Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR
| Номер в ГРСИ РФ: | 63021-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Pfeiffer Vacuum GmbH", Германия |
| 63021-16: Описание типа СИ | Скачать | 140.4 КБ |
Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 63021-16 |
| Наименование | Вакуумметры мембранно-емкостные |
| Модель | CMR и CCR |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 21.01.2021 |
Производитель / Заявитель
Компания "Pfeiffer Vacuum GmbH", Германия
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 28 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 28 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 12.05.2024 |
Поверители
Скачать
| 63021-16: Описание типа СИ | Скачать | 140.4 КБ |
Описание типа
Назначение
Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Описание
Конструктивно вакуумметры состоят из измерительного мембранно-емкостного датчика, соединенного электрическим кабелем с внешним измерительным блоком.
Принцип действия датчика основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией чувствительного элемента. В качестве чувствительного элемента применяется плоская, практически газонепроницаемая мембрана из инконеля. С одной стороны мембраны находится вакуумированный объем, откачанный до остаточного давления, не превышающего 10-7 Па, которое поддерживается в течение длительного времени химическим геттером (газопоглотителем). На другую сторону мембраны подается измеряемое давление, вызывающее деформацию мембраны, которая приводит к изменению электрической емкости между мембраной и электродами, расположенными в вакуумированном объеме. Емкость включена в одно из плеч мостовой схемы, работающей в режиме с фиксированной частотой и постоянной амплитудой. Изменение емкости, вызываемое давлением, нарушает баланс мостовой схемы. При этом электрический сигнал переменного тока разбаланса моста, пропорциональный измеряемому давлению, поступает в электронный блок датчика, где преобразуется в выходной сигнал напряжения постоянного тока. Далее этот сигнал подается на внешний измерительный блок, применяемый для цифрового контроля результатов измерений.
В качестве измерительного блока в вакуумметрах CMR могут применяться контроллеры TPG 256, TPG 361, TPG 362, в вакуумметрах CCR - контроллер PR4000B. Контроллеры предназначены для обеспечения электропитания датчиков, управления работой вакуумметра и цифрового контроля результатов измерений. Допускается использование для электропитания вакуумметров независимого источника питания, при этом считывание выходного сигнала может производиться при помощи цифрового вольтметра или аналогоцифрового преобразователя, не входящих в комплект поставки вакуумметра.
Вакуумметры имеют 20 модификаций, отличающиеся моделями датчиков и контроллеров, входящих в их состав. Вакуумметры CMR 37х, CCR 37х предназначены для эксплуатации в более узком температурном диапазоне, так как датчики этих вакуумметров термостатированы: внутри рабочей камеры поддерживается постоянная температура 45 °С. Датчики вакуумметров CMR 36х, CCR 36х не термостатированы, они изготавливаются в термокомпенсированном исполнении, что позволяет применять вакуумметры CMR 36х, CCR 36х в более широком диапазоне рабочих температур.
Общий вид датчиков приведен на рисунке 1, контроллеров - на рисунках 2 и 3.
Знак поверки наносится на корпус датчика, входящего в состав вакуумметра, если это позволяют условия эксплуатации, и (или) на свидетельство о поверке.
место знака поверки
место знака поверки
Датчик CMR 37x
Датчик CMR 36x
Датчик CCR 36x
место знака поверки
место знака поверки
Датчик CCR 37x
Рисунок 1 - Датчики вакуумметров CMR и CCR
TPG 256
TPG 361
TPG 362
Рисунок 2 - Контроллеры, входящие в состав вакуумметров CMR
PR4000B
Рисунок 3 - Контроллеры, входящие в состав вакуумметров CCR
Программное обеспечение
Входящие в состав вакуумметров контроллеры имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметров. ПО выполняет следующие функции: выбор единицы измерений давления, прием, обработка и отображение измерительной информации, формирование выходных сигналов; передача данных, включение/выключение реле блокировок для выключения прибора при превышении допустимого давления. С помощью ПО осуществляется автоматическая диагностика состояния прибора, вывод на экран контроллера сообщений об ошибках и передача данных на внешнее устройство.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
ПО TPG |
ПО PR4000B |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 010100 |
не ниже 1.01 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
— |
— |
Информация о версии ПО доступна через меню контроллера: при включении вакуумметра номер версии отображается на дисплее контроллера.
