67650-17: Установка для анализа состава монокристаллических пленок - Производители, поставщики и поверители

Установка для анализа состава монокристаллических пленок

Номер в ГРСИ РФ: 67650-17
Производитель / заявитель: ЗАО "НИИ Материаловедения", г.Москва
Скачать
67650-17: Описание типа СИ Скачать 598.3 КБ
67650-17: Методика поверки МП 304-001-2017 Скачать 3.9 MБ
Нет данных о поставщике
Установка для анализа состава монокристаллических пленок поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Установка для анализа состава монокристаллических пленок, заводской номер НГМК.430207.002 (далее - установка) предназначена для определения отклонения состава эпитаксиальной пленки от состава, задаваемого монокристаллической подложкой с заданным значением параметра решетки подложки.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 67650-17
Наименование Установка для анализа состава монокристаллических пленок
Срок свидетельства (Или заводской номер) зав.№ НГМК.430207.002
Производитель / Заявитель

ЗАО "НИИ Материаловедения", г.Москва

Поверка

Зарегистрировано поверок 5
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 5 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

67650-17: Описание типа СИ Скачать 598.3 КБ
67650-17: Методика поверки МП 304-001-2017 Скачать 3.9 MБ

Описание типа

Назначение

Установка для анализа состава монокристаллических пленок, заводской номер НГМК.430207.002 (далее - установка) предназначена для определения отклонения состава эпитаксиальной пленки от состава, задаваемого монокристаллической подложкой с заданным значением параметра решетки подложки.

Описание

Работа установки основана на том, что состав эпитаксиальной пленки (часть структуры, состоящей из подложки и эпитаксиальной пленки), изменяется согласно закону Вегарда. Согласно закону Вегарда имеется линейная зависимость параметра решетки от концентрации компонентов эпитаксиальных пленок, выраженной в атомных процентах. Достижение необходимого состава эпитаксиальных пленок определяется по результатам измерения и анализа величины рассогласования между параметрами решётки подложки и пленки. Состав пленки при измерениях на установке характеризуется относительной величиной рассогласования параметров по отношению к величине параметров решетки подложки.

При измерениях параметра решетки состава пленки на установке эта структурная характеристика устанавливается на основе измерений распределения интенсивности рентгеновских лучей, отраженных от анализируемого вещества, и последующего анализа профилей брэгговских отражений. Анализ профилей брэгговских отражений позволяет провести определение угловых позиций максимумов брэгговских отражений и, используя закон Брэгга, провести прямой расчет параметров кристаллической решетки эпитаксиальной пленки и подложки.

Установка представляет собой измерительную систему, состоящую из автоматизированного набора компонентов в комплектации, предназначенной для анализа состава монокристаллических пленок. Установка состоит из источника рентгеновского излучения (рентгеновской трубки), с высоковольтным источником питания ПУР 5/50, базовой платформы, приставки ПДП с Бартельс-монохроматором, модернизированного гониометра ГУР-8 и системы щелей для ограничения пучка, детектора, блока электроники и компьютера для управления установкой и последующей обработки данных и расчета параметров кристаллической решетки компонент структуры пленка-подложка. Контроль результатов измерений обеспечиваются поверкой стандартных образцов монокристаллической подложки гадолиний-галлиевого граната (ГГГ) с использованием ГСО ПРФ-4.

Общий вид установки показан на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид установки для анализа состава монокристаллических пленок

Рисунок 2 - Места нанесения краткого наименования модели, заводского номера, знака утверждения типа, знака поверки

Рисунок 3 - Место нанесения краткого наименования модели, заводского номера, знака утверждения типа, знака поверки

Знак поверки наносится на переднюю стенку установки рядом с наклейкой знака утверждения типа, как показано на рисунках 2, 3.

При работе установки обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях напряжения и тока на рентгеновской трубке мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности установки не превышает 1мкЗв\ч. Установка оснащена системой безопасности, препятствующей проникновению оператора внутрь прибора при работающем источнике. Предусмотрено специальное пломбирование.

Программное обеспечение

Используется комплекс программ для управления измерениями и для расчетов величины рассогласования параметров кристаллических решеток эпитаксиального слоя и подложки. Управление установкой, юстировка, сбор первичных данных, их обработка и вычисление состава структуры (абсолютного и относительного рассогласования параметров решетки) анализируемых образцов осуществляются с помощью программного обеспечения:

Управление установкой осуществляют с помощью специализированного программного обеспечения «(ПО) RDPW» фирмы ИТЦ «Радикон». Расчет результатов производится в дополнительном ПО «Open Office Calc».

