75035-19: PHI-670xi Спектрометр оже-электронный - Производители, поставщики и поверители

Спектрометр оже-электронный PHI-670xi

Номер в ГРСИ РФ: 75035-19
Категория: Спектрометры
Производитель / заявитель: Фирма "Physical Acoustics Corporation / MISTRAS Holdings Company", США
Скачать
75035-19: Описание типа СИ Скачать 377.3 КБ
75035-19: Методика поверки Скачать 3.1 MБ
Заказать
Поставщик: АССА Лабораторные системы
Спектрометр оже-электронный PHI-670xi поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Спектрометр оже-электронный PHI-670xi (далее по тексту - спектрометр) предназначены для измерений энергии и интенсивности линий оже-электронов, эмиттируемых образцом при облучении его электронным пучком.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 75035-19
Наименование Спектрометр оже-электронный
Модель PHI-670xi
Страна-производитель СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Срок свидетельства (Или заводской номер) зав.№ 167
Производитель / Заявитель

Фирма "Physical Electronics, Inc.", США

СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 2
Найдено поверителей 2
Успешных поверок (СИ пригодно) 2 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 03.11.2024

Поверители

Скачать

75035-19: Описание типа СИ Скачать 377.3 КБ
75035-19: Методика поверки Скачать 3.1 MБ

Описание типа

Назначение

Спектрометр оже-электронный PHI-670xi (далее по тексту - спектрометр) предназначены для измерений энергии и интенсивности линий оже-электронов, эмиттируемых образцом при облучении его электронным пучком.

Описание

Принцип действия спектрометра основан на явлении испускания оже-электронов твердым объектом под действием облучения сфокусированным пучком электронов с энергией от 0,1 до 25 кэВ в условиях сверхвысокого вакуума. Возникающие вторичные электроны, в том числе оже-электроны, поступают в анализатор оже-электронов типа цилиндрическое зеркало, который позволяет регистрировать зависимость потока оже-электронов от их кинетической энергии.

Образование оже-электрона происходит в результате многоступенчатого процесса: при взаимодействии первичного пучка электронов с образцом с глубокого энергетического уровня атома выбивается электрон, образовавшаяся вакансия заполняется электроном с более высокого уровня, выделившаяся энергия передается электрону с внешней оболочки атома (оже-электрону), в результате чего оже-электрон покидает образец. Глубина выхода оже-электронов составляет от 1 до 10 нм. Энергия пика оже-электрона не зависит от энергии первичного электронного пучка, а определяется структурой энергетических уровней атомов образца, (и является специфичной для каждого химического элемента), что позволяет идентифицировать химические элементы в приповерхностной области исследуемого объекта толщиной от 1 до 10 нм.

Оже-профиль получается в результате ионного распыления образца пучком ионов Ar+ под углом к поверхности, при этом через равные промежутки времени регистрируется интенсивность сигналов присутствующих в данной структуре оже-пиков. Таким образом, получался набор данных - значений интенсивности оже-пика для разной толщины стравленного слоя образца.

Спектрометр позволяет получать карты распределения элементов на поверхности путем зондирования электронным пучком поверхности образца в растровом режиме. При этом регистрируется интенсивность оже-сигнала данного элемента в каждой точке сканирования и создается изображение, в котором яркость каждого пиксела определяется интенсивностью оже-сигнала в соответствующей точке сканирования. Оже-карты могут быть представлены в разных цветовых гаммах.

Конструктивно спектрометр состоит из:

- основного блока, включающего вакуумную систему, электронную пушку с электроннооптической системой для формирования первичного электронного пучка, анализатор энергетического спектра оже-электронов типа «цилиндрическое зеркало», ионную пушку, использующую аргон в качестве источника ионов;

- блока электроники с управляющим компьютером.

Общий вид спектрометра и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.

Место нанесения знака поверки

Рисунок 1 - Общий вид спектрометра оже-электронного PHI-670xi

Пломбирование спектрометра не предусмотрено.

