Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230
| Номер в ГРСИ РФ: | 71032-18 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Jeol", Япония |
Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230 (далее - микроанализаторы JXA-8230) предназначены для локальных измерений массовой доли элементов от бериллия до урана в различных твердых (монолитных) веществах и материалах в соответствии с аттестованными методами (методика), измерений (при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений), получения изображения высокого качества во вторичных и отраженных электронах для исследования поверхности и анализа распределения элементов и их фаз.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 71032-18 |
| Наименование | Микроанализаторы электронно-зондовые |
| Модель | JXA-8230 |
| Страна-производитель | ЯПОНИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 11.05.2023 |
Производитель / Заявитель
Фирма "JEOL Ltd.", Япония
ЯПОНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 71032-18: Описание типа СИ | Скачать | 623.6 КБ | |
| 71032-18: Методика поверки МП 163-223-2017 | Скачать | 1.7 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230 (далее - микроанализаторы JXA-8230) предназначены для локальных измерений массовой доли элементов от бериллия до урана в различных твердых (монолитных) веществах и материалах в соответствии с аттестованными методиками (методами) измерений (при использовании в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений), получения изображения высокого качества во вторичных и отраженных электронах для исследования поверхности и анализа распределения элементов и их фаз.
Описание
Принцип действия микроанализаторов JXA-8230 основан на методе рентгеновского микроанализа, сущность которого заключается в сканировании образца и возбуждении атомов анализируемого вещества электронным пучком (микрозондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества.
Характеристическое рентгеновское излучение, интенсивность которого зависит от содержания определяемого элемента в микрообъеме образца, регистрируется комбинированным микроанализатором с несколькими волновыми (ВДС) и энергодисперсионным (ЭДС) спектрометрами, в котором спектрометрическая часть управляется персональным компьютером с помощью специализированного программного обеспечения (ПО), что позволяет одновременно проводить независимые ВДС/ЭДС измерения и комбинировать полученные данные анализа.
Микроанализатор JXA-8230 выполнен по модульному принципу и включает в себя конструктивно законченные блоки. Микроанализатор JXA-8230 включает в себя:
- электронно-оптическую систему (ЭОС);
- основную консоль;
- консоль управления обработки данных;
- консоль компьютера с прикладным программным обеспечением: метрологически значимой частью - программой РС_ЕРМА и программой PC_SEM, ответственной только за управление зондом (пушкой);
- ротационный масляный насос, расположенный позади консолей.
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка сканирующего электронного микроскопа, на который устанавливается высоко стабилизированная электроннооптическая система с комбинированным микроанализатором с несколькими ВДС и ЭДС спектрометрами с различными большими кристалл-анализаторами и высокоточным гониометрическим столиком с моторизованным приводом.
Управление работой микроанализатора JXA-8230, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью управляющего компьютера типа IBM PC и специализированного прикладного программного обеспечения. Все данные о массовых долях анализируемых элементов и изображения могут быть выведены на мониторы управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроанализатора JXA-8230 соответствующей команды.
Общий вид микроанализатора JXA-8230 представлен на рисунке 1.
Для защиты от несанкционированного доступа в целях предотвращения вмешательств, которые могут привести к искажению результатов измерений, корпуса основных блоков микроанализатора JXA-8230 снаружи опломбированы.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа представлена на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид микроанализатора JXA-8230
Место для пломбирования
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) микроанализатора JXA-8230 приведены в таблице 1. Программа РС_ЕРМА является метрологически значимой частью ПО, программа PC_SEM отвечает только за управление зондом (пушкой).
