Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™
Номер в ГРСИ РФ: | 76853-19 |
---|---|
Категория: | Эллипсометры |
Производитель / заявитель: | Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США |
![КтоПоверит](https://all-pribors.ru/images/logo-full-kp-site.png)
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее - меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта А при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).
Информация по Госреестру
Основные данные | |
---|---|
Номер по Госреестру | 76853-19 |
Наименование | Меры пространственного распределения эллипсометрических углов |
Модель | OptiReader™ |
Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
Срок свидетельства (Или заводской номер) | 10.12.2024 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Petroleum Analyzer Company (PAC)", США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
Актуальность информации | 30.06.2024 |
Поверители
Скачать
76853-19: Описание типа СИ | Скачать | 81.8 КБ | |
76853-19: Методика поверки МП 012.М44-19 | Скачать | 8.9 MБ |
Описание типа
Назначение
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее - меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта Д при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пленок в виде отложений (специализированных многоволновых эллипсометров).
Описание
Принцип действия мер основан на явлении оптического вращения плоскости поляризации.
Меры представляют собой комплекты состоящие из пяти эллипсометрических трубок, одной юстировочной трубки и ложемента. Эллипсометрические трубки изготовлены из алюминия, представляют собой тела вращения с переменным диаметром, в центральной области которых нанесено покрытие из диоксида кремния. Каждая из пяти эллипсометрических трубок имеет различную номинальную толщину покрытия: 27, 48, 81, 130 и 258 нм. В комплекты также входит шестая трубка без покрытия, предназначенная для юстировки системы сканирования специализированных многоволновых эллипсометров.
Передача размера единиц эллипсометрических углов эллипсометрическим трубкам осуществляется с помощью спектрального эллипсометра. Для установки, перемещения и вращения трубок на рабочем столе эллипсометра используется ложемент.
Пломбирование мер не предусмотрено.
Общий вид мер представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения знака поверки представлено на рисунке 2.
![](/images/ot/19//76853-19-1.jpg)
а) комплект трубок б) ложемент
Рисунок 1 - Общий вид мер
![](/images/ot/19//76853-19-2.jpg)
Место нанесения знака поверки
Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение отсутствует.
Технические характеристики
Таблица 1 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений эллипсометрических углов (на длинах волн 466, 525, 596, 638 нм), °: Пси у Дельта Д |
от 30 до 60 от 80 до 260 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений эллипсометрических углов (на длинах волн 466, 525, 596, 638 нм), ° Пси у Дельта Д |
±0,1 ±0,2 |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Материал мер |
Алюминий с покрытием диоксида кремния - SiO2 |
Габаритные размеры, мм, не более: | |
- длина |
161,9 |
- длина центрального участка |
60,3 |
- наружный диаметр плечиков |
4,7 |
- наружный диаметр центрального участка |
3,2 |
- внутренний диаметр |
1,7 |
Условия эксплуатации: | |
- температура окружающей среды, °С |
от +19,9 до +20,1 |
- относительная влажность воздуха, % |
от 48 до 68 |
- атмосферное давление, кПа |
от 100,175 до 102,825 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™: - трубки эллипсометрические - ложемент |
_ |
5 шт. 1 шт. |
Футляр |
_ |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
_ |
1 экз. |
Методика поверки |
МП 012.М44-19 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 012.М44-19 «ГСИ. Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 15 февраля 2019г.
Основные средства поверки:
Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов по государственной поверочной схеме для средств измерений эллипсометрических углов утвержденной приказом Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых мер с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на футляр мер в соответствии с рисунком 2.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Приказ Росстандарта от 22 октября 2018 г. №2221 об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов
Техническая документация фирмы Petroleum Analyzer Company (PAC), США
Другие Эллипсометры
![Default ALL-Pribors Device Photo](https://all-pribors.ru/pics/medium/default-device.png)
![Default ALL-Pribors Device Photo](https://all-pribors.ru/pics/medium/default-device.png)
![Default ALL-Pribors Device Photo](https://all-pribors.ru/pics/medium/default-device.png)