Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A

Номер в ГРСИ РФ: 71894-18
Производитель / заявитель: Фирма "Agilent Technologies Inc.", США
Нужна поверка? Найдите поверителя на сайте www.ktopoverit.ru

Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A (далее - системы) предназначены для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, измерений электрической емкости и электрической проводимости при исследовании тестовых структур полупроводниковых кристаллов.

Скачать

71894-18: Описание типа СИ Скачать 154.1 КБ
71894-18: Методика поверки Скачать 2 MБ

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 71894-18
Наименование Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем
Модель Agilent 4071А, 4072A, 4073A
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Страна-производитель ЯПОНИЯ
Срок свидетельства (Или заводской номер) на 12 шт. с зав.№ Agilent 4071А: JP10D00266, JP10D00284, JP10D00293; Agilent 4072A: JP10G20134, JP10G20151, JP20G20170, JP20G20185, JP20G20221; Agilent 4073A: JP10H30120, JP10H30123, JP10H30130, JP10H30129
Производитель / Заявитель

Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd.", Япония

ЯПОНИЯ


Назначение

Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A (далее - системы) предназначены для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, измерений электрической емкости и электрической проводимости при исследовании тестовых структур полупроводниковых кристаллов.

Описание

Принцип действия систем основан на подаче входных электрических сигналов с программируемыми параметрами на входы исследуемого объекта и измерении выходных электрических сигналов объекта при помощи аналогово-цифровых преобразователей.

Конструктивно системы состоят из основной стойки с присоединенным измерительным блоком, манипулятора и рабочей станции (управляющей ПЭВМ), состоящей из монитора и процессорного блока.

В состав измерительного блока систем входят модули:

-    универсальные источники и измерители напряжения и тока SMU: MPSMU (для моделей систем 4071 А, 4072A и 4073А) и HRSMU (для модели системы 4073А):

-    платы коммутирования на выводы проб-карты;

-    программируемый цифровой вольтметр DVM (Agilent 3458А);

-    измеритель емкости и проводимости CMU (RLC измеритель Agilent E4980 или 4284A).

В состав универсальных источников и измерителей напряжения и тока MPSMU и

HRSMU входят быстродействующие и прецизионные АЦП.

Общий вид систем, место нанесения знака утверждения типа, место пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунке 1.

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) предназначено для управления работой системы. Идентификационные данные (признаки) ПО приведены в таблице 1.

Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» по Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные (признаки) ПО

Наименование программного обеспечения

Значение

Идентификационное наименование ПО

sys4070

Номер версии (идентификационный номер) ПО

не ниже C.04.02

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Технические характеристики

приведены в таблицах 2 и 3.

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Универсальные источники и измерители напряжения и тока MPSMU

Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В

от -100 до +100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ:

в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В

±(0,0005 U+1 мВ+RI)* ±(0,0005 U+10 мВ+RI) ±(0,0005 U+20 мВ+Rl) ±(0,0005 U+50 мВ+Rl)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В

±(0,0004 U+0,8 мВ+R I) ±(0,0004 U+8 мВ+RI) ±(0,0004 U+16 мВ+RI) ±(0,0004 U+40 мВ+RI)

Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мА

от -100 до +100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА

±(0,01I+0,006 нА)** ±(0,01I+0,034 нА)** ±(0,002 I+0,35 нА) ±(0,002 I+1,7 нА) ±(0,0012I+0,015 мкА) ±(0,0012I+0,15 мкА) ±(0,0012I+1,5 мкА) ±(0,0012I+15 мкА) ±(0,0012I+150 мкА)

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА

±(0,01 1+0,006 нА)** ±(0,01 1+0,033 нА)** ±(0,002 1+0,300 нА) ±(0,002 1+1,2 нА) ±(0,0011+0,01 мкА) ±(0,0011+0,1 мкА) ±(0,0011+1 мкА) ±(0,0011+10 мкА) ±(0,001 1+100 мкА)

У ниверсальные источники и измерители напряжения и тока HRSMU

Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В

от -100 до +100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ:

в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В

±(0,0003 U+0,7 мВ+R I) ±(0,0003 U+4 мВ+RI) ±(0,0003 U+8 мВ+Rl) ±(0,0005 U+20 мВ+RI)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне ±2 В в диапазоне ±20 В в диапазоне ±40 В в диапазоне ±100 В

±(0,0002 U+0,5 мВ+R I) ±(0,0003 U+3 мВ+RI) ±(0,0003 U+6 мВ+ri) ±(0,0005 U+15 мВ+RI)

Диапазон воспроизведения (измерения) силы постоянного тока, мА

от -100 до +100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА

±(0,6I+1 пА)

±(0,2 • I+1 пА) ±(0,01I+3,9 пА) ±(0,01I+0,009 нА) ±(0,0012I+0,06 нА) ±(0,0012I+0,5 нА) ±(0,0007 I+6 нА) ±(0,0007 I+0,05 мкА) ±(0,0006 I+0,6 мкА) ±(0,0006 I+5 мкА) ±(0,0012I+60 мкА)

Наименование характеристики

Значение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне ±1 нА в диапазоне ±10 нА в диапазоне ±100 нА в диапазоне ±1 мкА в диапазоне ±10 мкА в диапазоне ±100 мкА в диапазоне ±1 мА в диапазоне ±10 мА в диапазоне ±100 мА

