Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A
| Номер в ГРСИ РФ: | 71894-18 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Agilent Technologies Inc.", США |
Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A (далее - системы) предназначены для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, измерений электрической емкости и электрической проводимости при исследовании тестовых структур полупроводниковых кристаллов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 71894-18 |
| Наименование | Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем |
| Модель | Agilent 4071А, 4072A, 4073A |
| Страна-производитель | ЯПОНИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | на 12 шт. с зав.№ Agilent 4071А: JP10D00266, JP10D00284, JP10D00293; Agilent 4072A: JP10G20134, JP10G20151, JP20G20170, JP20G20185, JP20G20221; Agilent 4073A: JP10H30120, JP10H30123, JP10H30130, JP10H30129 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd.", Япония
ЯПОНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 03.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 71894-18: Описание типа СИ | Скачать | 154.1 КБ | |
| 71894-18: Методика поверки 651-18-012 | Скачать | 2 MБ |
Описание типа
Назначение
Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A (далее - системы) предназначены для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, измерений электрической емкости и электрической проводимости при исследовании тестовых структур полупроводниковых кристаллов.
Описание
Принцип действия систем основан на подаче входных электрических сигналов с программируемыми параметрами на входы исследуемого объекта и измерении выходных электрических сигналов объекта при помощи аналогово-цифровых преобразователей.
Конструктивно системы состоят из основной стойки с присоединенным измерительным блоком, манипулятора и рабочей станции (управляющей ПЭВМ), состоящей из монитора и процессорного блока.
В состав измерительного блока систем входят модули:
- универсальные источники и измерители напряжения и тока SMU: MPSMU (для моделей систем 4071А, 4072A и 4073А) и HRSMU (для модели системы 4073А):
- платы коммутирования на выводы проб-карты;
- программируемый цифровой вольтметр DVM (Agilent 3458А);
- измеритель емкости и проводимости CMU (RLC измеритель Agilent E4980 или 4284A).
В состав универсальных источников и измерителей напряжения и тока MPSMU и HRSMU входят быстродействующие и прецизионные АЦП.
Общий вид систем, место нанесения знака утверждения типа, место пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид системы
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) предназначено для управления работой системы.
Идентификационные данные (признаки) ПО приведены в таблице 1.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» по Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные (признаки) ПО
|
Наименование программного обеспечения |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
sys4070 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже C.04.02 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Универсальные источники и измерители напряжения и тока MPSMU | |
|
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В |
от -100 до +100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В |
±(0,0005-U+1 mB+R^I)* ±(0,0005-U+10 мВ+R^I) ±(0,0005-U+20 мВ+R^l) ±(0,0005-U+50 мВ+R^l) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В |
±(0,0004-U+0,8 mB+R4) ±(0,0004-U+8 mB+R4) ±(0,0004-U+16 mB+R4) ±(0,0004-U+40 мВ+R^l) |
|
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мА |
от -100 до +100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА |
±(0,01-1+0,006 нА)** ±(0,01-1+0,034 нА)** ±(0,002-1+0,35 нА) ±(0,002-1+1,7 нА) ±(0,0012-1+0,015 мкА) ±(0,0012-1+0,15 мкА) ±(0,0012-1+1,5 мкА) ±(0,0012-1+15 мкА) ±(0,0012-1+150 мкА) |
Продолжение таблицы 2
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА |
±(0,01-1+0,006 нА)** ±(0,01-1+0,033 нА)** ±(0,002^1+0,300 нА) ±(0,002-1+1,2 нА) ±(0,001-1+0,01 мкА) ±(0,001*1+0,1 мкА) ±(0,001*1+1 мкА) ±(0,001*1+10 мкА) ±(0,001*1+100 мкА) |
|
У ниверсальные источники и измерители напряжения и тока HRSMU | |
|
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В |
от -100 до +100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В |
±(0,0003^U+0,7 mB+R±) ±(0,0003^U+4 мВ+R!) ±(0,0003^U+8 мВ+Rl) ±(0,0005^U+20 mB+R±) |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В |
