Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F
| Номер в ГРСИ РФ: | 68812-17 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Компания "Keysight Technologies, Inc.", США |
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F (далее по тексту -установка) предназначена для измерения и воспроизведения параметров (сила постоянного тока, напряжение постоянного тока) на полупроводниковых пластинах.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Номер по Госреестру | 68812-17 | ||||||
| Наименование | Установка контроля параметров транзисторных структур | ||||||
| Модель | Agilent 4082F | ||||||
| Характер производства | Единичное | ||||||
| Идентификатор записи ФИФ ОЕИ | 18bead5e-e65a-b3a1-358a-1ed79411d46f | ||||||
| Испытания |
|
||||||
Производитель / Заявитель
Фирма "Keysight Technologies International Japan, Ltd.", ЯПОНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки |
1 год
|
| Зарегистрировано поверок | |
| Актуальность информации | 14.12.2025 |
Поверители
Скачать
|
68812-17: Описание типа
2017-68812-17.pdf
|
Скачать | 182.2 КБ | |
|
68812-17: Методика поверки
2017-mp68812-17.pdf
|
Скачать | 726.5 КБ |
Описание типа
Назначение
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F (далее по тексту -установка) предназначена для измерения и воспроизведения параметров (сила постоянного тока, напряжение постоянного тока) на полупроводниковых пластинах.
Описание
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F состоит из измерительной стойки и тестового блока (test head), который контактируется к зондовой станции Accretech UF2000. Измерительная стойка состоит из анализатора спектра Agilent E4411B, г.р. № 23670-08, измерителя LCR мод. E4980A, г.р. № 40676-09, цифрового мультиметра 3458A, г.р. № 25900-03, и имеет восемь контрольных блоков питания: 6 блоков со средней мощностью и 2 блока с высокой мощностью (MPSMU или HPSMU). Каждый блок является самокалибрующимся и имеет возможность программной настройки как на воспроизведение силы и напряжения постоянного тока, так и на одновременное измерение силы и напряжения постоянного тока.
Внешний вид установки, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунке 1.
KEVSM3HI
Место пломбирования
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Внешний вид установки, места пломбирования и нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Программное обеспечение (далее - ПО) выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств установки, а также обработку и документирование измерительной информации.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Характеристики ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Agilent SPECS for Linux |
|
Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже |
3.x |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с рекомендациями Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики установки приведены в таблицах 2-3.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Воспроизведение и измерение напряжения постоянного тока при использовании блоков MPSMU или HPSMU | |
|
Диапазоны измерений/воспроизведений напряжения постоянного тока, В |
от -2 до +2 от -20 до +20 от -40 до +40 от -100 до +100 от -200 до +2001) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения/воспроизведения напряжения постоянного тока, В: - для диапазона от -2 до +2 В - для диапазона от -20 до +20 В - для диапазона от -40 до +40 В - для диапазона от -100 до +100 В - для диапазона от -200 до +200 В |
±0,0005^ U ±0,002 ±0,0005^ U ±0,02 ±0,0005^ U ±0,04 ±0,0005^ U ±0,8 ±0,0005^ U ±0,2 |
|
Воспроизведение и измерение силы постоянного тока при использовании MPSMU, подключенного к портам SMU1 и SMU2 | |
|
Диапазоны измерения силы постоянного тока, мА |
от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 от -0,001 до +0,001 от -0,0001 до +0,0001 от -0,00001 до +0,00001 от -0,000001 до +0,000001 |
Окончание таблицы 2
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазоны воспроизведения силы постоянного тока, мА |
от -100 до +100 от -10 до +10 от -1 до +1 от -0,1 до +0,1 от -0,01 до +0,01 от -0,001 до +0,001 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока, мА: для диапазона от -100 до +100 мА для диапазона от -10 до +10 мА для диапазона от -1 до +1 мА для диапазона от -0,1 до +0,1 мА для диапазона от -0,01 до +0,01 мА для диапазона от -0,001 до +0,001 мА для диапазона от -0,0001 до +0,0001 мА для диапазона от -0,00001 до +0,00001 мА для диапазона от -0,000001 до +0,000001 мА |
±0,001- 1изм ±0,3 ±0,001- 1изм ±0,03 ±0,001- 1изм ±0,003 ±0,001- 1изм ±0,0003 ±0,001- 1изм ±0,00003 ±0,002^ 1изм ±0,000003 ±0,002^ 1изм ±0,0000003 ±0,01- 1изм ±0,00000005 ±0,01- 1изм ±0,000000005 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: для диапазона от -100 до +100 мА для диапазона от -10 до +10 мА для диапазона от -1 до +1 мА для диапазона от -0,1 до +0,1 мА для диапазона от -0,01 до +0,01 мА для диапазона от -0,001 до +0,001 мА |
±0,0015- 1воспр ±0,3 ±0,0015- 1воспр ±0,03 ±0,0015- 1воспр ±0,003 ±0,0015- 1воспр ±0,0003 ±0,0015- 1воспр ±0,00003 ±0,003^ 1воспр ±0,000003 |
|
Примечания 1) при использовании блоков HPSMU; U - измеренное/воспроизводимое значение напряжения постоянного тока; 1изм - измеренное значение силы постоянного тока; 1воспр - воспроизводимое значение силы постоянного тока. | |
Таблица 3 - Технические характеристики установки
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Габаритные размеры, (длинахширинахвысота), мм, не более: - измерительная стойка - зондовая станция Accretech UF2000 |
600х905х1800 1142x1229x933 |
|
Масса, кг, не более: - измерительная стойка - зондовая станция Accretech UF2000 |
274 800 |
|
Параметры сети питания переменного тока: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
от 180 до 252 от 48 до 63 |
|
Сила потребляемого переменного тока, А, не более |
30 |
|
Рабочие условия измерений: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха без конденсации % |
от 15 до 30 от 15 до 70 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
150000 |
Знак утверждения типа
наносится на панель корпуса установки в виде наклейки и на титульный лист паспорта типографским способом.
Комплектность
Комплектность установки представлена в таблице 4.
Таблица 4
|
Наименование |
Количество |
Примечание |
|
Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F, зав. № JP53450165 |
1 шт. |
- |
|
Паспорт |
1 экз. |
- |
|
Методика поверки |
1 экз. |
- |
Поверка
осуществляется по документу МП 68812-17 «Установка контроля параметров транзисторных структур Agilent 4082F. Методика поверки», утвержденному ООО «ИЦРМ» 23.06.2017 г.
Таблица 5 - Основные средства поверки
|
Наименование СИ |
Регистрационный номер в Федеральном информационном фонде |
|
Мультиметр 3458А |
25900-03 |
|
Калибратор универсальный 9100 |
25985-09 |
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится в свидетельство о поверке или в паспорт.
Сведения о методах измерений
отсутствуют.
Нормативные документы
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
ГОСТ 20398.0-83 Транзисторы полевые. Общие требования при измерении электрических параметров
ГОСТ 24461-80 Приборы полупроводниковые силовые. Методы измерений и испытаний
Смотрите также