±(0,6I+1 пА)

±(0,2I+1 пА) ±(0,011+3,4 пА)

±(0,01 1+0,008 нА) ±(0,0012 1+0,05 нА) ±(0,0012 1+0,45 нА) ±(0,0006 1+5 нА) ±(0,0006 1+0,045 мкА) ±(0,0006 1+0,5 мкА) ±(0,0006 1+4 мкА) ±(0,001 1+50 мкА)

Программируемый цифровой вольтметр DVM

Диапазон измерений напряжения постоянного тока, В

от -100 до +100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне ±0,1 В в диапазоне ±1 В в диапазоне ±10 В в диапазоне ±100 В

для моделей 4071 А, 4072А

для модели 4073А

±(0,0001 U+0,3) ±(0,0001 U+0,3) ±(0,0002-U+2)

±(0,0001 U+0,1) ±(0,0001 U+0,1) ±(0,0001-U+0,2) ±( 0,0002 U+1)

Измеритель емкости и проводимости CMU

Диапазон измерений электрической емкости, пФ

от 102 до 105

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, %

2

Диапазон измерений электрической проводимости, См

от 10-4 до 10-2

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической проводимости, %

1

* U - напряжение постоянного тока, мВ; I - сила тока постоянного тока, мА; R- электрическое сопротивление платы коммутирования, Ом ** Погрешность при сопротивлении нагрузки менее 1 ГОм

Наименование характеристики

Значение

Параметры электрического питания:

- напряжение переменного тока, В

220±10

- частота переменного тока, Гц

50±1

Условия эксплуатации:

о/'ч

- температура окружающего воздуха, С

от +18 до +28

- относительная влажность окружающего воздуха, %

от 20 до 70

- атмосферное давление, кПа

от 97 до 105

Габаритные размеры, мм, не более:

основная стойка

- высота

1600

- ширина

600

- длина

906

измерительный блок

- высота

422

- ширина

640

- длина

642

манипулятор

- высота

1600

- ширина

1400

- длина

1600

рабочая станция

- высота

450

- ширина

230

- длина

510

Масса, кг, не более:

- основная стойка

270

- измерительный блок

75

- манипулятор

420

- рабочая станция

35

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель основной стойки в виде наклейки и на титульные листы эксплуатационной документации типографским методом.

Комплектность

Комплектность системы приведена в таблице 4.

Таблица 4 - Комплектность системы

Наименование

Обозначение

Количество, шт.

1 Система автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем в составе:

Agilent 4071 А, или Agilent 4072A, или Agilent 4073A

1

1.1 Основная стойка

1

1.2 Измерительный блок

1

1.3 Манипулятор

1

1.4 Рабочая станция

1

2 Руководство по эксплуатации

1

3 Методика поверки

651-18-012

1

Поверка

осуществляется по документу 651-18-012 «Инструкция. Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 25 января 2018 г.

Основные средства поверки:

-    мультиметр 3458А, регистрационный номер 25900-03 в Федеральном информационном фонде;

-    меры электрического сопротивления однозначные Р3030, регистрационный номер 18445-99 в Федеральном информационном фонде;

-    меры электрического сопротивления измерительные Р4015, Р4016, Р4017, Р4018, регистрационный номер 7791-80 в Федеральном информационном фонде;

-    меры емкости образцовые Р597, регистрационный номер 2684-70 в Федеральном информационном фонде;

-    набор мер емкости образцовых 3-го разряда Е1-3, регистрационный номер 8174-88 в Федеральном информационном фонде;

-    набор мер сопротивления образцовых Е1-5, регистрационный номер 8175-81 в Федеральном информационном фонде.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска повери-тельного клейма.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

ГОСТ 8.022-91 ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 110-16 до 30 А

ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы

ГОСТ 8.371-80 ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости

Техническая документация фирмы-изготовителя

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии ООО «Дубровская ТЭЦ» (далее - АИИС КУЭ) предназначена для измерений активной и реактивной электроэнергии и мощности, сбора, обработки, хранения, формирования от...
Default ALL-Pribors Device Photo
Система измерительная АСУТП УКПГ КГС-30 Берегового газоконденсатного месторождения ЗАО «Геотрансгаз» (далее - ИС) предназначена для измерений параметров технологического процесса (температуры, давления, перепада давления).
Преобразователи давления измерительные Cerabar M PMP51, Cerabar M PMP55, Cerabar M PMC51, Cerabar S PMP71, Cerabar S PMP75, Cerabar S PMC71 предназначены для непрерывных измерений и преобразования значений измеряемого параметра - избыточного, абсолют...
Default ALL-Pribors Device Photo
Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии (АИИС КУЭ) ООО «РУСЭНЕРГОСБЫТ» для энергоснабжения тяговых подстанций ОАО «РЖД» в границах Республики Мордовия предназначена для измерения активной и реактивной...
Системы автоматизированные измерительные ТЕСТ-БА-1600 (далее - системы) предназначены для воспроизведения напряжения и силы постоянного тока, измерений электрического сопротивления, силы постоянного тока, напряжения постоянного и переменного токов, ф...