Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium
| Номер в ГРСИ РФ: | 71293-18 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "TRIMOS S.A.", Швейцария |
Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium (далее по тексту -системы) предназначены для измерений параметров шероховатости и микроконтура поверхностей.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 71293-18 |
| Наименование | Системы оптические измерительные |
| Модель | TRScan и TRScan Premium |
| Страна-производитель | ШВЕЙЦАРИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 01.06.2023 |
Производитель / Заявитель
Фирма "TRIMOS S.A.", Швейцария
ШВЕЙЦАРИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 71293-18: Описание типа СИ | Скачать | 262.4 КБ | |
| 71293-18: Методика поверки МП 203-67-2017 | Скачать | 2.6 MБ |
Описание типа
Назначение
Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium (далее по тексту -системы) предназначены для измерений параметров шероховатости и микроконтура поверхностей.
Описание
Принцип действия системы основан на сканировании измеряемой поверхности оптическим датчиком. Результаты измерений выводятся на монитор компьютера (в виде профилей, числовых значений параметров шероховатости и геометрических параметров микроконтура).
Система состоит из чугунного основания, которое устанавливается на три опоры, моторизованного предметного стола и вертикальной колонны с моторизованным приводом. На вертикальную колонну устанавливается оптический датчик.
Общий вид систем представлен на рисунках 1 и 2.
Система может оснащаться следующими оптическими датчиками: датчиком точечной хроматической конфокальной микроскопии CCMP (рис. 3), датчиком цифровой голографической микроскопии DHM (рис. 4) и датчиком линейной хроматической конфокальной микроскопии CCML (рис. 5).
Датчики CCMP модификаций CL1, CL2, CL3, CL100 цт, CL300 цт, CL350 цт, CL400 цт, CL600 цт, CL1000 цт, CL100 цт 90°, CL300 цт 90°, CL350 цт 90°, CL400 цт 90°, CL600 цт 90°, CL1000 цт 90° и датчики CCML модификации CCM-L1 0,2тт могут измерять как микроконтур, так и шероховатость поверхности. Датчики CCMP модификаций CL4, CL5, CL6, CL2 тт, CL3 тт, CL6 тт, CL10 тт, CL25 тт, CL2 тт 90°, CL3 тт 90°, CL6 тт 90°, CL10 тт 90°, CL25 тт 90° и датчики CCML модификаций CCM-L1 1тт и CCM-L1 4тт могут измерять только микроконтур поверхности. Датчики DHM модификаций DHMS1, DHMS2 и DHMS3 могут измерять только шероховатость поверхности.
Система выпускается в следующих модификациях: TRScan и TRScan Ргетшт, которые отличаются внешним видом, техническими и метрологическими характеристиками. Системы модификации TRScan могут комплектоваться только датчиками CCMP, системы модификации TRScan Ргетшт могут комплектоваться датчиками CCMP, DHM и CCML.
Система модификации TRScan выпускается двух исполнений: с одно- или двухосевым моторизованным предметным столом.
Пломбировка системы от несанкционированного доступа не предусмотрена.
