение, В - частота, Гц |
230 от 50 до 60 | |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, оС - относительная влажность воздуха, %, не более |
от 15 до 30 80 (без конденсaции) | |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
8 | |
* - диапазон измерений линейных размеров можно расширить за пределы размеров одного кадра с помощью функции совмещения (Stitching).
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на лицевую панель прибора в виде наклейки.
Комплектность
Комплектность средства измерений приведена в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений__________________________________________
|
Наименование |
Количество, шт. |
|
Измерительная платформа из массивного твердого камня |
1 |
|
Измерительная головка с объективами и моторизированной осью Z |
1 |
|
Держатель эталонов |
1 |
|
Ручной 3D - навигатор |
1 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Руководство по программному обеспечению |
1 |
|
Методика поверки МП 103-251-2014 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 103-251-2014 «ГСИ. Приборы оптические psurf cylinder.
Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ» 22 января 2015 г.
Основные средства поверки:
- объект-микрометр ОМО, диапазон измерений от 0 до 1 мм, пределы допускаемой абсолютной погрешности ± 1 мкм;
- государственный эталон единицы длины 2-го разряда в диапазоне значений от 0,9 до
10 мкм по ГОСТ Р 8.763-2011 (мера рельефная, представляющая собой совокупность трех групп рельефных структур в виде пазов различной глубины);
- набор концевых мер длины плоскопараллельных, от 0,5 до 100 мм, 4 разряда, класса точности 2.
Сведения о методах измерений
Методика измерений представлена в руководстве по эксплуатации.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы изготовителя NanoFocus AG, Германия.
Смотрите также
