78495-20: OptiReader™ Эллипсометры спектральные - Производители, поставщики и поверители

Эллипсометры спектральные OptiReader™

Номер в ГРСИ РФ: 78495-20
Категория: Эллипсометры
Производитель / заявитель: Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США
Скачать
78495-20: Описание типа СИ Скачать 88.6 КБ
78495-20: Методика поверки МП 059.М44-19 Скачать 6.3 MБ
Нет данных о поставщике
Эллипсометры спектральные OptiReader™ поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Эллипсометры спектральные OptiReader™ (далее - эллипсометры) предназначены для бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся на нагревательных трубках в процессе взаимодействия жидкого топлива для газотурбинных двигателей с нагретой до определенной температуры поверхностью трубок.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 78495-20
Наименование Эллипсометры спектральные
Модель OptiReader™
Страна-производитель СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Срок свидетельства (Или заводской номер) 29.06.2025
Производитель / Заявитель

Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США

СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 6
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 6 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 22.12.2024

Поверители

Скачать

78495-20: Описание типа СИ Скачать 88.6 КБ
78495-20: Методика поверки МП 059.М44-19 Скачать 6.3 MБ

Описание типа

Назначение

Эллипсометры спектральные OptiReader™ (далее - эллипсометры) предназначены для бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся на нагревательных трубках в процессе взаимодействия жидкого топлива для газотурбинных двигателей с нагретой до определенной температуры поверхностью трубок.

Описание

Принцип действия эллипсометров основан на изменении состояния поляризации света, отраженного от границ раздела двух сред. Эллипсометры измеряют эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн, сканируя поверхность нагревательной трубки по углу и вдоль ее оси. Программное обеспечение (ПО) эллипсометров на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину оптических покрытий на поверхности нагревательной трубки. Результат измерений выводится в виде двумерной карты толщины покрытий с пространственным разрешением: 24 точки по окружности трубки и 50 точек вдоль оси нагревательной трубки.

На лицевой стороне эллипсометров расположен сенсорный экран для управления ПО. В верхней части эллипсометров размещено гнездо с индикацией для установки нагреваетльн6ых трубок.

Общий вид эллипсометров представлен на рисунке 1.

Обозначение места нанесения поверки представлено на рисунке 2.

Пломбирование эллипсометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Ellipsometric Heater Tube f ■

r-IFG DATE; 05 2019

Gptf Reader 105904 I'JF -Oise

MODE! ■ PART: SERIAL:

12 VDC

A FAPt IN LISA

КРАС

Рисунок 1 - Общий вид эллипсометров спектральных OptiReader™

Место нанесения знака поверки

Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки

Программное обеспечение

В эллипсометрах используется встроенное программное обеспечение, которое устанавливается заводом-изготовителем непосредственно в постоянное запоминающее устройство (ПЗУ) прибора.

Программное обеспечение «OptiReader SW» предназначено для управления эллипсометром, контроллером внутренних исполнительных механизмов и измерительных устройств и его настроек, а также для обеспечения функционирования интерфейса, обработки информации и выдачи отчета по измерениям.

ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных осуществляется через сенсорный экран, установленный на лицевой панели прибора. Карта толщин покрытий выводится в виде 2D или 3D изображения. Имеется возможность расчета и индикации объема покрытий.

Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.

Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключен посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.

Уровень защиты программного обеспечения «высокий» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

OptiReader SW

Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже

3.9

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений толщины покрытий, нм

от 4 до 300

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм

в диапазоне от 4 до 30 нм включительно

в диапазоне свыше 30 до 300 нм

±2

±4

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон показаний толщины покрытий, нм

от 0 до 500

Диапазон показаний объема отложений, мм3

от 0 до 0,5

Габаритные размеры, мм, не более:

- ширина

255

- высота

356

- длина

420

Масса, кг, не более

15

Параметры электрического питания:

- напряжение сети, В

от 100 до 240

- частота сети, Гц

50/60

Потребляемая мощность, Вт, не более

36

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

от +10 до +35

- относительная влажность при температуре

+25 °С, %, не более

80

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Эллипсометр спектральный OptiReader™

_

1 шт.

Набор из пяти валидационных трубок

_

1 шт.

Шестигранный винт

_

1 шт.

Блок питания

_

1 шт.

Шнур питания (европейский разъем)

_

1 шт.

Руководство по эксплуатации

_

1 экз.

Методика поверки

МП 059.М44-19

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 059.М44-19 «ГСИ. Эллипсометры спектральные

OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2019 г.

Основные средства поверки:

Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на корпус эллипсометра в соответствии с рисунком 2.

Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Локальная поверочная схема ФГУП «ВНИИОФИ» для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 10 до 1000 нм, утвержденная 08.08.2019г

Техническая документация «Petroleum Analyzer Company, L.P.», США

Другие Эллипсометры

Меры пространственного распределения эллипсометрических углов OptiReader™ (далее - меры) предназначены для воспроизведения эллипсометрических углов Пси у и Дельта А при калибровке и поверке средств измерений пространственного распределения толщины пл...
66804-17
FILMTEK 2000 PAR-SE Эллипсометр
Фирма "Scientific Computing International", США
Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SЕ (далее по тексту - эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS матер...
Default ALL-Pribors Device Photo
43467-09
APECS 3000 Эллипсометр спектральный
Фирма "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия
Для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства, а также оптических параметров слоев, зависящих от толщины, таких, как коэффициенты отражения, поглощения, преломления. Мощные возможности обработки и вычисления из...
Default ALL-Pribors Device Photo
11648-88
ЛЭФ-3М-1 Эллипсометры
Приборостроительный завод, Украина, г.Феодосия
Для измерения изменений в состоянии поляризации на поверхности исследуемого образца. Исследования в области физики поверхностей в промышленности, научно-исследовательских организациях.
Default ALL-Pribors Device Photo
11332-88
ПС-5 Пластины образцовые эллипсометрические
АООТ "Загорский оптико-механический завод" (ЗОМЗ), г.Сергиев Посад
Для поверки полярископов-поляриметров ПКС-250, ПКС250М.