Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом 233DC
| Номер в ГРСИ РФ: | 74997-19 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Four Dimensions, Inc.", США |
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC (далее — установка) предназначена для измерений поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых пластин.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 74997-19 |
| Наименование | Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом |
| Модель | 233DC |
| Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ 141102-IS30BC |
Производитель / Заявитель
Фирма "Four Dimensions, Inc.", США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 2 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 74997-19: Описание типа СИ | Скачать | 333.3 КБ | |
| 74997-19: Методика поверки | Скачать | 4 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC (далее — установка) предназначена для измерений поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых пластин.
Описание
Принцип действия установки основан на четырехзондовом методе измерения поверхностного сопротивления. На плоскую поверхность пластины опускается зондовая головка с четырьмя игольчатыми зондами. Через зонды «1» и «4» пропускается ток, а между зондами «2» и «3» измеряется падение напряжения. Результаты измерений автоматически пересчитываются в значения поверхностного сопротивления. Установка позволяет проводить последовательные измерения пластин диаметром до 200 мм, размещенных в кассете. Для обеспечения перемещения пластин из кассеты в кассету, а также их загрузки-выгрузки требуется подключение вакуумной системы и подачи сжатого воздуха.
Установка конструктивно выполнена в виде стойки-моноблока и состоит из автоматической системы измерения электрического сопротивления зондовым методом, видеосистемы Cognex для определения центра пластины и лифта, управляющего вертикальным движением кассеты. В стойке обеспечена возможность размещения ПК и принтера.
На дисплее установки отображаются результаты измерений поверхностного электрического сопротивления в Ом на квадрат поверхности объекта измерения.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1. Пломба в виде
неразрушаемой наклейки клеится на дверцу корпуса установки, перекрывая зазор между дверцей и корпусом.
Рисунок 1 - Общий вид установки
Программное обеспечение
Установка имеет встроенное и автономное программное обеспечение (ПО). Встроенное ПО выполняет функции сбора, обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных. Автономное ПО выполняет функции обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствие с Р50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Встроенное ПО |
Автономное ПО | |
|
Идентификационное наименование ПО |
- |
Auto Four-point Probe 233A DI |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
- |
не ниже 5.51 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики_____
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений поверхностного электрического сопротивления постоянному току (на квадрат поверхности), Ом |
от Ы0-3 до 8-109 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений поверхностного электрического сопротивления постоянному току, % |
±1,0 |
|
Пределы допускаемых относительных отклонений действительных значений электрического сопротивления резисторов калибровочного набора от их номинальных значений, % | |
|
20 мОм |
±0,3 |
|
0,2 Ом |
±0,2 |
|
2 Ом |
±0,04 |
|
20 Ом |
±0,04 |
|
0,2 кОм |
±0,04 |
|
2 кОм |
±0,04 |
|
20 кОм |
±0,04 |
|
0,2 МОм |
±0,1 |
|
2 МОм |
±0,3 |
|
20 МОм |
±0,3 |
|
0,2 ГОм |
±0,3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Напряжение питающей сети переменного тока, В |
220±22 |
|
Частота питающей сети, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
1000 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более |
600 х 1055 х 1645 |
|
Масса, кг, не более |
100 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
20000 |
|
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность, % атмосферное давление, кПа |
от +20 до +24 от 40 до 60 50±10 от 97 до 105 |
Знак утверждения типа
наносится на боковую панель прибора печатью и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность установки
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка |
233DC |
1 шт. |
|
Калибровочный набор из 11 резисторов: | ||
|
20 мОм |
CAL-1 |
1 шт. |
|
0,2 Ом |
CAL 0 |
1 шт. |
|
2 Ом |
CAL 1 |
1 шт. |
|
20 Ом |
CAL 2 |
1 шт. |
|
0,2 кОм |
CAL 3 |
1 шт. |
|
2 кОм |
CAL 4 |
1 шт. |
|
20 кОм |
CAL 5 |
1 шт. |
|
0,2 МОм |
CAL 6 |
1 шт. |
|
2 МОм |
CAL 7 |
1 шт. |
|
20 МОм |
CAL 8 |
1 шт. |
|
0,2 ГОм |
CAL 9 |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации (на CD диске) |
- |
1 экз. |
|
Программное обеспечение (на CD диске) |
Auto Four-point Probe 233A DI |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 2202-0073-2018 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 2202-0073-2018 «ГСИ. Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 10 декабря 2018 г.
Основные средства поверки:
- нановольтметр/микроомметр 34420А, диапазон измерений электрического сопротивления 1 мкОм - 1 МОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления ±(0,006 - 0,007) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 47886-11;
- измеритель малых токов B2987A, диапазон измерений электрического сопротивления 10 Ом - 10 ПОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления в необходимом диапазоне измерений ±(0,135 - 0,285) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 68608-17;
- катушка электрического сопротивления Р4030, 1000 МОм, класс точности 0,01, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 2825-72.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке или на лицевую стенку установки, как указано на рисунке 1.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Приказ Росстандарта № 146 от 15 февраля 2016 г. «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления»
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
Смотрите также
