Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
| Номер в ГРСИ РФ: | 65576-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Advantest Co.", Япония |
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 (далее по тексту - стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 65576-16 |
| Наименование | Стенд измерительный для СБИС |
| Модель | Verigy V93000 Pin Scale 1600 |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ MY04602150 |
Производитель / Заявитель
Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 65576-16: Описание типа СИ | Скачать | 313.4 КБ | |
| 65576-16: Методика поверки РТ-МП-3489-551-2016 | Скачать | 4 MБ |
Описание типа
Назначение
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 (далее по тексту - стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе.
Описание
Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока) и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнен в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливаются измерительная оснастка с объектом контроля или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда представлен на рисунке 1.
место пломбирования (краска под винт)
место размещения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 - Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, количество 8 шт., всего 1024 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальная плата прецизионного источника-измерителя напряжения и силы тока HPPMU;
- 8-ми канальная плата измерительных источников питания MS DPS (E9711A/B);
- 32-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS32 (E8013CS), количество 8 шт.
Программное обеспечение
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «низкий» по Р 50.2.077-2014 (класс риска “A” по WELMEC 7.2, Issue 5).
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
идентификационное наименование |
SmarTest |
|
идентификационный номер версии |
7.1.4.12 и выше |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
|
Наименование |
Значение |
|
1 |
2 |
|
Диапазон установки длительности вектора тестовой последовательности, нс |
от 2,5 до 31250 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
±15-10'6-Т |
|
Диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс |
от минус 4-Т до плюс 12^Т |
|
Крайние значения временных меток, мкс |
минус 6,3; плюс 19 |
|
Разрешение временных меток, пс |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8, пс |
±150 |
|
Максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс | |
|
при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,6 |
|
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,7 |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,8 |
|
Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс | |
|
при амплитуде 1,0 В |
0,7 |
|
при амплитуде 1,8 В |
0,8 |
|
при амплитуде 3,0 В |
0,9 |
|
1 |
2 |
|
Максимальная длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
9 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
250 |
|
Максимальная длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
10,5 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
30 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В |
от минус 1,5 до плюс 6,5 |
|
Разрешение напряжения драйвера, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ |
±5 |
|
Выходное сопротивление драйвера, Ом |
от 47,5 до 52,5 |
|
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В | |
|
диапазон VIL/VIH |
от 0,0 до 6,5 |
|
диапазон VHH |
от 6,0 до 13,4 |
|
Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ |
±15 |
|
Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В |
от 45 до 55 не более 10 |
|
Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В |
от минус 1,5 до плюс 6,5 |
|
Разрешение компаратора, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ |
±15 |
|
Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В |
от минус 3,0 до плюс 13,4 |
|
Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ |
±20 ±50 |
|
при уровнях напряжения от 0 до 8 В | |
|
при уровнях напряжения от минус 3,0 до плюс 13,4 В | |
|
Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В |
от минус 1,5 до плюс 6,5 |
|
Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В |
±1,0 |
|
Разрешение дифференциального компаратора, мВ |
1,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ |
±15 |
|
Диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА |
±25 |
|
Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА |
12,5 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА |
±(140-2 •I + I0), I0 = 75 мкА |
|
Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | |
|
при силе тока в пределах ±1 мА |
от минус 1,5 до плюс 6,5 |
|
при силе тока в пределах ±25 мА |
от минус 1,0 до плюс 5,5 |
|
1 |
2 | ||||
|