Влияние встроенного ПО вакуумметров учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений вакуумметров с контроллерами TPG и PR4000B - средний в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Метрологические характеристики вакуумметров приведены в таблицах 2 - 5.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | ||
|
CMR 361, CMR 371 |
CMR 362, CMR 372 |
CMR 363, CMR 373 | |
|
Диапазон показаний, Па |
от 10 до 1-105 |
от 1 до 1 -104 |
от 10’1 до 1-103 |
|
Диапазон измерений, Па |
от 1-102 до 1-105 |
от 10 до 1-104 |
от 1 до 1 -103 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины - от НПИ* до 0,01 ВПИ**вкл. - свыше 0,01 ВПИ до ВПИ |
±(30...5) ±(5.2) | ||
|
Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа |
300 |
200 |
200 |
Таблица 3
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |
|
CMR 364, CMR 374 |
CMR 365, CMR 375 | |
|
Диапазон показаний, Па |
от 10’2 до 1-102 |
от 10’3 до 10 |
|
Диапазон измерений, Па |
от 10’1 до 1-102 |
от 10’2 до 10 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины - от НПИ* до 0,01 ВПИ** вкл. - свыше 0,01 ВПИ до ВПИ |
1(30.5) ±(5.2) | |
|
Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа |
200 |
130 |
Таблица 4
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | ||
|
CCR 361, CCR 371 |
CCR 362, CCR 372 |
CCR 363, CCR 373 | |
|
Диапазон показаний, Па |
от 13,3 до 1,33-105 |
от 1,33 до 1,33-104 |
от 1,33-10-1 до 1,33-103 |
|
Диапазон измерений, Па |
от 1,33302 до 1,33-105 |
от 13,3 до 1,33-104 |
от 1,33-до 1,33-103 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины - от НПИ* до 0,01 ВПИ** вкл. - свыше 0,01 ВПИ до ВПИ |
±(30...5) ±(5.2) | ||
|
Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа |
300 |
200 |
200 |
|
Таблица 5 | ||
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики | |
|
CCR 364, CCR 374 |
CCR 365, CCR 375 | |
|
Диапазон показаний, Па |
от 1,33-10-2 до 1,33^102 |
от 1,33-10-3 до 13,3 |
|
Диапазон измерений, Па |
от 1,33-10’1 до 1,33^102 |
от 1,33-10-2 до 13,3 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины - от НПИ* до 0,01 ВПИ** вкл. - свыше 0,01 ВПИ до ВПИ |
1(30.5) ±(5.2) | |
|
Предельное допускаемое давление (перегрузка), кПа |
200 |
130 |
|
* НПИ - нижний предел измерений * * ВПИ - верхний предел измерений Потребляемая мощность, В А, не более - датчик . CMR 36х, CCR 36х 1 . CMR 37х, CCR 37х 12 - контроллер . TPG 256 60 . TPG 361 45 . TPG 362 65 . PR4000B 65 Напряжение питания контроллеров от сети переменного тока, В 220±22 Габаритные размеры, мм, не более - датчик без электрического коннектора (диаметр x высота) . CMR 36х, CCR 36х 55x113 . CMR 37х, CCR 37х 82x141,8 - контроллер (длинах ширинах высота) . TPG 256 228,5x241x88 . TPG 361 285x70,8x128,5 . TPG 362 285x70,8x128,5 . pR4000B 227x241x88 | ||
Масса, кг, не более
|
- датчик • CMR 36х, CCR 36х • CMR 37х, CCR 37х |
0,37 0,90 |
|
- контроллер | ||
|
• TPG 256 |
2,10 | |
|
• TPG 361 • TPG 362 • PR4000B |
1,10 1,10 2,40 ISO KF DN16; CF R DN 16 | |
|
Присоединительные фланцы трубка гладкая 1/2"; 8 VCR Средняя наработка до метрологического отказа, ч 15000 Средний срок службы, лет 5 Условия эксплуатации: • диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С вакуумметров CMR 36х, CCR 36х от 5 до 50 вакуумметров CMR 37х, CCR 37х от 10 до 40 • относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более при температуре до 31 °С 80 при температуре свыше 31 °С 50 • высота над уровнем моря, м, не более 2000 • атмосферное давление, кПа от 75 до 106,7 | ||
Знак утверждения типа
наносится фотохимическим или другим способом на корпус датчика вакуумметра и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации вакуумметра.
Комплектность
|
Датчик |
- 1 шт. |
|
Контроллер |
- 1 шт. |
|
Кабель соединительный |
- 1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации вакуумметра |
- 1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации контроллера |
- 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документам МИ 140-89 «Рекомендация ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки» (для диапазонов измерений до 103 Па) и МИ 1997-89 «Рекомендация ГСИ. Преобразователи давления измерительные. Методика поверки» (для диапазонов измерений свыше 103 Па).
Основные средства поверки:
- Государственный рабочий эталон 1-го разряда единицы абсолютного давления в диапазоне 5...1300 гПа (3.1.ZZB.0084.2015), пределы допускаемой абсолютной погрешности ±10 Па;
- установка эталонная вакуумметрическая редукционная ВОУ-1, диапазон измерений 10-7 - 103 Па, относительная погрешность ±(7.. .3) %.
Сведения о методах измерений
приведены в документе «Вакуумметры мембранно-емкостные CMR и CCR. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
1 ГОСТ 27758-88 «Вакуумметры. Общие технические требования»
2 ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10-8-1 -103 Па».
3 ГОСТ Р 8.840-2013 «ГСИ. Государственная поверочная схема для СИ абсолютного давления в диапазоне 1-10—1-1-106 Па».
4 Техническая документация компании Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия.
Смотрите также