Уровень защиты ПО RDPW от непреднамеренных и преднамеренных изменений -«средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Уровень защиты ПО Open Office Calc от непреднамеренных и преднамеренных изменений -«низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО.

Идентификационные данные (признаки)

Значения

Наименование ПО

специализированное ПО «(ПО) RDPW»

дополнительное ПО Open Office Calc

Идентификационное наименование

ПО

RDPW

Open Office Calc

Номер версии

4.3.0.68

4.1.1

Цифровой идентификатор (контрольная сумма) (По ГОСТ Р 34.11.94)

a48954d7876b70f7b27cb0 b052b6c098

215048ae5bc6acebb8c14f4c

6ba6c19f

Алгоритм получения цифрового идентификатора

MD5

MD5

Технические характеристики

Метрологические характеристики установки представлены в таблице 2.

Таблица 2 - Метрологические характеристики установки

Диапазон измерений составов эпитаксиальных структур относительно состава (параметра кристаллической решетки) подложки, %

от -0,06 до +0,06

Диапазоны сканирования для регистрации отражённого излучения по шкале углов «20», градус:

от 10 до 65

от 100 до 169

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения относительной величины рассогласования параметров кристаллических решёток эпитаксиальных структур, %

±0,02

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров кристаллической решетки (размеров элементарной ячейки) в диапазоне от 0,01 до 0,20 нм, нм

±0,0002

Систематическая (аппаратурная) погрешность определения параметра кристаллической решетки, нм

±0,00005

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) относительной величины рассогласования параметров кристаллической решётки, %

0,007

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) погрешности определения параметра кристаллической решётки эпитаксиальных пленок, нм

0,00008

Среднеквадратичное отклонение случайной составляющей (СКО) погрешности определения параметров кристаллической решетки, нм

0,00005

Предельные значения среднеквадратических отклонений случайной составляющей (СКО) погрешности определения максимумов угловых позиций брэгговских отражений по шкале 20, градус:

в диапазоне от 10 до 65 градусов

в диапазоне от 100 до 169 градус

0,005

0,006

Основные технические характеристики установки представлены в таблице 3.

Таблица 3 - Технические характеристики установки

Дискретность угловых датчиков по d и 2d (на осях червяков), градусов

0,0005

Диапазон интенсивностей, регистрируемых детектором, имп/сек

от 1 до 500000

Экспозиция в режиме счёта импульсов, с

от 0,1 до 500

Время прогрева, мин, не более

5

Время непрерывной работы

не ограничено

Напряжение электрического питания, В Частота, Гц

от 200 до 240 (50±1)

Потребляемая мощность блока управления, Вт, не более

170

Масса блока управления, кг, не более

14

Масса сцинтилляционного детектора, кг, не более

0,7

Г абариты устройства ПДП в сборе с гониометром и трубкой на плите (ДхШхВ), мм, не более

1110x845x813

Габариты блока управления, (ДхШхВ), мм, не более

482x263x310

Г абариты сцинтилляционного детектора, мм

195x97x45

Автоматическое перекрывание рентгеновского излучения заслонкой при открывании защитного кабинета

есть

Световая индикация наличия высокого напряжения

есть

Световая индикация открытия заслонки

есть

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Паспорта методом компьютерной графики и на переднюю стенку гониометра, наклейкой, с указанием модели установки заводского номера и даты выпуска, см. рисунок 2, 3.

Комплектность

Комплектность установки для анализа состава монокристаллических пленок зав. № НГМК.430207.002 указана в таблицах 4, 5.

Таблица 4 - Комплектность поставки

Наименование изделия или составной части

Количество, шт.

Примечание

Источник излучения

1

Модернизированный гониометр ГУР-8

1

Бартельс-монохроматор для использования источника с медным анодом

1

для CuKa1

Система водяного охлаждения с датчиком протока воды

1

Приставка-держатель пластин 5-осная

1

Кронштейн детектора

1

Кронштейн коллиматора и монохроматора

1

Опора кожуха трубки

1

Сцинтилляционный детектор SCSD-4.01

1

Блок управления

1

Сетевой фильтр-разветвитель

1

Программное обеспечение RDPW/DSO-2 и макросы

1

Соединительные кабели

-

комплект

Наименование изделия или составной части

Количество, шт.

