Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые MSE
| Номер в ГРСИ РФ: | 68915-17 |
|---|---|
| Категория: | Спектрометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Shimadzu", Япония |
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии MSE (далее по тексту -течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих гелий.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 68915-17 |
| Наименование | Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые |
| Модель | MSE |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 23.10.2022 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Shimadzu Corporation", Япония
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 25 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 25 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 19.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 68915-17: Описание типа СИ | Скачать | 113.2 КБ | |
| 68915-17: Методика поверки МП 231-0043-2017 | Скачать | 438.7 КБ |
Описание типа
Назначение
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии MSE (далее по тексту -течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием или смесью газов, содержащих гелий.
Описание
Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система в сборе, высоковакуумный насос. Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе массы гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала. При выборе другой массы, изменяется проводимость ионного фильтра на выбранный газ. Течеискатели настроены на регистрацию изотопа гелия 4He.
Управление работой течеискателя и цифровой контроль результатов измерений осуществляется с помощью панели управления, состоящей из ЖК-дисплея и пленочной клавиатуры.
Течеискатели могут применяться для обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
В течеискателях предусмотрены режимы измерений по входу: «Точный тест», «Грубый тест» переключение между которыми осуществляется как в ручном, так и в автоматическом режиме. Также в течеискателях реализован режим поиска течей способом щупа.
Течеискатели имеют 5 модификаций, отличающиеся конструктивным исполнением, массой, габаритными размерами, скоростью форвакуумной откачки насосов, входящих в состав вакуумной системы течеискателя.
Модификация MSE-2200S является базовой. Модификация MSE-2203S дополнительно оснащена внешним форвакуумным насосом и тележкой. Модификация MSE-3200S и MSE-4200S могут быть дополнительно дооснащены форвакуумными насосами. Модификация MSE-2201S оснащена встроенным сухим форвакуумным насосом.
Пломбировка корпуса течеискателя не предусмотрена.
Внешний вид и место нанесения знака поверки течеискателей приведены на рисунках 1 - 3.
Место знака
поверки .
Рисунок 2 - Внешний вид течеискателей модификаций MSE-2200S и MSE-2201S
Рисунок 1 - Внешний вид течеискателя модификации MSE-2203S
Рисунок 3 - Внешний вид течеискателей модификаций MSE-3200S и MSE-4200S
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение её гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО служит для управления работой течеискателя. ПО выполняет следующие функции:
- управление работой вакуумной системы течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов) и масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
- прием и обработка измерительной информации от модуля масс-спектрометрического анализатора;
- формирование выходных сигналов, передача их на ЖК-дисплей течеискателя;
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
Идентификационные данные встроенного ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные встроенного ПО
|
Идентификационные данные (признаки) ПО |
Значение | ||||
|
Модификация течеискателя |
MSE-2200S |
MSE-2201S |
MSE-2203S |
MSE-3200S |
MSE-4200S |
|
Идентификационное наименование ПО |
DLS-2000S | ||||
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 5.00A1 | ||||
Информация о версии ПО доступна через меню прибора: номер версии отображается на дисплее течеискателя.
Влияние встроенного ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик. Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики течеискателей
|
Наименование характеристики |
Значения | ||||
|
MSE-2200S |
MSE-2201S |
MSE-2203S |
MSE-3200S |
MSE-4200S | |
|
Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, 1 кгм3/с* |
от 140-12 до 140-2 | ||||
|
Диапазон показаний потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от 1 • 10-13 до 1 | ||||
|
Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе способом щупа, Па^м3/с |
от 1 •Ю-8 до 1 | ||||
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины (где Онпи -значение нижнего предела измерений, С)и;м - значение измеренного потока, Па^м3/с) - в режиме «Точный тест» - в режиме «Грубый тест» |
±(0,30 + Рнпи/Ризм>100 ±50 | ||||
|
* Производная единица величины потока газа в вакууме Па^м3/с образована в соответствии с п.5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа. | |||||
Таблица 3 - Основные технические характеристики течеискателей
|
Наименование характеристики |
Значения | ||||
|
MSE-2200S |
MSE-2201S |
MSE-2203S |
MSE-3200S |
MSE-4200S | |
|
Время установления выходного сигнала, мин, не более |
10 | ||||
|
Питание от сети переменного тока - напряжение, В - частота, Гц |
220±10 50±1 | ||||
|
Скорость форвакуумной откачки, м3/ч (л/мин) |
1,8(30) |
6,6(110) |
15(250) |
1,8(30) |
1,8(30) |
|
Г абаритные размеры, мм, не более ширина высота глубина |
280 508 529 |
280 575 529 |
340 980 750 |
600 1008 725 |
600 1008 870 |
|
Масса, кг, не более |
45 |
58 |
100 |
170 |
240 |
|
Потребляемая мощность, В •А, не более |
660 | ||||
|
Средняя наработка до метрологического отказа, ч |
24000 | ||||
|
Средний срок службы, лет |
8 | ||||
|
Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа |
от +8 до +38 80 от 84,0 до 106,7 | ||||
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на корпус течеискателя.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Кол-во |
|
Течеискатель соответствующей модификации |
в соответствии с заказом |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 231-0043-2017 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0043-2017 «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые серии MSE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 25.05.2017 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне от 10-12 до 1 Па^м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус течеискателя, если это позволяют условия эксплуатации и (или) на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания.
Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация Shimadzu Corporation, Япония
Другие Спектрометры
