Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™
| Номер в ГРСИ РФ: | 76853-19 |
|---|---|
| Категория: | Эллипсометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США |
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее - меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта А при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 76853-19 |
| Наименование | Меры пространственного распределения эллипсометрических углов |
| Модель | OptiReader™ |
| Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 10.12.2024 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Petroleum Analyzer Company (PAC)", США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 76853-19: Описание типа СИ | Скачать | 81.8 КБ | |
| 76853-19: Методика поверки МП 012.М44-19 | Скачать | 8.9 MБ |
Описание типа
Назначение
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее - меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта Д при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).
Описание
Принцип действия мер основан на явлении оптического вращения плоскости поляризации.
Меры представляют собой комплекты состоящие из пяти эллипсометрических трубок, одной юстировочной трубки и ложемента. Эллипсометрические трубки изготовлены из алюминия, представляют собой тела вращения с переменным диаметром, в центральной области которых нанесено покрытие из диоксида кремния. Каждая из пяти эллипсометрических трубок имеет различную номинальную толщину покрытия: 27, 48, 81, 130 и 258 нм. В комплекты также входит шестая трубка без покрытия, предназначенная для юстировки системы сканирования специализированных многоволновых эллипсометров.
Передача размера единиц эллипсометрических углов эллипсометрическим трубкам осуществляется с помощью спектрального эллипсометра. Для установки, перемещения и вращения трубок на рабочем столе эллипсометра используется ложемент.
Пломбирование мер не предусмотрено.
Общий вид мер представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.
а) комплект трубок б) ложемент
Рисунок 1 - Общий вид мер
Место нанесения знака поверки
Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение отсутствует.
Технические характеристики
Таблица 1 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений эллипсометрических углов (на длинах волн 466, 525, 596, 638 нм), °: Пси у Дельта Д |
от 30 до 60 от 80 до 260 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений эллипсометрических углов (на длинах волн 466, 525, 596, 638 нм), ° Пси у Дельта Д |
±0,1 ±0,2 |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Материал мер |
Алюминий с покрытием диоксида кремния - SiO2 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: | |
|
- длина |
161,9 |
|
- длина центрального участка |
60,3 |
|
- наружный диаметр плечиков |
4,7 |
|
- наружный диаметр центрального участка |
3,2 |
|
- внутренний диаметр |
1,7 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающей среды, °С |
от +19,9 до +20,1 |
|
- относительная влажность воздуха, % |
от 48 до 68 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 100,175 до 102,825 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™: - трубки эллипсометрические - ложемент |
_ |
5 шт. 1 шт. |
|
Футляр |
_ |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
_ |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 012.М44-19 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 012.М44-19 «ГСИ. Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 15 февраля 2019г.
Основные средства поверки:
Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов по государственной поверочной схеме для средств измерений эллипсометрических углов утвержденной приказом Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых мер с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на футляр мер в соответствии с рисунком 2.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Приказ Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221 об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов
Техническая документация фирмы Petroleum Analyzer Company (PAC), США
Другие Эллипсометры