Программное обеспечение

Управление спектрометром осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Программное обеспечение (ПО) «Smart Soft-AES» является специализированным ПО микроскопа.

ПО «Smart Soft-AES» предназначено для управления спектрометром, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Smart Soft-AES» не может быть использовано отдельно от спектрометра.

Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения спектрометра

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Smart Soft-AES

Номер версии (идентификационный номер) ПО

4.4.0.9

Цифровой идентификатор ПО

-

Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Относительное энергетическое разрешение спектрометра, %, не более

0,6

Предел допускаемого значения относительного СКО интенсивности линий оже-электронов, %

0,5

Отношение сигнал/шум при регистрации оже-электронов на линии меди Cu LMM, не менее

300:1

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Энергия первичного пучка электронов, кэВ

от 0,1 до 25

Максимальный ток первичного пучка электронов, нА, не менее

100

Ускоряющее напряжение первичных ионов аргона Ar+, кВ

от 0,2 до 5

Максимальный ток ионов Ar+, мкА, не менее

5

Диапазон регистрируемых энергий электронов, эВ

от 0 до 3200

Масса, кг, не более

1950

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более:

- основной блок

- блок электроники с управляющим компьютером

980x1400x2100

2300x1350x1540

Условия эксплуатации:

- температуры окружающей среды, °С

-относительная влажность воздуха, %, не более

от +17 до +23

50

Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В

от 210 до 230

Потребляемая мощность, Вт, не более

5000

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплектность спектрометра представлена в таблице 4.

Таблица 4 - Комплектность спектрометра

Наименование

Обозначение

Количество

Спектрометр оже-электронный

PHI-670xi

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Методика поверки

-

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу «Спектрометр оже-электронный PHI-670xi. Методика поверки»,

утвержденному АО «НИЦПВ» 15 января 2019 г.

Основные средства поверки:

- СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) - ГСО 6319-92/6323-92, образец с индексом 1715.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого спектрометра с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на лицевую панель спектрометра в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационной документации.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя

Другие Спектрометры

Спектрометры рентгенофлуоресцентные энергодисперсионные РЕАН-М (далее -спектрометры) предназначены для измерений массовой доли элементов в пробах твердых и жидких веществ, порошков, пленок и других материалов в соответствии с аттестованными и стандар...
75546-19
УСГМ-02 Цезий Установки γ-спектрометрические многофункциональные
ФГАОУ ВО "Уральский федеральный университет им.Первого Президента России Б.Н.Ельцина", г.Екатеринбург; ООО "НЕОРАДТЕХ", г.Обнинск
Установки у-спектрометрические многофункциональные УСГМ-02 «Цезий» (далее по тексту - УСГМ) предназначены для определения радионуклидного состава и измерений активности гамма-излучающих радионуклидов в образцах проб сложного или неизвестного заранее...
75646-19
СЭА-ИК Спектрометры энергии альфа-излучения с импульсной ионизационной камерой
ООО "Контрольно-аналитический центр "Аналитика и неразрушающий контроль - сервис", г.Новоуральск
Спектрометры энергии альфа-излучения с импульсной ионизационной камерой СЭА-ИК (далее - спектрометры) предназначены для измерений энергии альфа-частиц, испускаемых с поверхности подготовленных счётных образцов, а также активности альфа-излучающих нук...
75936-19
ФТ Фурье-спектрометры
ООО НПФ "СИМЕКС", г.Новосибирск
Фурье-спектрометры ФТ (далее - спектрометры) предназначены для измерений положения пиков пропускания и поглощения на шкале волновых чисел, а также для качественного и количественного анализа компонентов в различных веществах и материалах по их спектр...
76120-19
Spinsolve ЯМР-спектрометры
Фирма "Magritek GmbH", Германия
ЯМР-спектрометры Spinsolve (далее - ЯМР-спектрометры) предназначены для измерения параметров ЯМР-спектра веществ и материалов при проведении научных и аналитических исследований (качественных и количественных) в области химии, физики, биологии, матер...