Рисунок 1 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan
Рисунок 2 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan Premium
Рисунок 3 - Общий вид датчика точечной хроматической конфокальной микроскопии (CCMP)
Рисунок 4 - Общий вид датчика цифровой голографической микроскопии (DHM)
TRIMOS
CCM-L1
Рисунок 5 - Общий вид датчиков хроматической конфокальной микроскопии (CCML)
Программное обеспечение
Системы имеют в своем составе программное обеспечение (ПО) Nanoware Measure, осуществляющее измерительные функции, и Nanoware Analysis, осуществляющее функции расчета параметров шероховатости и микроконтура поверхности. ПО Nanoware Analysis имеет 5 модулей, позволяющих рассчитывать различные параметры шероховатости: LT, XT, STT, XTT и PRO.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
Nanoware Measure |
Nanoware Analysis |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
2.1 |
7.4.8164 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты программного обеспечения приборов «высокий» в соответствии
с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Технические характеристики систем
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Модификация |
TRScan |
TRScan Premium |
|
Моторизованные оси с измерительной системой |
X/Z или X/Y/Z |
X/Y/Z |
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Модификация |
TRScan |
TRScan Premium |
|
Диапазон перемещений, мм: - по оси X - по оси Y - по оси Z |
от 0 до 100 от 0 до 1001) от 0 до 240 |
от 0 до 100 от 0 до 100 от 0 до 240 |
|
Точность позиционирования по осям (без учета оптического датчика), мкм |
1 |
1 |
|
Совместимые оптические датчики |
Точечная конфокальная хроматическая микроскопия (CCMP) |
Точечная конфокальная хроматическая микроскопия (CCMP), линейная конфокальная хроматическая микроскопия (CCML), цифровая голографическая микроскопия (DHM) |
|
Габаритные размеры (без учета оптического датчика), мм, не более: - длина - ширина - высота |
698 505 700 | |
|
Масса (без учета оптического датчика), кг, не более |
100 | |
|
Параметры электрического питания (от внешней сети): - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
Q q+10% 230-5% 50/60 | |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более |
от +15 до +25 65 | |
|
1) - при наличии моторизованной оси Y | ||
Таблица 3 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL1, CL2 и CL3_______________________
|
Наименование характеристики |
Значение | ||||||
|
Модификация оптического датчика |
CL1 |
CL2 |
CL3 | ||||
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
130 |
400 |
1400 | ||||
|
Разрешение по оси Z, нм |
8 |
22 |
60 | ||||
|
Модель увеличительного стекла |
MG210 |
MG140 |
MG210 |
MG140 |
MG70 |
MG140 |
MG70 |
|
Диаметр пятна, мкм |
1,9 |
2,8 |
2,3 |
3,4 |
6,9 |
4 |
8 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
0,9 |
1,4 |
1,2 |
1,7 |
3,5 |
2 |
4 |
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация оптического датчика |
CL1 |
CL2 |
CL3 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %: - при Ra < 0,1 мкм - при Ra > 0,1 мкм |
10 3 |
10 3 |
- 3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±0,04 |
±2-d | |
|
d - разрешение датчика по оси Z, мкм | |||
Таблица 4 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL4, CL5 и CL6_______________________
|
Наименование характеристики |
Значение | |||||
|
Модификация оптического датчика |
CL4 |
CL5 |
CL6 | |||
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
4000 |
12000 |
24000 | |||
|
Разрешение по оси Z, нм |
130 |
4 |
00 |
780 | ||
|
Модель увеличительного стекла |
MG35 |
MG20 |
MG35 |
MG20 |
MG35 |
MG20 |
|
Диаметр пятна, мкм |
8 |
14 |
14 |
22,5 |
16 |
28 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
4 |
7 |
7 |
12,3 |
8 |
14 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±2-d | |||||
|
d - разрешение датчика по оси Z, мкм | ||||||
Таблица 5 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 цт, CL300 цт, CL350 цт и
CL400 шт_________________________________________________________________
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
Модификация оптического датчика |
CL100 цт |
CL300 цт |
CL350 цт |
CL400 цт |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
100 |
300 |
350 |
400 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
3 |
10 |
12 |
14 |
|
Диаметр пятна, мкм |
3,5 |
5 |
5 |
4 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
1,8 |
2,5 |
2,5 |
2 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %: - при Ra < 0,1 мкм - при Ra > 0,1 мкм |
10 3 |
10 3 |
10 3 |
10 3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±0,04 | |||
Таблица 6 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной
хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 gm, CL1000 gm, CL2 mm и CL3 mm
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
Модификация оптического датчика |
CL600 gm |
CL1000 gm |
CL2 mm |
CL3 mm |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
600 |
1000 |
2000 |
3000 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
20 |
35 |
70 |
100 |
|
Диаметр пятна, мкм |
4 |
3,5 |
12,5 |
12 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
2 |
1,8 |
6 |
6 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %: - при Ra < 0,1 мкм - при Ra > 0,1 мкм |