Примечание

Диафрагмы для Бартельс-монохроматора, мм: 0,05

2

0,1

2

0,5

2

1,0

3

3,0

2

Адаптер для Бартельс-монохроматора

1

Прорезные кристаллы-монохроматоры

2

Ge(220) симм.

Комплект рабочей документации:

- Руководство по эксплуатации НГМК.430207.002РЭ с приложениями.

- Инструкция по использованию программного обеспечения

- Методика измерений рассогласования параметров кристаллических решеток эпитаксиальных пленок железо-иттриевого граната и подложек гадолиний-галлиевого граната на установке для анализа состава монокристаллических пленок зав. №НГМК.430207.002

Комплект инструментов: - разводной ключ

1

- шестигранные ключи

-

комплект

Запасные части и вспомогательные принадлежности: - держатель пластин

2

- кольцевой держатель (шайба-переходник)

1

- прижим для пластин

3

- индекс

1

запасной

- плата расширения

1

-персональный компьютер

1

Таблица 5 - Список средств метрологического контроля

Наименование

Кол-во

Средства метрологического обеспечения:

Комплект стандартных образцов дифракционных свойств, используемых при поверке и контроля определения межугловых позиций в различных диапазонах углов включает***:

- СО для контроля угловых позиций и параметров решетки монокристаллических пластин -ГСО ПРФ4 (ПРФ3)

- комплект СО для определения диапазона углов ПРМ-17(А12О3), ПРМ-19 (ГГГ))

1 шт.

1 (один) комплект

Примечание:*** возможно использование других типов стандартных образцов дифракционных свойств утвержденного типа, обеспечивающих определение состава с теми же уровнями погрешности результатов измерений рассогласования параметров решетки.

Дополнительные стандартные образцы и меры могут быть использованы для более полного метрологического обеспечения, например, с учетом атомного номера и межугловых позиций анализируемых веществ, длины волны используемого излучения и при дополнительных применениях.

Поверка

осуществляется по документу МП 304-001-2017 «Установка для анализа состава монокристаллических плёнок, зав. № НГМК.430207.002. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» и АО «НИЦПВ» 14.03.2017 г.

Основные средства поверки:

- стандартный образец: ГСО 10828-2016 ПРФ-4 (ПРФ-3)

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на установку, как показано на рисунках 2, 3.

Сведения о методах измерений

«Методика измерений рассогласования параметров кристаллических решеток эпитаксиальных пленок железо-иттриевого граната и подложек гадолиний-галлиевого граната на установке для анализа состава монокристаллических пленок зав. № НГМК.430207.002.» № НГМК.012.144 номер в Федеральном реестре ФР.1.31.2016.25414

Нормативные документы

Основные санитарные правила обеспечения радиационной безопасности СП 2.6.1.2612-10

Нормы радиационной безопасности НРБ-99/2009

Санитарные правила и нормативы СанПиН 2.6.1.2523-09

Смотрите также

67651-17
СЗ-1 и СЗ-2 Сигнализаторы загазованности
ООО НПО "ГазЭксперт", г.Саратов
Сигнализаторы загазованности СЗ-1 и СЗ-2 (далее - сигнализаторы) предназначены для непрерывного автоматического контроля содержания природного газа и оксида углерода в воздухе помещений с газогорелочными приборами и прочими устройствами сжигания прир...
67652-17
СВИРЕЛЬ-РМ Расходомеры жидких сред
ОАО "Теплоприбор", г.Рязань
Расходомеры жидких сред СВИРЕЛЬ-РМ (далее - расходомеры) предназначены для измерения объемного расхода дистиллированной воды по ГОСТ 6709-72 (далее - измеряемая среда) в трубопроводах и передачи результатов измерений в виде аналогового и цифрового вы...
Default ALL-Pribors Device Photo
Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии «Ярославская бумага» (далее - АИИС КУЭ) предназначена для измерения активной и реактивной электроэнергии, сбора, обработки, хранения и передачи полученной инфор...
67654-17
KOERZIMAT 1.097 HсJ Коэрцитиметр
Фирма "Institut Dr.Foerster GmbH & Co. KG", Германия
Коэрцитиметр KOERZIMAT 1.097 Hd предназначен для измерений коэрцитивной силы образцов магнитомягких и магнитотвердых материалов в разомкнутой магнитной цепи.
Default ALL-Pribors Device Photo
Система измерительная АСУТП установки производства водорода комплекса глубокой переработки тяжелых остатков ОАО «ТАИФ-НК» (далее - ИС) предназначена для измерений параметров технологического процесса (давления, перепада давления, объемного расхода, т...