71293-18: TRScan и TRScan Premium Системы оптические измерительные - Производители, поставщики и поверители

Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium

Номер в ГРСИ РФ: 71293-18
Производитель / заявитель: Фирма "TRIMOS S.A.", Швейцария
Скачать
71293-18: Описание типа СИ Скачать 262.4 КБ
71293-18: Методика поверки МП 203-67-2017 Скачать 2.6 MБ
Нет данных о поставщике
Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium (далее по тексту -системы) предназначены для измерений параметров шероховатости и микроконтура поверхностей.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 71293-18
Наименование Системы оптические измерительные
Модель TRScan и TRScan Premium
Страна-производитель ШВЕЙЦАРИЯ
Срок свидетельства (Или заводской номер) 01.06.2023
Производитель / Заявитель

Фирма "TRIMOS S.A.", Швейцария

ШВЕЙЦАРИЯ

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 24.03.2024

Поверители

Скачать

71293-18: Описание типа СИ Скачать 262.4 КБ
71293-18: Методика поверки МП 203-67-2017 Скачать 2.6 MБ

Описание типа

Назначение

Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium (далее по тексту -системы) предназначены для измерений параметров шероховатости и микроконтура поверхностей.

Описание

Принцип действия системы основан на сканировании измеряемой поверхности оптическим датчиком. Результаты измерений выводятся на монитор компьютера (в виде профилей, числовых значений параметров шероховатости и геометрических параметров микроконтура).

Система состоит из чугунного основания, которое устанавливается на три опоры, моторизованного предметного стола и вертикальной колонны с моторизованным приводом. На вертикальную колонну устанавливается оптический датчик.

Общий вид систем представлен на рисунках 1 и 2.

Система может оснащаться следующими оптическими датчиками: датчиком точечной хроматической конфокальной микроскопии CCMP (рис. 3), датчиком цифровой голографической микроскопии DHM (рис. 4) и датчиком линейной хроматической конфокальной микроскопии CCML (рис. 5).

Датчики CCMP модификаций CL1, CL2, CL3, CL100 цт, CL300 цт, CL350 цт, CL400 цт, CL600 цт, CL1000 цт, CL100 цт 90°, CL300 цт 90°, CL350 цт 90°, CL400 цт 90°, CL600 цт 90°, CL1000 цт 90° и датчики CCML модификации CCM-L1 0,2тт могут измерять как микроконтур, так и шероховатость поверхности. Датчики CCMP модификаций CL4, CL5, CL6, CL2 тт, CL3 тт, CL6 тт, CL10 тт, CL25 тт, CL2 тт 90°, CL3 тт 90°, CL6 тт 90°, CL10 тт 90°, CL25 тт 90° и датчики CCML модификаций CCM-L1 1тт и CCM-L1 4тт могут измерять только микроконтур поверхности. Датчики DHM модификаций DHMS1, DHMS2 и DHMS3 могут измерять только шероховатость поверхности.

Система выпускается в следующих модификациях: TRScan и TRScan Ргетшт, которые отличаются внешним видом, техническими и метрологическими характеристиками. Системы модификации TRScan могут комплектоваться только датчиками CCMP, системы модификации TRScan Ргетшт могут комплектоваться датчиками CCMP, DHM и CCML.

Система модификации TRScan выпускается двух исполнений: с одно- или двухосевым моторизованным предметным столом.

Пломбировка системы от несанкционированного доступа не предусмотрена.

Рисунок 1 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan

Рисунок 2 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan Premium

Рисунок 3 - Общий вид датчика точечной хроматической конфокальной микроскопии (CCMP)

Рисунок 4 - Общий вид датчика цифровой голографической микроскопии (DHM)

TRIMOS

CCM-L1

Рисунок 5 - Общий вид датчиков хроматической конфокальной микроскопии (CCML)

Программное обеспечение

Системы имеют в своем составе программное обеспечение (ПО) Nanoware Measure, осуществляющее измерительные функции, и Nanoware Analysis, осуществляющее функции расчета параметров шероховатости и микроконтура поверхности. ПО Nanoware Analysis имеет 5 модулей, позволяющих рассчитывать различные параметры шероховатости: LT, XT, STT, XTT и PRO.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Nanoware Measure

Nanoware Analysis

Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже

2.1

7.4.8164

Цифровой идентификатор ПО

-

-

Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Уровень защиты программного обеспечения приборов «высокий» в соответствии

с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Технические характеристики систем