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В | |||||
|
при силе тока в пределах ±1 мА |
от минус 2,0 до плюс 6,5 | ||||
|
при силе тока в пределах ±40 мА |
от минус 2,0 до плюс 5,75 | ||||
|
Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ | |||||
|
воспроизведение напряжения |
200 | ||||
|
измерение напряжения |
75 | ||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения AU источника-измерителя PMU определяются по формуле AU = ±(Uo + PR), где I - сила тока нагрузки, мА; R = 1 Ом - сопротивление нагрузки; U0 = 3 мВ для воспроизведения напряжения; U0 = 2 мВ для измерения напряжения от 0 до 3,3 В; Uo = 4 мВ для измерения напряжения от минус 2,0 до 0 и от 3,3 до 6,5 В | |||||
|
Верхние пределы воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА | ||||
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-и на пределе 2 мкА на пределе 10 мкА на пределе 100 мкА |
змерителем PMU 1 нА ......5 нА........................................................................................................................ 50 нА | ||||
|
на пределе 1 мА |
0,5 мкА | ||||
|
на пределе 40 мА |
20 мкА | ||||
|
П и( |
ределы допускаемой абсолютн точником-измерителем PMU где I - сила тока, мкА; зн верхний предел |
ой погрешности воспроизведения и измерения силы тока AI определяются по формуле A I = ±(5П0-3 •I + I0), ачения Io приведены в таблице ниже: значения I0, мкА | |||
|
воспроизведение силы тока 0,04 0,1 0,5 5 50 |
измерение силы тока | ||||
|
2 мкА |
0,01 | ||||
|
10 мкА |
0,05 | ||||
|
100 мкА 1 мА 40 мА |
0,2 | ||||
|
1,25 | |||||
|
50 | |||||
|
Диапазон измерения напряжения АЦП BADC, В | |||||
|
в стандартном режиме |
от минус 3,0 до плюс 8,0 | ||||
|
в широкодиапазонном режиме |
от минус 6,0 до плюс 13,4 | ||||
|
Входное сопротивление АЦП BADC, не менее, МОм |
100 | ||||
|
Разрешение АЦП BADC, мкВ | |||||
|
в стандартном режиме |
75 | ||||
|
в широкодиапазонном режиме |
150 | ||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC, мВ | |||||
|
в стандартном режиме |
±1 | ||||
|
в широкодиапазонном режиме |
±10 | ||||
|
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем HPPMU, В | |||||
|
при подключении через плату PS1600 |
от минус 1,5 до плюс 6 | ||||
|
при подключении через разъем UTILITY pogo block |
от минус 5 до плюс 8 | ||||
|
Разрешение по напряжению HPPMU, мкВ |
250 | ||||
|
1 |
2 | |||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ | ||||
|
при подключении через плату PS1600 |
±(Uo + I-R) I - сила тока нагрузки, мА Uo = 2 мВ; R = 1 Ом | |||
|
при подключении через разъем UTILITY pogo block |
±2 | |||
|
Верхние пределы воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА | |||
|
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU | ||||
|
на пределе 5 мкА |
250 пА | |||
|
на пределе 200 мкА ........ на пределе 5 мА на пределе 200 мА |
6 нА .....250 нА........................................................................................................... 6 мкА | |||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU определяются по формуле A I = ±(1 •Ю-3 -I + I0), где I - сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже: | ||||
|
верхний предел | значения Iq, мкА | ||||
|
5 мкА через плату PS1600 i 0,05 5 мкА через разъем UTILITY pogo block 1 0,01 200 мкА | 0,2 | ||||
|
5 мА |
10 | |||
|
200 мА |
200 | |||
|
Диапазон воспроизведения напряжения измерительным источником питания MS DPS, В |
от минус 8 до плюс 8 | |||
|
Разрешение воспроизведения напряжения MS DPS, мкВ |
300 | |||
|
Максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режиме, А | ||||
|
при воспроизведении напряжения от 0 до 7 В |
от минус 1,5 до плюс 8,0 | |||
|
при воспроизведении напряжения от 7 до 8 В |
от минус 1,5 до плюс 4,0 | |||
|
при воспроизведении напряжения от минус 8 до 0 В |
от минус 4,0 до плюс 1,5 | |||
|
Максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-ми канальном режиме, А | ||||
|
при воспроизведении напряжения от 0 до 7 В |
от минус 1,5 до плюс 4,0 | |||
|
при воспроизведении напряжения от 7 до 8 В |
от минус 1,5 до плюс 2,0 | |||
|
при воспроизведении напряжения от минус 8 до 0 В |
от минус 2,0 до плюс 1,5 | |||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения AU измерительным источником питания MS DPS определяются по формуле AU = ±(Uo + UR), где I - сила тока нагрузки, мА; R = 4 мОм - сопротивление нагрузки; U0 = 4 мВ в 4-х канальном режиме; U0 = 2 мВ в 8-ми канальном режиме | ||||
|
Верхние пределы измерения силы тока измерительным источником питания MS DPS | ||||
|
в 4-х канальном режиме |
0,1; 1; 10 мА; 0,3; 8 А | |||
|
в 8-ми канальном режиме |
0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А | |||
|
Разрешение измерения силы тока MS DPS, мкА | ||||
|
на пределе 10 мкА (только 8-ми канальный режим) |