Уровень защиты ПО микроанализатора JXA-8230 «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроанализатора JXA-8230.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение для JXA-8230 Software | |
|
Идентификационное наименование ПО |
PC EPMA |
PC SEM |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.111) |
не ниже 3.0.11) |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- | |
|
1) Версия программного обеспечения может иметь дополнительные цифровые и/или буквенные суффиксы | ||
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон определяемых элементов |
от Ве (4) до U (92) |
|
Диапазон измерений массовой доли элементов, % |
от 0,01 до 100,0 |
|
Энергетическое разрешение ЭДС, эВ, не более (на линии Mn К а 1 (5,9 кэВ), 3000 имп/с) |
129 |
|
Предел допускаемого СКО случайной составляющей относительной погрешности измерений массовой доли элементов 1), %, в поддиапазоне измерений: - от 0,01 до 1,0 % включ. - св. 1,0 до 10,0 % включ. - св. 10,0 до 100,0 % включ. |
10 5,0 2,0 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элементов 1), %, в поддиапазоне измерений: - от 0,01 до 1,0 % включ. - св. 1,0 до 10,0 % включ. - св. 10,0 до 100,0 % включ. |
±35 ±30 ±10 |
|
1) Указанные характеристики получены при использовании стандартных образцов стали легированной ГСО 4506-92П/4510-92П (индексы СО: ЛГ32, ЛГ36), латуни оловянно-свинцовой ГСО 6319-92/6323-92 (индексы СО: 1711, 1715), железа высокой чистоты ГСО 10816-2016 в режимах ЭДС/ВДС измерений в условиях: источник - электронный зонд (сфокусированный пучок электронов), ускоряющее напряжение 20 кВ, ток 4А0-8 А (для ЭДС) и 5А0-8 А (для ВДС), время экспозиции 60 с; количественный анализ методом ZAF-коррекции; кристалл-анализаторы для ВДС - LiF, ТАР, PET. | |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Детектируемый диапазон длин волн, нм |
от 0,087 до 9,3 |
|
Максимальный размер образца (ДлинахШиринахВысота), мм |
100х100х40 |
|
Высота образца при использовании стандартного держателя, мм, не более |
20 |
|
Максимальная анализируемая область, мм |
90х90 |
|
Увеличение в режиме сканирования |
от х40 до х300000 |
|
Ускоряющее напряжение, кВ |
от 0,2 до 30 (с шагом 0,1 кВ) |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Ток пучка (зонда), А |
от 10-12 до 10-5 |
|
Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) (ЭДС система микроанализа встроена и не требует жидкого азота) |
1 |
|
Количество устанавливаемых волновых спектрометров (ВДС) |
от 1 до 5 |
|
Параметры электрического питания: - питающее напряжение, В - частота, Гц |
200±20 50/60±1 |
|
Габаритные размеры (Длина^ШиринахВысота), мм, не более: - основная консоль - системы управления и обработки данных - блок обработки сигнала - компьютер (РС) - масляный ротационный насос |
790x1010x1800 1200x1480x700 700x470x700 300x600x700 520x200x320 |
|
Масса, кг, не более: - основная консоль - системы управления и обработки данных - блок обработки сигнала - компьютер (РС) - масляный ротационный насос |
700 300 90 26 25 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность воздуха (без конденсации влаги), %, не более |
от +15 до +25 60 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации в виде наклейки.
Комплектность
Комплектность микроанализаторов JXA-8230 приведена в таблице 4.
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроанализатор электронно-зондовый |
JXA-8230 |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации, включающее Руководство пользователя программного обеспечения |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 163-223-2017 с изменением № 1 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 163-223-2017 с изменением № 1 «ГСИ. Микроанализаторы электронно-зондовые JXA-8230. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 20.07.2018 г.
Основные средства поверки:
- стандартные образцы (СО) состава сталей легированных - ГСО 4506-92П/4510-92П (комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), образец с индексом ЛГ36 (рекомендуемые элементы: Al, Si, Cr, Ni, Mn, Mo), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,003 до 0,2 %;
- СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) -
ГСО 6319-92/6323-92, образец с индексом 1711 (рекомендуемые элементы: Mn, Al, Ni, Cu, Zn), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,03 до 0,7 %;
- СО состава железа высокой чистоты (Fe СО УНИИМ) - ГСО 10816-2016, массовая доля железа 99,987 %, абсолютная погрешность аттестованного значения 0,013 %.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение поверяемого средства измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя «JEOL Ltd.», Япония
Смотрите также