Наименование характеристики

Значение

Модификация

TRScan

TRScan Premium

Моторизованные оси с измерительной системой

X/Z или X/Y/Z

X/Y/Z

Наименование характеристики

Значение

Модификация

TRScan

TRScan Premium

Диапазон перемещений, мм:

- по оси X

- по оси Y

- по оси Z

от 0 до 100 от 0 до 1001) от 0 до 240

от 0 до 100

от 0 до 100

от 0 до 240

Точность позиционирования по осям (без учета оптического датчика), мкм

1

1

Совместимые оптические датчики

Точечная конфокальная хроматическая микроскопия (CCMP)

Точечная конфокальная хроматическая микроскопия (CCMP), линейная конфокальная хроматическая микроскопия (CCML), цифровая голографическая микроскопия (DHM)

Габаритные размеры (без учета оптического датчика), мм, не более: - длина - ширина - высота

698

505

700

Масса (без учета оптического датчика), кг, не более

100

Параметры электрического питания (от внешней сети):

- напряжение переменного тока, В

- частота переменного тока, Гц

Q q+10% 230-5%

50/60

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

от +15 до +25

65

1) - при наличии моторизованной оси Y

Таблица 3 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной

хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL1, CL2 и CL3_______________________

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL1

CL2

CL3

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

130

400

1400

Разрешение по оси Z, нм

8

22

60

Модель увеличительного стекла

MG210

MG140

MG210

MG140

MG70

MG140

MG70

Диаметр пятна, мкм

1,9

2,8

2,3

3,4

6,9

4

8

Разрешение по оси X и Y, мкм

0,9

1,4

1,2

1,7

3,5

2

4

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL1

CL2

CL3

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:

- при Ra < 0,1 мкм

- при Ra > 0,1 мкм

10 3

10 3

-

3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±0,04

±2-d

d - разрешение датчика по оси Z, мкм

Таблица 4 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL4, CL5 и CL6_______________________

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL4

CL5

CL6

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

4000

12000

24000

Разрешение по оси Z, нм

130

4

00

780

Модель увеличительного стекла

MG35

MG20

MG35

MG20

MG35

MG20

Диаметр пятна, мкм

8

14

14

22,5

16

28

Разрешение по оси X и Y, мкм

4

7

7

12,3

8

14

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±2-d

d - разрешение датчика по оси Z, мкм

Таблица 5 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 цт, CL300 цт, CL350 цт и

CL400 шт_________________________________________________________________

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL100 цт

CL300 цт

CL350 цт

CL400 цт

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

100

300

350

400

Разрешение по оси Z, нм

3

10

12

14

Диаметр пятна, мкм

3,5

5

5

4

Разрешение по оси X и Y, мкм

1,8

2,5

2,5

2

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:

- при Ra < 0,1 мкм

- при Ra > 0,1 мкм

10 3

10 3

10 3

10 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±0,04

Таблица 6 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной

хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 gm, CL1000 gm, CL2 mm и CL3 mm

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL600 gm

CL1000 gm

CL2 mm

CL3 mm

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

600

1000

2000

3000

Разрешение по оси Z, нм

20

35

70

100

Диаметр пятна, мкм

4

3,5

12,5

12

Разрешение по оси X и Y, мкм

2

1,8

6

6

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:

- при Ra < 0,1 мкм

- при Ra > 0,1 мкм

10 3

-

3

--

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±2-d

d - разрешение датчика по оси Z, мкм

Таблица 7 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 mm, CL10 mm и CL25 mm__________

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL6 mm

CL10 mm

CL25 mm

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

6000

10000

25000

Разрешение по оси Z, нм

200

300

800

Диаметр пятна, мкм

16

24

25

Разрешение по оси X и Y, мкм

8

12

12

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±2-d

d - разрешение датчика по оси Z, мкм

Таблица 8 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 gm 90°, CL300 gm 90°, CL350 gm 90° и CL400 gm 90°

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL100 gm

90°

CL300 gm

90°

CL350 gm

90°

CL400 gm

90°

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

100

300

350

400

Разрешение по оси Z, нм

3

10

12

14

Диаметр пятна, мкм

3,5

5

5

4

Разрешение по оси X и Y, мкм

1,8

2,5

2,5

2

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:

- при Ra < 0,1 мкм

- при Ra > 0,1 мкм

10 3

10 3

10 3

10 3

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±0,04

±4-d

d - разрешение датчика по оси Z, мкм

Таблица 9 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 цт 90°, CL1000 цт 90°, CL2 mm 90° и CL3 mm 90°