±(0,0002^U+0,5 mB+R±) ±(0,0003^U+3 mB+R±) ±(0,0003^U+6 mB+R±) ±(0,0005^U+15 mB+R±) |
|
Диапазон воспроизведения (измерения) силы постоянного тока, мА |
от -100 до +100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА |
±(0,6-I+1 пА) ±(0,2-I+1 пА) ±(0,01-1+3,9 пА) ±(0,01-1+0,009 нА) ±(0,0012-1+0,06 нА) ±(0,0012-1+0,5 нА) ±(0,0007-1+6 нА) ±(0,0007^1+0,05 мкА) ±(0,0006-1+0,6 мкА) ±(0,0006-1+5 мкА) ±(0,0012^1+60 мкА) |
Продолжение таблицы 2
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА |
±(0,64+1 пА) ±(0,24+1 пА) ±(0,01-1+3,4 пА) ±(0,01-1+0,008 нА) ±(0,0012-1+0,05 нА) ±(0,0012-1+0,45 нА) ±(0,00064+5 нА) ±(0,0006-1+0,045 мкА) ±(0,00064+0,5 мкА) ±(0,00064+4 мкА) ±(0,001-1+50 мкА) | |
|
Программируемый цифровой вольтметр DVM | ||
|
Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В |
от -100 до +100 | |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне ±0,1 В в диапазоне ±1 В в диапазоне ±10 В в диапазоне ±100 В |
для моделей 4071 А, 4072А |
для модели 4073А |
|
- ±(0,0001-U+0,3) ±(0,0001-U+0,3) ±(0,0002^U+2) |
±(0,0001-U+0,1) ±(0,0001*U+0,1) ±(0,0001-U+0,2) ±( 0,0002^U+1) | |
|
Измеритель емкости и проводимости CMU | ||
|
Диапазон измерений электрической емкости, пФ |
от 102 до 105 | |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, % |
2 | |
|
Диапазон измерений электрической проводимости, См |
от 10-4 до 10-2 | |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической проводимости, % |
1 | |
|
* U - напряжение постоянного тока, мВ; I - сила тока постоянного тока, мА; R- электрическое сопротивление платы коммутирования, Ом * * Погрешность при сопротивлении нагрузки менее 1 ГОм | ||
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: | |
|
- напряжение переменного тока, В |
220±10 |
|
- частота переменного тока, Гц |
50±1 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающего воздуха, оС |
от +18 до +28 |
|
- относительная влажность окружающего воздуха, % |
от 20 до 70 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 97 до 105 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: основная стойка | |
|
- высота |
1600 |
|
- ширина |
600 |
|
- длина |
906 |
|
измерительный блок | |
|
- высота |
422 |
|
- ширина |
640 |
|
- длина |
642 |
|
манипулятор | |
|
- высота |
1600 |
|
- ширина |
1400 |
|
- длина |
1600 |
|
рабочая станция | |
|
- высота |
450 |
|
- ширина |
230 |
|
- длина |
510 |
|
Масса, кг, не более: | |
|
- основная стойка |
270 |
|
- измерительный блок |
75 |
|
- манипулятор |
420 |
|
- рабочая станция |
35 |
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель основной стойки в виде наклейки и на титульные листы эксплуатационной документации типографским методом.
Комплектность
Комплектность системы приведена в таблице 4.
Таблица 4 - Комплектность системы
|
Наименование |
Обозначение |
Количество, шт. |
|
1 Система автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем в составе: |
Agilent 4071 А, или Agilent 4072A, или Agilent 4073A |
1 |
|
1.1 Основная стойка |
1 | |
|
1.2 Измерительный блок |
1 | |
|
1.3 Манипулятор |
1 | |
|
1.4 Рабочая станция |
1 | |
|
2 Руководство по эксплуатации |
1 | |
|
3 Методика поверки |
651-18-012 |
1 |
Поверка
осуществляется по документу 651-18-012 «Инструкция. Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 25 января 2018 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр 3458А, регистрационный номер 25900-03 в Федеральном информационном фонде;
- меры электрического сопротивления однозначные Р3030, регистрационный номер 18445-99 в Федеральном информационном фонде;
- меры электрического сопротивления измерительные Р4015, Р4016, Р4017, Р4018, регистрационный номер 7791-80 в Федеральном информационном фонде;
- меры емкости образцовые Р597, регистрационный номер 2684-70 в Федеральном информационном фонде;
- набор мер емкости образцовых 3-го разряда Е1-3, регистрационный номер 8174-88 в Федеральном информационном фонде;
- набор мер сопротивления образцовых Е1-5, регистрационный номер 8175-81 в Федеральном информационном фонде.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска повери-тельного клейма.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.022-91 ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 140-16 до 30 А
ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы
ГОСТ 8.371-80 ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости
Техническая документация фирмы-изготовителя
Смотрите также
