Эллипсометры спектральные OptiReader™
| Номер в ГРСИ РФ: | 78495-20 |
|---|---|
| Категория: | Эллипсометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США |
Эллипсометры спектральные OptiReader™ (далее - эллипсометры) предназначены для бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся на нагревательных трубках в процессе взаимодействия жидкого топлива для газотурбинных двигателей с нагретой до определенной температуры поверхностью трубок.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 78495-20 |
| Наименование | Эллипсометры спектральные |
| Модель | OptiReader™ |
| Страна-производитель | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 29.06.2025 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США
СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 5 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 5 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 78495-20: Описание типа СИ | Скачать | 88.6 КБ | |
| 78495-20: Методика поверки МП 059.М44-19 | Скачать | 6.3 MБ |
Описание типа
Назначение
Эллипсометры спектральные OptiReader™ (далее - эллипсометры) предназначены для бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся на нагревательных трубках в процессе взаимодействия жидкого топлива для газотурбинных двигателей с нагретой до определенной температуры поверхностью трубок.
Описание
Принцип действия эллипсометров основан на изменении состояния поляризации света, отраженного от границ раздела двух сред. Эллипсометры измеряют эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн, сканируя поверхность нагревательной трубки по углу и вдоль ее оси. Программное обеспечение (ПО) эллипсометров на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину оптических покрытий на поверхности нагревательной трубки. Результат измерений выводится в виде двумерной карты толщины покрытий с пространственным разрешением: 24 точки по окружности трубки и 50 точек вдоль оси нагревательной трубки.
На лицевой стороне эллипсометров расположен сенсорный экран для управления ПО. В верхней части эллипсометров размещено гнездо с индикацией для установки нагреваетльн6ых трубок.
Общий вид эллипсометров представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения поверки представлено на рисунке 2.
Пломбирование эллипсометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Ellipsometric Heater Tube f ■
r-IFG DATE; 05 2019
Gptf Reader 105904 I'JF -Oise
MODE! ■ PART: SERIAL:
12 VDC
A FAPt IN LISA
КРАС
Рисунок 1 - Общий вид эллипсометров спектральных OptiReader™
Место нанесения знака поверки
Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
В эллипсометрах используется встроенное программное обеспечение, которое устанавливается заводом-изготовителем непосредственно в постоянное запоминающее устройство (ПЗУ) прибора.
Программное обеспечение «OptiReader SW» предназначено для управления эллипсометром, контроллером внутренних исполнительных механизмов и измерительных устройств и его настроек, а также для обеспечения функционирования интерфейса, обработки информации и выдачи отчета по измерениям.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных осуществляется через сенсорный экран, установленный на лицевой панели прибора. Карта толщин покрытий выводится в виде 2D или 3D изображения. Имеется возможность расчета и индикации объема покрытий.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключен посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Уровень защиты программного обеспечения «высокий» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
OptiReader SW |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
3.9 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины покрытий, нм |
от 4 до 300 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм в диапазоне от 4 до 30 нм включительно в диапазоне свыше 30 до 300 нм |
±2 ±4 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний толщины покрытий, нм |
от 0 до 500 |
|
Диапазон показаний объема отложений, мм3 |
от 0 до 0,5 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: | |
|
- ширина |
255 |
|
- высота |
356 |
|
- длина |
420 |
|
Масса, кг, не более |
15 |
|
Параметры электрического питания: | |
|
- напряжение сети, В |
от 100 до 240 |
|
- частота сети, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
36 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающей среды, °С |
от +10 до +35 |
|
- относительная влажность при температуре | |
|
+25 °С, %, не более |
80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Эллипсометр спектральный OptiReader™ |
_ |
1 шт. |
|
Набор из пяти валидационных трубок |
_ |
1 шт. |
|
Шестигранный винт |
_ |
1 шт. |
|
Блок питания |
_ |
1 шт. |
|
Шнур питания (европейский разъем) |
_ |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
_ |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 059.М44-19 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 059.М44-19 «ГСИ. Эллипсометры спектральные
OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2019 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус эллипсометра в соответствии с рисунком 2.
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Локальная поверочная схема ФГУП «ВНИИОФИ» для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 10 до 1000 нм, утвержденная 08.08.2019г
Техническая документация «Petroleum Analyzer Company, L.P.», США
Другие Эллипсометры