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL600 цт

90°

CL1000 цт 90°

CL2 тт 90°

CL3 тт 90°

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

600

1000

2000

3000

Разрешение по оси Z, нм

20

35

70

10

Диаметр пятна, мкм

4

3,5

12,5

12

Разрешение по оси X и Y, мкм

2

1,8

6

6

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:

- при Ra < 0,1 мкм

- при Ra > 0,1 мкм

10 3

-

3

--

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±4-d

d - разрешение датчика по оси Z, мкм

Таблица 10 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 тт 90°, CL10 тт 90° и CL25 тт 90°

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CL6 тт 90°

CL10 тт 90°

CL25 тт 90°

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

6000

10000

25000

Разрешение по оси Z, нм

200

300

800

Диаметр пятна, мкм

16

24

25

Разрешение по оси X и Y, мкм

8

12

12

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±4-d

d - разрешение датчика по оси Z, мкм

Таблица 11 - Метрологические и технические характеристики датчиков линейной конфокальной

хроматической микроскопии (CCML)________________________________________________

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

CCM-L1 0,2тт

CCM-L1 1тт

CCM-L1 4тт

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

200

950

3900

Ширина полосы, мм

0,96 ± 0,01

1,91 ± 0,01

4,78 ± 0,01

Расстояние между линиями профилями, мкм

5

10

25

Разрешение по оси Z, нм

20

80

320

Диаметр пятна, мкм

2

4

10

Разрешение по оси X и Y, мкм

1

2

5

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:

- при Ra < 0,1 мкм

- при Ra > 0,1 мкм

-

3

--

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм

±0,08

±0,3

±1,2

Таблица 12 - Метрологические и технические характеристики датчиков цифровой голографической микроскопии (DHM)

Наименование характеристики

Значение

Модификация оптического датчика

DHMS1

DHMS2

DHMS3

Верхний предел измерений по оси Z, мкм

3

7

7

Разрешение по оси Z, нм

0,1

0,1

0,1

Поле зрения, мм

0,25x0,25

0,33x0,33

0,33x0,33

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:

- при Ra < 0,1 мкм

- при Ra > 0,1 мкм

10

-

10

-

10

-

Знак утверждения типа

наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 12 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Система оптическая измерительная TRScan или TRScan Premium

-

1 шт.

Оптический датчик выбранной модификации

-

по заказу1)

Компьютер с двумя мониторами

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Методика поверки

МП 203-67-2017

1 экз.

1) - но не менее 1 шт.

Поверка

осуществляется по документу МП 203-67-2017 «Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 22 сентября 2017 г.

Основные средства поверки:

- меры шероховатости с регулярным профилем 1-го (для мер с номинальным значением Ra от 0,1 до 0,4 мкм) или 2-го разряда (для мер с номинальным значением Ra до 0,1 мкм

и св. 0,4 мкм) по ГОСТ 8.296-2015;

- мера для поверки приборов для измерений шероховатости поверхности PEN 10-1 (Рег. № 52740-13).

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска клейма или на корпус системы в виде наклейки.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм

Техническая документация фирмы-изготовителя

Смотрите также

Спектрометры оптико-эмиссионные портативные Q4 MOBILE (далее - спектрометры) предназначены для измерения массовой доли элементов в металлах и сплавах в соответствии с аттестованными методами (методика) измерений (при использовании в сфере государстве...
71295-18
DuoLine STAR medium Система измерения температуры
Фирма "Pfeuffer GmbH", Германия
Система измерения температуры DuoLine STAR medium (далее по тексту - система) предназначена для многозонных измерений температуры зерна, хранящегося в силосах элеваторов и подачи аварийно-предупредительной сигнализации в случае превышения установленн...
71296-18
РГС-5 Резервуар горизонтальный стальной цилиндрический
ООО "РН-Морской терминал Находка", г.Находка
Резервуар горизонтальный стальной цилиндрический РГС-5 предназначен для измерений объема, а также приема, хранения и отпуска нефти и нефтепродуктов.
71297-18
РВС-200 Резервуары вертикальные стальные цилиндрические
ООО "РН-Морской терминал Находка", г.Находка
Резервуары вертикальные стальные цилиндрические РВС-200 предназначены для измерения объема, а также приема, хранения и отпуска нефти и нефтепродуктов.
71298-18
LEI-5000 Анализаторы жидкости
Фирма "Rocker Scientific Co., Ltd.", Тайвань
Анализаторы жидкости LEI-5000 (далее - анализаторы) предназначены для измерений химического потребления кислорода (бихроматной окисляемости, ХПК), массовая концентрация, в образцах питьевой, природной и морской воды, технологической воды, сточных вод...