10 3 |
- 3 |
-- | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±2-d | |||
|
d - разрешение датчика по оси Z, мкм | ||||
Таблица 7 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 mm, CL10 mm и CL25 mm__________
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация оптического датчика |
CL6 mm |
CL10 mm |
CL25 mm |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
6000 |
10000 |
25000 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
200 |
300 |
800 |
|
Диаметр пятна, мкм |
16 |
24 |
25 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
8 |
12 |
12 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±2-d | ||
|
d - разрешение датчика по оси Z, мкм | |||
Таблица 8 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 gm 90°, CL300 gm 90°, CL350 gm 90° и CL400 gm 90°
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
Модификация оптического датчика |
CL100 gm 90° |
CL300 gm 90° |
CL350 gm 90° |
CL400 gm 90° |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
100 |
300 |
350 |
400 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
3 |
10 |
12 |
14 |
|
Диаметр пятна, мкм |
3,5 |
5 |
5 |
4 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
1,8 |
2,5 |
2,5 |
2 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %: - при Ra < 0,1 мкм - при Ra > 0,1 мкм |
10 3 |
10 3 |
10 3 |
10 3 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±0,04 |
±4-d | ||
|
d - разрешение датчика по оси Z, мкм | ||||
Таблица 9 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 цт 90°, CL1000 цт 90°, CL2 mm 90° и CL3 mm 90°
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
Модификация оптического датчика |
CL600 цт 90° |
CL1000 цт 90° |
CL2 тт 90° |
CL3 тт 90° |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
600 |
1000 |
2000 |
3000 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
20 |
35 |
70 |
10 |
|
Диаметр пятна, мкм |
4 |
3,5 |
12,5 |
12 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
2 |
1,8 |
6 |
6 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %: - при Ra < 0,1 мкм - при Ra > 0,1 мкм |
10 3 |
- 3 |
-- | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±4-d | |||
|
d - разрешение датчика по оси Z, мкм | ||||
Таблица 10 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 тт 90°, CL10 тт 90° и CL25 тт 90°
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация оптического датчика |
CL6 тт 90° |
CL10 тт 90° |
CL25 тт 90° |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
6000 |
10000 |
25000 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
200 |
300 |
800 |
|
Диаметр пятна, мкм |
16 |
24 |
25 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
8 |
12 |
12 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±4-d | ||
|
d - разрешение датчика по оси Z, мкм | |||
Таблица 11 - Метрологические и технические характеристики датчиков линейной конфокальной
хроматической микроскопии (CCML)________________________________________________
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация оптического датчика |
CCM-L1 0,2тт |
CCM-L1 1тт |
CCM-L1 4тт |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
200 |
950 |
3900 |
|
Ширина полосы, мм |
0,96 ± 0,01 |
1,91 ± 0,01 |
4,78 ± 0,01 |
|
Расстояние между линиями профилями, мкм |
5 |
10 |
25 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
20 |
80 |
320 |
|
Диаметр пятна, мкм |
2 |
4 |
10 |
|
Разрешение по оси X и Y, мкм |
1 |
2 |
5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %: - при Ra < 0,1 мкм - при Ra > 0,1 мкм |
- 3 |
-- | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм |
±0,08 |
±0,3 |
±1,2 |
Таблица 12 - Метрологические и технические характеристики датчиков цифровой голографической микроскопии (DHM)
|
Наименование характеристики |
Значение | ||
|
Модификация оптического датчика |
DHMS1 |
DHMS2 |
DHMS3 |
|
Верхний предел измерений по оси Z, мкм |
3 |
7 |
7 |
|
Разрешение по оси Z, нм |
0,1 |
0,1 |
0,1 |
|
Поле зрения, мм |
0,25x0,25 |
0,33x0,33 |
0,33x0,33 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %: - при Ra < 0,1 мкм - при Ra > 0,1 мкм |
10 - |
10 - |
10 - |
Знак утверждения типа
наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 12 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Система оптическая измерительная TRScan или TRScan Premium |
- |
1 шт. |
|
Оптический датчик выбранной модификации |
- |
по заказу1) |
|
Компьютер с двумя мониторами |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 203-67-2017 |
1 экз. |
|
1) - но не менее 1 шт. | ||
Поверка
осуществляется по документу МП 203-67-2017 «Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 22 сентября 2017 г.
Основные средства поверки:
- меры шероховатости с регулярным профилем 1-го (для мер с номинальным значением Ra от 0,1 до 0,4 мкм) или 2-го разряда (для мер с номинальным значением Ra до 0,1 мкм
и св. 0,4 мкм) по ГОСТ 8.296-2015;
- мера для поверки приборов для измерений шероховатости поверхности PEN 10-1 (Рег. № 52740-13).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска клейма или на корпус системы в виде наклейки.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм
Техническая документация фирмы-изготовителя
Смотрите также