0,0005 | |||
|
на пределе 100 мкА на пределе 1 мА на пределе 10 мА |
0,005 0,05 0,5 | |||
|
на пределе 0,3 А |
15 | |||
|
на пределе 8 А (режим 4 канала), 4 А (режим 8 каналов) |
150 | |||
|
1 |
2 | |||||
|
Преде источ |
лы допускаемой абсолютной погрешности измерени ником питания MS DPS определяются по формуле A I = ±(1-10-3 •I + I0), где I - сила тока, мкА; значения I0 приведены в табз предел измерения 10 мкА (только 8-ми канальный режим) |
я силы тока AI измерительн тице ниже: значения I0, мкА 0,01 |
1ым | |||
|
100 мкА |
0,1 | |||||
|
1 мА |
1,0 | |||||
|
10 мА 0,3 А 4 А (8-ми канальный режим), |
10 300 10000 | |||||
|
8 А (4-х канальный режим) |
20000 | |||||
|
Диапазон воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, В |
от 0 до 7 | |||||
|
Разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32, мкВ |
200 | |||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, мВ |
±3 | |||||
|
Максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32, А | ||||||
|
при воспроизведении напряжения до 3 В |
1,5 | |||||
|
при воспроизведении напряжения до 3,6 В |
1,2 | |||||
|
при воспроизведении напряжения до 7 В |
0,5 | |||||
|
Верхние пределы измерения силы тока DCS DPS32 |
100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А | |||||
|
Разрешение измерения силы тока DCS DPS32 | ||||||
|
на пределе 100 мкА |
5 нА | |||||
|
на пределе 2 мА |
100 нА | |||||
|
на пределе 50 мА |
2,5 мкА | |||||
|
на пределе 1,5 А |
100 мкА | |||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока AI измерительным источником питания DCS DPS32 определяются по формуле A I = ±(1 •IO-3 -I + I0), где I - сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже: | ||||||
|
предел измерения |
значения I0, мкА | |||||
|
100 мкА |
0,1 | |||||
|
2 мА |
2,0 | |||||
|
50 мА |
50 | |||||
|
1,5 А |
1590 | |||||
|
Г абаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм | ||||||
|
головной блок с манипулятором |
1850 х 880 х 1920 | |||||
|
установка водяного охлаждения |
440 х 240 х 650 | |||||
|
Масса головного блока с манипулятором, не более, кг |
610 | |||||
|
Масса установки водяного охлаждения, не более, кг |
50 | |||||
|
Напряжение питания (сеть однофазного тока частотой 50 Гц), В |
от 200 до 240 | |||||
|
Потребляемая мощность, не более, кВ^А |
7 | |||||
|
Температура окружающей среды в рабочих условиях, °С |
от 20 до 30 | |||||
|
Относительная влажность при температуре 30 °С, не более, % |
70 | |||||
|
Электромагнитная совместимость |
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014 | |||||
|
Безопасность |
ГОСТ IEC 61010-1-2014 | |||||
Знак утверждения типа
наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Комплектность стенда представлена в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность стенда
|
Наименование |
Обозначение |
Кол-во |
|
Измерительный головной блок |
E8015A зав. № MY04602150 |
1 шт. |
|
Манипулятор |
Е6979иС зав. № J18-0001-0086 |
1 шт. |
|
Установка водяного охлаждения |
E2760FU зав. № 147551 |
1 шт. |
|
Программа управляющая |
SmarTest |
1 шт. |
|
Компьютер |
HP Z620 |
1 шт. |
|
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
РТ-МП-3489-551-2016 |
1 шт. |
|
Программа для поверки |
PR POV 968 |
1 шт. |
|
Комплект оснастки для поверки в составе | ||
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) |
1 шт. |
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.253 |
1 шт. |
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.254 (Вер.1) |
1 шт. |
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.256 (Вер.1) |
1 шт. |
|
плата коммутационная |
E7010E |
1 шт. |
|
шлюз LAN/GPIB |
Agilent E5810B |
1 шт. |
Поверка
осуществляется по документу РТ-МП-3489-551-2016 «Стенд измерительный для СБИС Verigy
V93000 Pin Scale 1600», утвержденному ФБУ «Ростест-Москва» 05.09.2016 г.
Основные средства поверки:
- частотомер электронно-счетный Agilent 53132A с опциями 012 и 030 (Госреестр № 26211-03);
- осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А (Госреестр № 53104-13);
- мультиметр цифровой Keithley 2000 (Госреестр № 25787-08);
- калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 (Госреестр № 25789-08);
- калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А (Госреестр № 49334-12);
- мультиметр Agilent 3458А (Госреестр № 25900-03);
- калибратор универсальный Fluke 9100 (Госреестр № 25985-03).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на панель корпуса измерительного головного блока.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
1 ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
2 ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
3 ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 • 10-16 ^ 30 А.
4 ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
Смотрите также
