Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC
| Номер в ГРСИ РФ: | 75055-19 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Four Dimensions, Inc.", США |
Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC (далее - установка) предназначена для измерений электрической емкости и силы постоянного электрического тока, а также определения вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 75055-19 |
| Наименование | Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин |
| Модель | CVmap 3093BC |
| Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ 141201В |
Производитель / Заявитель
Фирма "Four Dimensions, Inc.", США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 2 года |
| Зарегистрировано поверок | 1 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 1 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 22.12.2024 |
Поверители
Скачать
| 75055-19: Описание типа СИ | Скачать | 460.2 КБ | |
| 75055-19: Методика поверки | Скачать | 5.4 MБ |
Описание типа
Назначение
Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC (далее - установка) предназначена для измерений электрической емкости и силы постоянного электрического тока, а также определения вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик.
Описание
Принцип действия установки основан на измерении интегратором электрического заряда, прошедшего через измеряемый объект, при генерации последовательных импульсов внешнего напряжения. Контакт с измеряемым объектом обеспечивается ртутным зондом различной конфигурации - точка, точка и кольцо или точка и два кольца.
Установка позволяет проводить последовательные измерения для пластин диаметром до 300 мм, размещенных в кассете. Для обеспечения перемещения пластин из кассеты в кассету, а также их загрузки-выгрузки требуется подключение вакуумной системы и подачи сжатого воздуха.
Установка конструктивно выполнена в виде стойки-моноблока и состоит из системы измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин, роботизированной системы Genmark с устройством предварительного размещения и камеры считывания идентификационного номера пластины. В стойке обеспечена возможность размещения ПК и принтера.
Вольт-фарадные и вольт-амперные характеристики могут определяться с использованием как встроенного зонда, так и при подключении внешнего зонда. Установка обеспечивает возможность измерения электрической емкости при синусоидальном изменении внешнего напряжения частотой 1 МГц с применением внешних СИ - RLC-метров и анализаторов импеданса.
Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.
место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид установки
Пломбы в виде неразрушаемых наклеек клеятся на дверцы корпуса установки, перекрывая зазор между дверцами и корпусом. Места пломбирования указаны на рисунке 2.
место пломбирования
место пломбирования
место пломбирования
а
б
в
а - левая сторона, б - лицевая сторона, в - правая сторона Рисунок 2 - Места пломбирования от несанкционированного доступа
Программное обеспечение
Установка имеет встроенное и автономное программное обеспечение (ПО). Встроенное ПО выполняет функции сбора, обработки, хранения и передачи измеренных данных. Автономное ПО выполняет функции обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствие с Р50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Встроенное ПО |
Автономное ПО | |
|
Идентификационное наименование ПО |
- |
CV map 92 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
- |
не ниже 1.42 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений электрической емкости, нФ |
от 0,01 до 100 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, % |
±2,0 |
|
Диапазон установки электрического напряжения, В |
от -100 до +100 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности установки электрического напряжения, % |
±1,2 |
|
Диапазон измерений силы постоянного электрического тока, мА |
от 5,0-Ю’11 до 1 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного электрического тока, % |
±1,4 |
|
Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрической емкости конденсатора калибровочного блока от его номинального значения, % | |
|
1000 пФ |
±0,5 |
|
Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрического сопротивления резисторов калибровочного блока от их номинальных значений, % | |
|
100 кОм |
±0,5 |
|
1 МОм |
±0,5 |
|
1 ГОм |
±0,5 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Напряжение питающей сети переменного тока, В |
220±22 |
|
Частота питающей сети, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
1500 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более |
915 х 1168 х 1778 |
|
Масса, кг, не более |
360 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Средняя наработка на отказ, ч |
20000 |
|
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность, % атмосферное давление, кПа |
22±2 50±10 101±4 |
Знак утверждения типа
наносится на боковую панель прибора печатью и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность установки
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка |
CVmap 3093BC |
1 шт. |
|
Калибровочный блок (конденсатор 1000 пФ, резисторы 100 кОм, 1 МОм, 1 ГОм) |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации (на CD диске) |
- |
1 экз. |
|
Программное обеспечение (на CD диске) |
CV map 92 |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 2202-0074-2018 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 2202-0074-2018 «ГСИ. Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 10 декабря 2018 г.
Основные средства поверки:
- измеритель RLC E4980A, диапазон измерений электрической емкости 1 пФ - 10 мФ, диапазон установки частоты тестового сигнала 20 Гц - 2 МГц, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости в необходимом диапазоне измерений ± (0,07 - 0,1) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 62364-15;
- измеритель малых токов B2987A, диапазон измерений электрического сопротивления 10 Ом - 10 ПОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления в необходимом диапазоне измерений ±(0,135 - 0,285) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 68608-17;
- мультиметр UTB 171B, диапазон измерений постоянного электрического напряжения (0 - 1000) В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений постоянного электрического напряжения в необходимом диапазоне измерений ± (0,05 - 0,08) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 56475-14.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке или на лицевую стенку установки, как указано на рисунке 1.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Приказ Росстандарта № 146 от 15 февраля 2016 г. «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления»
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
Техническая документация фирмы изготовителя
Смотрите также
