Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407
| Номер в ГРСИ РФ: | 71948-18 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "InProcess Instruments GmbH", Германия |
Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407 (далее - анализаторы газа) предназначены для качественного и количественного анализа заполняющего газа (H2O, He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4) в герметично закрытых электронных устройствах и применяются в машиностроении, в авиакосмической промышленности, нанотехнологическом производстве и научных исследованиях.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 71948-18 |
| Наименование | Анализаторы газа в электронных устройствах |
| Модель | EDA 407 |
| Страна-производитель | ГЕРМАНИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 27.07.2023 |
Производитель / Заявитель
Фирма "InProcess Instruments", Германия
ГЕРМАНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 71948-18: Описание типа СИ | Скачать | 122.7 КБ | |
| 71948-18: Методика поверки МП 212-241-2017 | Скачать | 3.6 MБ |
Описание типа
Назначение
Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407 (далее - анализаторы газа) предназначены для качественного и количественного анализа заполняющего газа (H2O, He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4) в герметично закрытых электронных устройствах и применяются в машиностроении, в авиакосмической промышленности, нанотехнологическом производстве и научных исследованиях.
Описание
Анализаторы газа представляют собой стационарные приборы, в основу работы которых положен метод масс-спектрометрического анализа, в ходе которого анализируемая проба газа подвергается ионизации электронным ударом с энергией движущих электронов до 80 эВ. Полученные ионы впоследствии подвергаются разделению в квадрупольном фильтре масс по их соотношению массы к заряду (m/z), которое в свою очередь определяется траекториями движения ионов, задаваемыми переменным электрическим полем .
В ходе анализа образцы прокалываются металлической иглой в одной из двух испытательных камер с ультравысоким вакуумом. Камеры изготовлены из нержавеющей стали со специальным покрытием. Газ из образца заполняет камеру и затем поступают в анализатор, где находиться квадрупольный масс-спектрометр. Одновременно с анализом газа происходит его откачка турбомолекулярным насосом. Испытательные камеры соединены с калибровочными блоками. Каждый из блоков позволяет определенному количеству газа с определенным составом заполнять анализатор как для определения коэффициента калибровки, так и для подготовки образца через испытательную камеру.
Конструкция анализаторов газа включает в себя следующие основные блоки:
- квадрупольный масс-анализатор, сопряженный с двумя испытательными камерами;
- испытательные камеры, отличающиеся размером, предназначены для ввода малых и более крупных электронных устройств соответственно. Испытательные камеры снабжены системой вскрытия электронных устройств путем прокола с помощью иглы. Испытательные камеры соединены с квадрупольным масс-спектрометром и калибровочным блоком. Испытательные камеры и блоки их соединения с масс-спектрометром могут быть нагреты до температуры плюс 130 °C;
- стойка с электронной аппаратурой, предназначенная для индикации и контроля за состоянием вакуумной системы, уровнем давления, температуры в испытательных камерах и масс-спектрометре. В верхней части стойки расположен блок индикации и управления турбонасосом (БИУ);
- генератор и датчик точки росы, предназначенные для калибровки анализатора газа по содержанию воды. Генератор увлажняет входящий сухой газ до заданного значения влажности. Точное измерение значения содержания воды проводится с помощью датчика точки росы конденсационным методом, при выполнении измерений которым наличие или отсутствие росы на конденсационной поверхности фиксирует оптическая система; Относительная влажность воздуха рассчитывается по эмпирическим выражениям исходя из значения температуры точки росы воды.
- ВЧ-генератор QMH 400-5;
- регулятор давления сжатого воздуха;
- система водяного охлаждения.
Конструктивно анализаторы газа выполнены в виде крупногабаритного прибора, состоящего из нескольких блоков, описанных выше.
Управление процессом измерения и обработки выходной информации осуществляется с помощью ПО, установленного на персональном компьютере.
Общий вид анализаторов газа представлен на рисунке 1. Место нанесения знака поверки обозначено стрелкой. Пломбирование анализаторов газа не предусмотрено.
Рисунок 1 - Общий вид анализаторов газа в электронных устройствах EDA 407
Программное обеспечение
Анализаторы газа оснащены автономным программным обеспечением ПО IPI QuardStar, которое управляет работой анализаторов газа и отображает, обрабатывает и хранит полученные данные. Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
К метрологически значимой части ПО относится исполняемый файл IPI QuardStar.exe. Метрологически значимая часть ПО выполняет управление анализатором газа, установкой режимов работы анализатора газа, качественным и количественным анализом, проводит построение калибровочных зависимостей, обработку и хранение результатов измерений, диагностику прибора.
Конструкция анализаторов газа исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» по Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
IPI QuardStar |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон массовых чисел, а.е.м. |
от 0 до 300 |
|
Предел допускаемого относительного СКО выходного сигнала, % |
10 |
|
Диапазон измерений относительной влажности, % |
от 0 до 50 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений относительной влажности, % |
±10 |
|
Диапазон измерений молярных долей газов (He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4), % |
от 0,001 до 100 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений молярных долей газов (He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4), % |
±10 |
|
Диапазон показаний температуры точки росы воды, °С |
от -40 до +10 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц |
230±23 50+1 |
|
Потребляемая мощность, В-А, не более |
2000 |
|
Габаритные размеры масс-спектрометра, мм, не более: - длина - ширина - высота Габаритные размеры стойки с электронным оборудованием, мм, не более: - длина - ширина - высота |
700 986 1330 600 800 1350 |
|
Масса, кг, не более: - масс-спектрометр - стойка с электронным оборудованием |
237 120 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - относительная влажность, % |
от +15 до +40 от 20 до 75 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Наработка на отказ, ч, не менее |
5000 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Анализатор газа в электронных устройствах EDA 407 |
- |
1 шт. |
|
Инструкция по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 212-241-2017 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 212-241-2017 «ГСИ. Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 26 марта 2018 г.
Основные средства поверки:
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей бензол, метил-, этил- и винилбензил, диметилбензолы (БЛ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10767-2016;
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей инертные, постоянные газы (ИП-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10768-2016;
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси с кислородсодержащими и азотсодержащими газами (КА-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10769-2016;
- стандартный образец состава искусственной газо-жидкостной смеси, содержащей углеводороды (СЖ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10770-2016;
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси с серосодержащими газами (СС-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10771-2016;
- стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей углеводородные газы (УВ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10772-2016;
- государственный эталон единиц относительной влажности газов 2-го разряда по ГОСТ 8.547-2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений влажности газов».
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых анализаторов газа с требуемой точностью.
Знак поверки в виде наклейки наносится на анализатор в соответствии с рисунком 1.
Сведения о методах измерений
приведены в руководстве по эксплуатации.
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя «InProcess Instruments», Германия
Смотрите также
